(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210748487.6 (22)申请日 2022.06.28 (71)申请人 长沙迈博光电有限公司 地址 410100 湖南省长 沙市中国(湖南)自 由贸易试验区长沙片区东六路南段77 号金科亿达科技城B49栋104、 204 (72)发明人 郭翔宇　刘长青　 (74)专利代理 机构 合肥市博念易创专利代理事 务所(普通 合伙) 34262 专利代理师 张海峰 (51)Int.Cl. G03F 7/20(2006.01) G03F 9/00(2006.01) F16M 11/18(2006.01) F16M 11/04(2006.01) (54)发明名称 一种双显示器高精度套刻机 (57)摘要 本发明公开了一种双显示器高精度套刻机， 涉及套刻机技术领域， 针对现有的高精度套刻 机， 功能单一， 需要将硅片切割成单个小件， 耗时 长， 工艺复杂， 且无法实现可视化对准， 套刻 精度 低， 增加了操作人员的工作量， 使用效果差的问 题， 现提出如下方案， 包括操作台， 所述操作台的 顶侧安装有LED紫外灯， 所述操作台的顶侧固定 焊接有两个对称设置的固定柱， 两个所述固定柱 上均活动安装有调节座， 两个所述调节座上均固 定焊接有连接杆。 本发明设计合理， 可 以将整张 硅片一次性直接曝光， 提高了工作效率， 且可 以 实现可视化对准， 套刻精度高， 可 以对显示器进 行多角度调节， 降低了操作人员的工作量， 使用 效果好， 值得推广使用。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 115032865 A 2022.09.09 CN 115032865 A 1.一种双显示器高精度套刻机， 包括操作台(1)， 其特征在于： 所述操作台(1)的顶侧安 装有LED紫外灯(5)， 所述操作台(1)的顶侧固定焊接有两个对称设置的固定柱(6)， 两个所 述固定柱(6)上均活动安装有调节座(7)， 两个所述调节座(7)上均固定焊接有连接杆(8)， 所述连接杆(8)远离所述调节 座(7)的一端转动连接有转动座(9)， 两个所述转动座(9)上均 固定安装有放大镜(10)， 两个所述转动座(9)中的一个所述转动座(9)上固定安装有第一高 倍CCD相机(11)， 两个所述转动座(9)中的另一侧所述转动座(9)上固定安装有第二高倍CCD 相机(12)； 所述操作台(1)的顶侧开设有滑槽(13)， 所述滑槽(13)的内壁上转动连接有螺纹杆 (14)， 所述螺纹杆(14)上螺纹连接有移动座(15)， 所述移动座(15)上开设有两个凹槽(17)， 两个所述凹槽(17)内均滑动连接座(19)， 两个所述连接座(19)上固定焊接有同一个安装架 (20)， 所述安装架(20)上转动连接有四个转轴(21)， 相对应的两个所述转轴(21)上固定安 装有同一个液晶显示器(2 2)。 2.根据权利要求1所述的一种双显示器高精度套刻机， 其特征在于： 所述操作台(1)的 前侧设有两个抽屉(2)， 所述操作台(1)的前侧通过铰链铰接有两个门板(3)， 。 3.根据权利要求1所述的一种双显示器高精度套刻机， 其特征在于： 所述操作台(1)的 底侧固定焊接有四个支腿(4)， 四个所述支腿(4)为两两对称设置， 四个所述支腿(4)的底端 均设有防滑垫(25)。 4.根据权利要求1所述的一种双显示器高精度套刻机， 其特征在于： 所述移动座(15)上 开设有螺纹孔， 所述螺纹孔内设有一组内螺纹， 所述螺纹杆(14)上设有一组外螺纹， 所述外 螺纹与所述内螺纹相啮合。 5.根据权利要求1所述的一种双显示器高精度套刻机， 其特征在于： 所述滑槽(13)的底 侧内壁上固定焊接有两个导 向座(16)， 所述移动座(15)的底侧开设有两个限位槽， 所述导 向座(16)滑动设置在相对应的所述限位槽内。 6.