(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212340 6414.9 (22)申请日 2021.12.3 0 (73)专利权人 广州粤芯 半导体技 术有限公司 地址 510000 广东省广州市黄埔区中新广 州知识城 凤凰五路28号 (72)发明人 梁自成　 (74)专利代理 机构 上海思捷知识产权代理有限 公司 312 95 专利代理师 钟晶 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种喷头校准工具 (57)摘要 本实用新型提供了一种喷头校准工具， 包括 固定部和延伸部， 所述固定部用于固定在喷头 上； 所述延伸部的一端与所述固定部连接， 另 一 端向远离 所述固定部的方向延伸； 所述延伸部的 另一端与晶圆之间的距离为d， 所述d满足0≤d≤ 1cm； 当所述喷头校准工具安装在所述喷头上时， 所述延伸部的中心线与所述喷头的中心线重合。 所述延伸部的另一端与所述晶圆的上表面之间 可以贴合 或者距离很近， 并且所述延伸部的中心 线与所述喷头的中心线重合， 这样可以利用所述 延伸部的中心线的位置来浇筑所述喷头的中心 线的位置， 方便观察所述延伸部的中心线相对所 述晶圆的上表面的位置， 提高喷头的校准效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 216631805 U 2022.05.31 CN 216631805 U 1.一种喷头校准工具， 其特征在于， 包括固定部和延伸部， 所述固定部用于 固定在喷头 上； 所述延伸部的一端与所述固定部连接， 另一端向远离所述固定部的方向延伸； 所述延伸 部的另一端与晶圆之间的距离为d， 所述d满足0≤d≤1c m； 当所述喷头校准工具安装在所述 喷头上时， 所述延伸部的中心线与所述喷头的中心线重合。 2.如权利要求1所述的一种喷头校准工具， 其特征在于， 所述固定部的形状为半圆筒 形， 所述固定部的一端与所述延伸部的一端连接； 所述固定部的一端设置有底 面， 另一端 无 底面。 3.如权利要求2所述的一种喷头校准工具， 其特征在于， 所述固定部的一端和另一端之 间设置有缺口。 4.如权利要求3所述的一种喷头校准工具， 其特征在于， 所述缺口包括第 一缺口和第 二 缺口， 所述第一 缺口和所述第二 缺口关于所述固定 部的中心线对称设置 。 5.如权利要求4所述的一种喷头校准工具， 其特征在于， 所述第 一缺口和所述第 二缺口 的形状均为扇环形。 6.如权利要求2所述的一种喷头校准工具， 其特征在于， 所述延伸部的形状为半圆柱 形。 7.如权利要求6所述的一种喷头校准工具， 其特征在于， 所述延伸部的中心线所在的位 置设置有直线状的突 起。 8.如权利要求6所述的一种喷头校准工具， 其特征在于， 所述延伸部的中心线与所述底 面的中心线重合。 9.如权利要求6所述的一种喷头校准工具， 其特征在于， 所述延伸部的直径等于所述喷 头的直径。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216631805 U 2一种喷头校准工具 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体 湿法刻蚀 设备技术领域， 特别涉及一种喷头校准工具。 背景技术 [0002]半导体在 湿法刻蚀过程中需要使用单片晶圆清洗机， 如图1和图2 所示， LAM公司型 号为DV38机型包括喷管1、 喷头2和晶圆托盘3， 喷头2安装在喷管1的末端， 喷管1可以带着喷 头2来回摆动； 晶圆4通过托盘栓5固定在晶圆托盘3上， 晶圆4与 喷头2之间有3cm左右的距 离； 晶圆托盘3可以带着晶圆4旋转， 晶圆4在旋转过程中， 喷头2需要覆盖晶圆4的全部区域， 从而使从喷头2喷出的药 液能均匀的喷洒在晶圆4的表面上。 [0003]在单片晶圆清洗机维护保养时， 需要对喷头2的位置进行校准， 使喷头2可以正对 晶圆4的圆心并能移动至晶圆4的边缘。 然而， 目前主要通过维护人员的经验和目视法来调 整喷管1的位置， 从而调整喷头2的位置， 然后使用测试用晶圆控片跑货， 并收集数据来验证 喷头2是否校准完成。 通过现有的校准方式， 通常需要进行多次调整喷头2的位置和跑货才 能将喷头2校准完成， 喷头2的校准效率较低。 实用新型内容 [0004]本实用新型提供了一种喷头校准工具， 以解决喷头的校准效率较低的技 术问题。 [0005]为解决上述技术问题， 本实用新型提供了一种喷头校准工具， 包括固定部和延伸 部， 所述固定部用于固定在喷头上； 所述延伸部的一端与所述固定部连接， 另一端向远离所 述固定部的方向延伸； 所述延伸部的另一端与晶圆之间的距离为d， 所述d满足0≤ d≤1cm； 当所述喷头校准工具安装在所述喷头上时， 所述延伸部的中心线与所述喷头的中心线重 合。 [0006]可选的， 所述固定部 的形状为半圆筒形， 所述固定部 的一端与所述延伸部 的一端 连接； 所述固定 部的一端设置有底面， 另一端无底面。 [0007]可选的， 所述固定 部的一端和另一端之间设置有缺口。 [0008]可选的， 所述缺口包括第一缺口和第二缺口， 所述第一缺口和所述第二缺口关于 所述固定 部的中心线对称设置 。 [0009]可选的， 所述第一 缺口和所述第二 缺口的形状均为扇环形。 [0010]可选的， 所述延伸部的形状为半圆柱形。 [0011]可选的， 所述延伸部的中心线所在的位置设置有直线状的突 起。 [0012]可选的， 所述延伸部的中心线与所述底面的中心线重合。 [0013]可选的， 所述延伸部的直径等于所述喷头的直径。 [0014]本实用新型提供的一种喷头校准工具， 所述延伸部的另一端与所述晶圆的上表面 之间可以贴合或者距离很近， 并且所述延伸部的中心线与所述喷头的中心线重合， 这样可 以利用所述延伸部的中心线的位置来浇筑所述喷头的中心线的位置， 方便观察所述延伸部 的中心线相对所述晶圆的上表面的位置， 提高喷头的校准效率。说　明　书 1/3 页 3 CN 216631805 U 3