(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210445227.1 (22)申请日 2022.04.26 (71)申请人 四川上特科技有限公司 地址 629201 四川省遂宁市射洪县河东大 道88号 (72)发明人 胡仲波　冯永　李健儿　蒋红全　 周建余　 (74)专利代理 机构 成都诚中致达专利代理有限 公司 51280 专利代理师 曹宇杰 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆片清洗组件、 清洗装置及清洗方法 (57)摘要 本发明公开了一种晶圆片清洗组件、 清洗装 置及清洗方法， 清洗组件用于清洗晶圆片， 包括 清洗池、 清洗槽、 多个水喷头。 清洗槽左右两端连 接于清洗池内壁， 清洗槽底部悬空， 且底部开口 设置； 水喷头 形状为圆盘状， 连接有水管， 水喷头 两面均设有喷水孔， 清洗槽内间隔设有喷头卡 槽、 晶圆片卡槽， 多个水喷头依次排列于喷头卡 槽内； 若干晶圆片依次排列于晶圆片卡槽内。 将 浸泡式清洗改成喷洒式清洗， 可以清洗每一个晶 圆片， 并且便于污水快速流走， 可 以极大的提高 晶圆片的清洗效果和清洗效率。 权利要求书2页 说明书5页 附图10页 CN 114769200 A 2022.07.22 CN 114769200 A 1.一种晶圆片清洗组件， 其特征在于， 用于清洗晶圆片 （4） ， 包括清洗池 （1） 、 清洗槽 （2） 、 多个水喷头 （3） ； 清洗槽 （2） 左右两端连接 于清洗池 （1） 内壁， 清洗 槽 （2） 底部悬空， 且底部开口设置； 水喷头 （3） 形状为圆盘状， 连接有水管 （31） ， 水喷头 （3） 两面均设有喷水孔， 清洗槽 （2） 内间隔设有喷头卡槽 （2 2） 、 晶圆片卡槽 （23） ， 多个水喷头 （3） 依次排列于喷头卡槽 （2 2） 内； 应用时， 若干晶圆片 （4） 依次排列于晶圆片卡槽 （23） 内。 2.根据权利要求1所述的晶圆片清洗组件， 其特征在于， 清洗槽 （2） 由前后对称的两个 卡板 （21） 组成， 两个卡板 （21） 顶部间距大于底部间距， 喷头卡槽 （22） 、 晶圆片卡槽 （23） 间隔 设于卡板 （21） 内壁。 3.一种晶圆片清洗装置， 其特 征在于， 包括： 如权利要求1或2所述的 晶圆片清洗组件； 夹持组件 （6） ， 连接于转移机构 （5） ， 用于夹持若干晶圆片 （4） ， 将晶圆片 （4） 放入清洗槽 （2） 或从清洗槽 （2） 内取 出； 转移机构 （5） ， 位于清洗池 （1） 外端， 用于将夹持组件 （6） 转移至清洗池 （1） 或从清洗池 （1） 内转移出去。 4.根据权利要求3所述的晶圆片清洗装置， 其特征在于， 转移机构 （5） 包括转动组件 （51） 、 平移板 （52） 、 移动框 （53） 和两个并排设置的蜗杆 （54） ， 转动组件 （51） 从上到下依次包 括齿轮 （513） 、 连杆 （512） 和蜗轮 （511） ， 蜗杆 （54） 沿左右方向设置， 两端通过轴承连接于支 撑板 （55） ， 且其中一端连接有转动电机 （56） ， 蜗杆 （54） 上方设有支撑条 （57） ， 支撑条 （57） 两 端连接于支撑板 （55） ， 平移板 （52） 可沿左右方 向滑动配合于支撑条 （57） ， 移动框 （53） 可沿 前后方向滑动配合于平移板 （52） ， 移动框 （53） 左侧或右侧内壁设有一齿条 （531） ， 蜗轮 （511） 位于两个蜗杆 （54） 之间， 且蜗轮 （511） 、 蜗杆 （54） 啮合， 齿轮 （513） 位于移动框 （53） 内， 且齿轮 （513） 与齿条 （5 31） 啮合。 5.根据权利要求4所述的晶圆片清洗装置， 其特征在于， 平移板 （52） 包括底板 （521） 和 位于底板 （521） 顶部左右两侧的限位条 （522） ， 两个支撑条 （57） 内壁设有长条形滑槽 （571） ， 底板 （521） 滑动配合于长条形滑槽 （571） 内， 连杆 （512） 贯穿连接底板 （521） ， 且与底板 （521） 转动配合， 两个限位条 （522） 内壁设有限位滑槽 （523） ， 移动框 （53） 滑动配合于限位滑槽 （523） 内。 6.根据权利要求5所述的晶圆片清洗装置， 其特征在于， 移动框 （53） 顶部设有立柱 （532） ， 立柱 （532） 朝清洗池 （1） 方向设有水平支杆 （533） ， 水平支杆 （533） 依次设有若干夹持 组件 （6） 。 7.根据权利要求4~6中任一项所述的晶圆片清洗装置， 其特征在于， 夹持组件 （6） 包括 升降杆 （61） 和连接于升降杆 （61） 底部的柔性夹爪 （62） ， 柔性夹爪 （62） 通过充气或放气的方 式来夹持晶圆片 （4） 。 8.根据权利要求7所述的晶圆片清洗装置， 其特征在于， 清洗装置还包括输送机构 （71） 和位于输送机构 （71） 上的收纳筐 （72） ， 输送机构 （71） 位于清洗池 （1） 外侧， 收纳筐 （72） 用于 承接夹持组件 （6） 上的 晶圆片 （4） 。 9.根据权利要求8所述的晶圆片清洗装置， 其特征在于， 收纳筐 （72） 左右方向的截面与 清洗槽 （2） 相同， 收纳筐 （72） 底部 封闭设置， 内壁设有 若干晶圆片卡槽 （23） 。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114769200 A 210.一种晶圆片清洗方法， 其特征在于， 采用如权利要求9所述的晶圆片清洗装置， 包括 以下步骤： S1、 准备阶段 初始状态， 利用柔 性夹爪 （62） 夹持住待清洗的 晶圆片 （4） ； S2、 转移阶段 转动电机 （56） 使两个蜗杆 （54） 同时同向顺时针转动， 使夹持组件 （6） 平移到达预设位 置后停止； S3、 清洗阶段 升降杆 （61） 下降， 将晶圆片 （4） 插入晶圆片卡槽 （23） 内， 柔性夹爪 （62） 放气松开晶圆片 （4） ， 升降杆 （61） 上升 至原位； 水喷头 （3） 开始 清洗晶圆片 （4） ； 清洗完成后， 柔 性夹爪 （62） 充气夹持住晶圆片 （4） ， 将晶圆片 （4） 从清洗 槽 （2） 内取 出； S4、 输送阶段 转动电机 （56） 使蜗杆 （54） 一个逆时针转， 另一个顺时针转动， 将夹持组件 （6） 向前方移 动至收纳筐 （72） 上方， 将晶圆片 （4） 插入到收纳筐 （72） 的晶圆片卡槽 （23） 内， 利用输送机构 （71） 将其 转移至下一个加工场地。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114769200 A 3