(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210390735.4 (22)申请日 2022.04.14 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114798554 A (43)申请公布日 2022.07.29 (73)专利权人 北京华林嘉 业科技有限公司 地址 101118 北京市通州区宋庄镇后夏公 庄村村委会东南1000米 (72)发明人 耿彪　 (74)专利代理 机构 北京东方芊悦知识产权代理 事务所(普通 合伙) 11591 专利代理师 凌云 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/04(2006.01)B08B 3/08(2006.01) B08B 13/00(2006.01) B08B 15/02(2006.01) (56)对比文件 CN 101181711 A,2008.05.21 CN 210546660 U,2020.0 5.19 CN 21596 5120 U,202 2.03.08 US 2013089489 A1,2013.04.1 1 CN 20946 5443 U,2019.10.08 CN 215582768 U,202 2.01.21 CN 210215 320 U,2020.0 3.31 CN 213558979 U,2021.0 6.29 CN 211258952 U,2020.08.14 CN 1096252 25 A,2019.04.16 审查员 吕杰 (54)发明名称 立式半导体外延石英炉管钟罩及石英件清 洗机 (57)摘要 本发明涉及立式半导体外延石英炉管钟罩 及石英件清洗机， 包括通风柜、 钟罩清洗工位， 钟 罩清洗工位包括机壳， 机壳的内部设置有多个钟 罩清洗单元、 排风单元， 钟罩清洗单元包括承载 槽、 活动式喷淋机构、 排风组件、 废液收集单元。 本发明能够对钟罩相关的配套件以及石英件进 行浸泡清洗， 还能够对钟罩的内壁进行喷淋清 洗， 清洗效果好， 清洗效率高， 节省大量的清洗 液； 浸泡清洗以及喷淋清洗的空间布局合理， 占 地面积小； 钟罩的进、 出操作简单方便， 不易发生 碰损， 不同高度钟罩的清洗都适应， 无需更换配 件， 操作简单、 方便。 采用排风组件进行排风， 使 得钟罩的外壁不易被污染、 损伤， 延长钟罩的使 用寿命。 权利要求书2页 说明书9页 附图7页 CN 114798554 B 2022.11.04 CN 114798554 B 1.立式半导体外延石英炉管钟罩及石英件清洗机， 包括通风柜(10)、 安装在通风柜 (10)一端的钟罩清洗工位(20)， 其特征在于： 所述通风柜(10)的内部设置有浸泡槽(12)， 所 述钟罩清洗工位(20)包括机壳(21)， 所述机壳(21)的内部设置有多个钟罩清洗单元(22)、 与钟罩清洗单元(22)呈一一对应 设置的排风单元(50)， 相 邻两个钟罩清洗单元(22)之间安 装有隔板(27)； 所述钟罩清洗单元(22)包括用来承载钟罩(40)的承载槽(25)、 用来对钟罩 (40)进行喷淋清洗的活动式喷淋机构(30)、 用来将钟罩清洗单元(22)内部废气排放至排风 单元(50)的排风组件、 用来 收集清洗废液的废液收集单元， 所述活动式喷淋机构(30)设置 在承载槽(25)的上 方； 所述活动式喷淋机构(30)包括喷淋盒组件、 用来驱动喷淋盒组件进行升降运动的驱动 组件， 所述喷淋盒组件包括框体(31)、 清洗板(32)， 所述清洗板(32)固定安装在框体(31)的 顶部并构成盒状结构， 所述框体(31)的底部设置有与框体(31)内腔相连通的出口(311)， 所 述清洗板(32)的底部安装有多个喷头(321)， 所述清洗板(32)为中空结构； 所述 驱动组件包 括直线往复驱动装置(33)、 安装板(34)、 安装在安装板(34)与清洗板(32)之间且用来限定 喷淋盒组件 上下运动方向的滑轨(35)、 安装在直线往复驱动装置(33)往复端的杆端关节轴 承(39)、 滑板(37)、 与滑板(37)呈相对滑动设置的滑套(38)， 所述杆端关节轴承(39)的杆端 与直线往复驱动装置(33)的往复端转动连接， 所述杆端关节轴承(39)的轴承端与滑板(37) 的中部转动连接， 所述滑套(38)的下端与清洗板(32)的顶部固定连接， 所述滑套(38)的中 部设置有与滑板(37)的边部呈间隙配合的滑槽(381)； 所述直线往复驱动装置(33)固定安 装在安装板(34)的中部， 