(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123437 744.4 (22)申请日 2021.12.3 0 (73)专利权人 苏州原津光电有限公司 地址 215000 江苏省苏州市吴中区胥口镇 胥江工业园上 供路 (72)发明人 朱俊　华波琴　 (74)专利代理 机构 苏州翔远专利代理事务所 (普通合伙) 32251 专利代理师 刘计成 (51)Int.Cl. B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 21/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种具有烘干功能的芯片清洗装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种具有烘干功能的芯 片清洗装置， 该芯片清洗装置旨在解决现有技术 下芯片清洗装置进行使用时无法对芯片进行调 节卡紧， 同时在清洗之后也不能快速将芯片进行 烘干的技术问题。 该芯片清洗装置包括清洗箱 体、 安装在所述芯片清洗箱体上的调节移动模 块、 连接于所述清洗箱体用于存放清洁水的水箱 模块； 所述调节移动模块外侧设置有用于放置芯 片的芯片放置模块， 所述芯片放置模块上侧设置 有用于进行调节卡紧的卡位镂空网板， 所述清洗 箱体外侧设置有用于进行烘干的烘干组件。 该芯 片清洗装置通过放置清洗板可以将芯片进行固 定放置， 而通过卡位镂空网板可以起到调节卡紧 的效果， 然后利用烘干组件可以将清洗之后的芯 片进行快速烘干 。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 216539897 U 2022.05.17 CN 216539897 U 1.一种具有烘干功能的芯片清洗装置， 该芯片清洗装置包括清洗箱体、 安装在所述芯 片清洗箱体上 的调节移动模块、 连接于所述清洗箱体用于存放清洁水 的水箱模块； 其特征 在于， 所述调节移动模块外侧设置有用于放置芯片的芯片放置模块， 所述芯片放置模块上 侧设置有用于进 行调节卡紧的卡位镂空网板， 所述清洗箱体外侧设置有用于进行烘干的烘 干组件， 所述芯片放置模块外侧设置有用于进行旋转调整的旋转防水电机， 所述芯片放置 模块内部设置有横向的放置清洗 板。 2.根据权利要求1所述的一种具有烘干功能的芯片清洗装置， 其特征在于， 所述调节移 动模块内部设置有驱动电机， 所述驱动电机的输出端设置有防水丝杆组件。 3.根据权利要求2所述的一种具有烘干功能的芯片清洗装置， 其特征在于， 所述防水丝 杆组件外侧设置有丝杆滑块， 所述丝杆滑块外侧设置有安装防水横板 。 4.根据权利要求3所述的一种具有烘干功能的芯片清洗装置， 其特征在于， 所述旋转防 水电机的输出端设置有旋转防水 杆， 所述旋转防水 杆外侧设置有连接转板 。 5.根据权利要求1所述的一种具有烘干功能的芯片清洗装置， 其特征在于， 所述放置清 洗板内部开设有放置空腔， 所述放置清洗板内部设置有清洗漏板， 所述放置清洗板外侧设 置有防水伸缩杆， 所述防水伸缩杆 上端与卡 位镂空网板 外侧相连接 。 6.根据权利要求1所述的一种具有烘干功能的芯片清洗装置， 其特征在于， 所述清洗箱 体外侧设置有清洗电机， 所述清洗电机的输出端设置有清洗转杆， 所述清洗转杆外侧设置 有使清洁水 可以进行混合 流动的转动片。 7.根据权利要求1所述的一种具有烘干功能的芯片清洗装置， 其特征在于， 所述烘干组 件内部设置有热风机， 所述水箱模块内部设置有供 水泵， 所述清洗箱体外侧设置有排水阀。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216539897 U 2一种具有烘干功能的芯片清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于芯片清洗装置技术领域， 具体涉及一种具有烘干功能的芯片清洗 装置。 背景技术 [0002]现今， 市面上的芯片所使用的清洗装置大多结构较为单一， 在进行使用时无法对 芯片进行调节卡紧， 从而不便于芯片进行快速清洗， 同时芯片在清洗之后也不能快速将芯 片进行烘干， 大 大降低了芯片清洗装置整体的清洗效率， 无法满足使用者需要。 [0003]目前， 专利号为CN201921378369.0的实用新型专利公开了一种具有循环清理功能 的芯片加工清洗装置， 通过滑槽和滑 块的配合， 使得清洗笼能够上下滑动， 通过弹簧与 滑块 的连接， 使得弹簧对滑块施加拉力， 从而使清洗笼能够悬置在清洗槽上方， 通过拉绳、 驱动 电机、 传动杆、 转轮和凹槽的配合， 使得拉绳拉动滑块， 控制清洗笼的位置， 通过将清洗笼浸 入清洗槽中对芯片进行清洗， 通过抽液泵和进水管的配合将储液箱中的清洗液抽入喷头 中， 通过喷头对清洗笼内的芯片进 行冲洗， 同时向清洗槽内加注清洗液， 通过出水管和过滤 装置的配合， 将使用过后的清洗液进 行回收和过滤， 从而使得清洗液能够循环使用， 从而降 低清洗液的用量， 降低成本， 提高清洗效果， 但是该芯片清洗装置在进 行使用时无法对芯片 进行调节卡紧， 同时在清洗之后也 不能快速将芯片进行烘干， 大 大降低了芯片的清洗效率。 [0004]因此， 针对上述芯片清洗装置进行使用时无法对芯片进行调节卡紧， 同时在清洗 之后也不能快速将芯片进行烘干的问题， 亟需得到解决， 以改善芯片清洗装置的使用场景。 实用新型内容 [0005]（1） 要解决的技 术问题 [0006]针对现有技术的不足， 本实用新型的目的在于提供一种具有烘干功能的芯片清洗 装置， 该芯片清洗装置旨在解决现有技术下芯片清洗装置进 行使用时无法对芯片进行调节 卡紧， 同时在清洗之后也 不能快速将芯片进行烘干的技 术问题。 [0007]（2） 技术方案 [0008]为了解决上述技术问题， 本实用新型提供了这样一种具有烘干功能的芯片清洗装 置， 该芯片清洗装置包括清洗箱体、 安装在所述芯片清洗箱体上的调节移动模块、 连接于所 述清洗箱体用于存放清洁水的水箱模块； 所述调节移动模块外侧设置有用于放置芯片的芯 片放置模块， 所述芯片放置模块上侧设置有用于进行调节卡紧的卡位镂空网板， 所述清洗 箱体外侧设置有用于进行烘干的烘干组件， 所述芯片放置模块外侧设置有用于进 行旋转调 整的旋转防水电机， 所述芯片放置模块内部设置有横向的放置清洗 板。 [0009]使用本技术方案的芯片清洗装置时， 通过芯片放置模块内部设置的横向的放置清 洗板可以将芯片进行固定放置， 而通过卡位镂空网板可以起到调节卡紧的效果， 然后利用 烘干组件可以将清洗之后的芯片进行 快速烘干， 大 大提高了芯片的清洗效率。 [0010]优选地， 所述调节移动模块内部设置有驱动电机， 所述驱动电机的输出端设置有说　明　书 1/3 页 3 CN 216539897 U 3