(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210332156.4 (22)申请日 2022.03.31 (71)申请人 上海果纳半导体技 术有限公司 地址 200000 上海市中国(上海)自由贸易 试验区临港新片区环湖西二路888号C 楼 (72)发明人 叶莹　高慧霞　鲍伟成　王旭晨　 祝佳辉　 (74)专利代理 机构 苏州汇诚汇智专利代理事务 所(普通合伙) 32623 专利代理师 张聪 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 5/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01)B25J 19/00(2006.01) H01L 21/677(2006.01) (54)发明名称 机械手清洗装置、 清洗方法及半导体设备 (57)摘要 本发明公开了机械手清洗装置、 清洗方法及 半导体设备， 其中清洗装置包括壳体， 壳体的腔 体自上而下设置有采集区、 检测区和清洁区， 壳 体上设置有分别 与采集区、 检测区和清洁 区连通 的开口。 采集区设置有采集装置， 采集装置用于 采集机械手的形状轮廓。 检测区设置有扫描装 置， 扫描装置用于扫描机械手的表面， 并对机械 手的表面清洁度进行判断； 清洁 区设置有清洁装 置， 清洁装置用于对机械手的表面进行清洁， 清 洁装置包括矩阵分布的多个清洁头， 每个清洁头 可单独启闭。 能进行机械手的自动清洗， 清洗效 率高。 权利要求书2页 说明书7页 附图5页 CN 114904822 A 2022.08.16 CN 114904822 A 1.一种机械手清洗装置， 其特征在于： 包括壳体， 所述壳体的腔体自上而下设置有采集 区、 检测区和清洁区， 所述壳体上设置有分别与采集区、 检测区和清洁区连通的开口； 所述采集区设置有采集装置， 所述采集装置用于采集机 械手的形状 轮廓； 所述检测区设置有扫描装置， 所述扫描装置用于扫描机械手的表面， 并对所述机械手 的表面清洁度进行判断； 所述清洁区设置有清洁装置， 所述清洁装置用于对机械手的表面进行清洁， 所述清洁 装置包括矩阵分布的多个清洁头， 每 个所述清洁头可 单独启闭。 2.根据权利要求1所述的机械手清洗装置， 其特征在于： 所述清洁头包括抽吸管， 所述 抽吸管内固定有与其同轴设置的喷液管， 所述喷液管内设置有上下导通的第一通道， 所述 喷液管的外壁和抽吸管的内壁之间限定形成第二 通道。 3.根据权利要求2所述的机械手清洗装置， 其特征在于： 所述喷液管的上端为圆柱结 构， 下端为收口结构， 所述收口结构的截面由上至下 呈逐渐收拢状态。 4.根据权利要求2所述的机械手清洗装置， 其特征在于： 所述抽吸管的上端为圆柱结 构， 下端处呈 上细下粗的喇叭结构。 5.根据权利要求1所述的机械手清洗装置， 其特征在于： 多个所述清洁头均设置在一个 平板状安装板上， 所述平板状安装板能在清洁区的水平面内， 沿相互垂直的第一方向和第 二方向进行往复移动。 6.根据权利要求5所述的机械手清洗装置， 其特征在于： 所述清洁头倾斜喷射到机械手 上， 所述清洁头的喷射线与水平线的夹角为5 ‑10度。 7.根据权利要求6所述的机械手清洗装置， 其特征在于： 所述清洁头转动连接在平板状 安装板上。 8.根据权利要求6所述的机械手清洗装置， 其特征在于： 所述清洁头 固定在平板状安装 板， 所述平板状安装板上设置有一 斜面， 所述清洁头固定在斜 面上。 9.根据权利要求5所述的机械手清洗装置， 其特征在于： 所述壳体的侧板上设置有供平 板状安装板移动的支撑框架， 所述支撑框架包括第一导向框和第二导向框， 所述第一导向 框固定在壳体的侧板上， 所述第二导向框能沿第一导向框在第一方向滑动， 所述平板状安 装板能沿第二 导向框在第二方向滑动。 10.根据权利要求1所述的机械手清洗装置， 其特征在于： 所述采集装置包括固定在采 集区的工业摄像机， 所述工业摄像机始终位于进入采集区的机械手的上方， 所述工业摄像 机至少设置有一个。 11.根据权利要求1所述的机械手清洗装置， 其特征在于： 所述扫描机构包括激光发射 器和散射光接 收器， 所述激光发射器用于 向机械手表面发射激光， 所述散射光接 收器用于 收集激光发射器发射的激光在机 械手表面上散射后的光信号。 12.根据权利要求11所述的机械手清洗装置， 其特征在于： 所述壳体的侧板上设置有 隔 板， 所述扫描装置通过十字滑台与隔板连接， 所述十字滑台固定在隔板下端面， 并能驱动所 述扫描装置在水平面内沿十 字移动。 13.根据权利要求1所述的机械手清洗装置， 其特征在于： 还包括抽风板， 所述抽风板设 置在清洁区的底部并始终位于所述机械手下方， 所述抽风板内形成抽风腔， 所述抽风板的 顶端阵列分布有 若干与抽风腔导 通的抽风口， 所述抽风腔连通有位于壳体外 部的抽风机 。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114904822 A 214.机械手清洗方法， 其特征在于： 包括如下步骤， 图形轮廓采集， 通过采集装置采集机 械手的形状轮廓， 并记录形状轮廓； 初步清洗， 通过清洁装置对机械手的表面进行清洁， 其 中清洁装置根据形状轮廓开启对应的清洁头； 清洗检测， 通过扫描装置对清洗后的机械手 进行扫描， 判断机械手的表面是否存在污染区并对污染区进 行记录； 深度 清洗， 当步骤三中 存在污染区时， 清洁装置再根据污染区开启对应的清洁头进 行污染区清洁； 重复清洗检测 ‑ 深度清洗直至扫描装置判断没有污染区存在。 15.根据权利要求14所述的机械手清洗方法， 其特征在于： 在所述初步清洗和深度清洗 过程中， 所述清洁头可以同时在水平面内进行两个垂直方向的往复移动。 16.根据权利要求14所述的机械手清洗方法， 其特征在于： 所述清洁头能在对机械手表 面进行流体喷射， 同时可以抽吸 喷洒到机械手表面后的流体。 17.半导体设备， 其特征在于： 包括权1 ‑13任一所述的机械手清洗装置， 所述机械手清 洗装置设置在晶圆传输装置的侧面。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114904822 A 3