所述安装板(34)与清洗板(32)之间固定安装有两组圆柱螺旋弹簧 (36)， 两组圆柱螺 旋弹簧(3 6)分别设置在直线往复驱动装置(3 3)的左右两侧； 所述清洗板(32)的内部设置有横截面为等腰梯形结构的空腔室(322)， 所述空腔室 (322)的上底与下底之间密封设置有柔性隔膜(323)， 所述空腔室(322)被柔性隔膜(323)分 隔为位于空腔室(322)的上底与柔性隔膜(323)之间的功能室(3221)、 位于空腔室(322)的 下底与柔性隔膜(323)之间的动力室(3222)， 所述功能室(3221)的容积大于动力室(3222) 的容积， 所有喷头(321)的输入端均与功能室(3221)连通； 所述清洗板(32)的外部设置有耐 酸阀(71)、 水阀(72)、 气阀(73)， 所述耐酸阀(71)的输出端、 水阀(72)的输出端和气阀(73) 的输出端均与功能室(3221)连通； 所述清洗板(32)的外部还设置有第一变频水泵(74)和第 二变频水泵(75)， 所述第一变频水泵(74)的输入端与动力室(3222)连通， 所述第二变频水 泵(75)的输出端与动力室(3222)连通， 所述第一变频水泵(74)设置在动力室(3222)的一 端， 所述第二变频水泵(75)设置在动力室(3222)的另一端； 所述柔性隔膜(323)的外侧呈等 间距设置有加硬区(3231)； 所述功能室(3221)的容积与动力室(3222)的容积之比为(9～15):1； 所述第一变频水 泵(74)的输出水压与第二变频水泵(75)的输出水压之间的水压差为Ps， Ps＞0； 第一变频水 泵(74)的工作时间等于第二变频水泵(75)的工作时间， 第二变频水泵(75)的工作时间为 tg， Ps与tg之间的函数曲线为波形。 2.根据权利要求1所述的立式半导体外延石英炉 管钟罩及石英件清洗机， 其特征在于： 所述钟罩清洗单 元(22)设置有两个， 两个钟罩清洗单 元(22)呈轴对称设置 。 3.根据权利要求1所述的立式半导体外延石英炉 管钟罩及石英件清洗机， 其特征在于： 所述承载槽( 25)的槽口处设置有环形台阶( 252)， 所述承载槽( 25)的槽底处设置有滤孔权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114798554 B 2(251)； 所述废液收集单 元包括废液收集槽(26)， 所述滤孔(251)与废液收集槽(26)连通。 4.根据权利要求1所述的立式半导体外延石英炉 管钟罩及石英件清洗机， 其特征在于： 所述排风单元(50)包括设置在隔板(27)一端的排风通道(51)、 安装在排风通道(51)顶部的 排风阀(54)， 所述 排风阀(54)的输入端与排 风通道(51)的内腔连通。 5.根据权利要求4所述的立式半导体外延石英炉 管钟罩及石英件清洗机， 其特征在于： 所述排风组件包括安装在排风通道(51)上部的辅助排风阀(53)、 钟罩专用调节阀(60)、 安 装在排风通道(51)下部的主排风阀(52)， 所述钟罩专用调节阀(60)设置在辅助排风阀(53) 与主排风阀(52)之间， 所述钟罩(40)的排风孔(41)处外接一根排风管， 排风管的尾端对准 钟罩专用调节阀(60)的输入端， 所述钟罩专用调节阀(60)的输出端与排风通道(51)的内腔 连通； 所述钟罩专用调节阀(60)包括圆管状阀体(61)、 与阀体(61)输入端连接为一体的延 长管(62)、 用来调节阀体(61)内部开度的舌板(63)， 所述舌板(63)与阀体(61)之间通过设 置转轴(64)转动 连接， 所述转轴(64)的末端安装有位于阀体(61)外部的把手(65)， 所述阀 体(61)输出端与排风通道(51)的侧壁之间安装有基板(66)， 所述排风通道(51)的侧壁设置 有与阀体(61)内腔相连通的第一通孔， 所述延长管(62)的横截面为腰圆形， 所述延长管 (62)的下部设置有横截面为弧形的引流板(67)， 所述引流板(67)安装在延长管(62)的末 端。 6.根据权利要求1所述的立式半导体外延石英炉 管钟罩及石英件清洗机， 其特征在于： 所述清洗板(32)的内部设置有空腔室(322)， 所有喷头(321)的输入端均与空腔室(322)连 通； 所述清洗板(32)的外部设置有耐酸阀(71)、 水阀(72)、 气阀(73)， 所述耐酸阀(71)的输 出端、 水阀(72)的输出端和气阀(73)的输出端均 与空腔室(32 2)连通。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114798554 B 3