根据权利要求1所述的一种双显示器高精度套刻机， 其特征在于： 所述凹槽(17)的顶 侧内壁与底侧内壁上固定焊接有同一个导向杆(18)， 所述连接座(19)滑动设置在相对应的 所述导向杆(18)上。 7.根据权利要求1所述的一种双显示器高精度套刻机， 其特征在于： 所述滑槽(13)的后 侧内壁上开设有圆槽， 所述螺纹杆(14)上固定套设有轴承(23)的内圈， 所述轴承(23)的外 圈与所述圆槽的内壁固定设置 。 8.根据权利要求1所述的一种双显示器高精度套刻机， 其特征在于： 所述导向杆(18)与 所述转轴(21)上均设置有防滑橡胶。 9.根据权利要求1所述的一种双显示器高精度套刻机， 其特征在于： 两个所述固定柱 (6)的顶端均设有限位套(24)， 所述限位套(24)与相对应的所述调节座(7)相适配。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115032865 A 2一种双显示器高精度套刻机 技术领域 [0001]本发明涉及套刻机技 术领域， 尤其涉及一种双显示器高精度套刻机 。 背景技术 [0002]光刻机的工作过程是这样的： 逐一曝光完硅片上所有的场， 亦即分步， 然后更换硅 片， 直至曝光完所有的硅片； 当对硅片进行工艺处理结束后， 更换掩模， 接着在硅片上 曝光 第二层图形， 也就是进 行重复曝光。 其中， 第二层 掩模曝光的图形必须和 第一层掩模曝光准 确的套叠在一 起， 故称之为套刻。 为 提高工作效率， 所以亟需一种双显示器高精度套刻机 。 [0003]但是， 现有的高精度套刻机， 功能单一， 需要将硅片切割成单个小件， 耗时长， 工艺 复杂， 且无法实现可视化对准， 套刻精度低， 增 加了操作人员的工作量， 使用效果差 。 发明内容 [0004]本发明的目的是为了解决现有的高精度套刻机， 功能单一， 需要将硅片切割 成单 个小件， 耗时长， 工艺复杂， 且无法实现可视化对准， 套刻精度低， 增加了操作人员的工作 量， 使用效果差的缺 点， 而提出的一种双显示器高精度套刻机 。 [0005]为了实现上述目的， 本发明采用了如下技 术方案： [0006]一种双显示器高精度套刻机， 包括操作台， 所述操作台的顶侧安装有LED紫外灯， 所述操作台的顶侧固定焊接有两个对称设置的固定柱， 两个所述固定柱上均活动安装有调 节座， 两个所述调节座上均固定焊接有连接杆， 所述连接杆远离所述调节座的一端转动连 接有转动座， 两个所述转动座上均固定安装有放大镜， 两个所述转动座中的一个所述转动 座上固定安装有第一高倍CCD相机， 两个所述转动座中的另一侧所述转动座上固定安装有 第二高倍C CD相机； [0007]所述操作台的顶侧开设有滑槽， 所述滑槽 的内壁上转动连接有螺纹杆， 所述螺纹 杆上螺纹连接有移动座， 所述移动座上开设有两个凹槽， 两个所述凹槽内均 滑动连接座， 两 个所述连接座上固定焊接有同一个安装架， 所述安装架上转动连接有四个转轴， 相对应的 两个所述 转轴上固定安装有同一个液晶显示器。 [0008]在一个优选 的实施方式中， 所述操作台的前侧 设有两个抽屉， 所述操作 台的前侧 通过铰链铰接有两个门板， 增加了所述操作台的存储空间， 可以将一些仪器设备放在所述 操作台内， 便于操作人员使用。 [0009]在一个优选 的实施方式中， 所述操作台的底侧固定焊接有四个支腿， 四个所述支 腿为两两对称设置， 四个所述支腿的底端均设有防滑垫， 对所述操作台起到稳定支撑的效 果， 同时防止操作台受到 外力轻易移动。 [0010]在一个优选 的实施方式中， 所述移动座上开设有螺纹孔， 所述螺纹孔内设有一组 内螺纹， 所述螺纹杆上设有一组外螺纹， 所述外螺纹与所述内螺纹相啮合， 便于通过螺纹调 节所述移动座的位置 。 [0011]在一个优选 的实施方式中， 所述滑槽 的底侧内壁上固定焊接有两个导向座， 所述说　明　书 1/4 页 3 CN 115032865 A 3