(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221043729.3 (22)申请日 2022.05.05 (73)专利权人 苏州艾特斯环保 设备有限公司 地址 215211 江苏省苏州市吴江汾湖经济 开发区汾越路918号A棟2 楼 (72)发明人 朱慧宁　周阳　夏小忠　 (74)专利代理 机构 南京纵横知识产权代理有限 公司 32224 专利代理师 董成 (51)Int.Cl. B01D 53/75(2006.01) B01D 53/78(2006.01) B01D 53/79(2006.01) B01D 47/06(2006.01) (54)实用新型名称 一种小风 量的废气处 理装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种小风量的废气处理装 置， 包括处理装置本体， 处理装置本体内还设置 有通过引风通道连接的吸收系统一和吸收系统 二， 吸收系统一上设置有若干个进气 口， 吸收系 统二上设置有出气口； 吸收系统一和吸收系统二 分别采用的是空塔吸收式和填料吸收式， 吸收系 统一和吸收系统二内分别设置有喷淋机构， 吸收 系统二内设置有位于喷淋机构下方的填料层， 且 引风通道的出风口位于填料层的上部， 出气口上 设置有位于填料层下方的汇流排气部， 进气管道 上还连接有分支喷淋管。 本实用新型提供了一种 能促使气流有序流通净化的小风量的废气处理 装置。 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 CN 217855426 U 2022.11.22 CN 217855426 U 1.一种小风量的废气处理装置， 包括处理装置本体， 所述处理装置本体内还设置有通 过引风通道连接的吸收系统一和吸收系统二， 所述吸收系统一上设置有若干个进气口， 所 述吸收系统二上设置有出气口； 其特征在于： 所述吸收系统一和吸收系统二内分别 设置有 喷淋机构， 所述吸收系统二内设置有位于所述喷淋机构下方的填料层， 且所述引风通道的 出风口位于所述填料层的上部， 所述出气口上设置有位于所述填料层下方的汇流排气部， 所述汇流排气 部包括安装在所述填料层下方的汇 集罩， 汇集罩上部 设置引至所述处理装置 本体外部的导流管。 2.根据权利要求1所述的一种 小风量的废气处理装置， 其特征在于： 进气管道上还连接 有分支喷淋管； 进气管道包括与所述进气口连接的进气支管一和进气支管二， 进气支管一 和进气支管二上分别连接有所述分支喷淋管， 所述分支喷淋管与循环上 水机构连接 。 3.根据权利要求2所述的一种 小风量的废气处理装置， 其特征在于： 所述汇集罩呈入口 朝下、 出口朝上方转圆形结构， 所述导流管的一端与所述出口连接， 所述导流管的另一端穿 设过出气口后引出至所述处 理装置本体外部。 4.根据权利要求1或2所述的一种小风量的废气处理装置， 其特征在于： 所述吸收系统 一和吸收系统二分别采用的是 空塔吸收式和填料吸收式， 所述吸收系统一内的下部为循环 水箱一， 所述吸收系统一的喷淋机构位于所述进气口的上方； 所述吸收系统二内的下部为 循环水箱二， 所述汇流排气部位于所述循环水箱二的上部； 所述处理装置本体上还连接有 加药管路和补水 管路以及排水 管路。 5.根据权利要求3所述的一种 小风量的废气处理装置， 其特征在于： 所述吸收系统一和 吸收系统二是通过隔板在所述处理装置本体的内腔中分隔形成的吸收腔； 且引风通道穿设 在所述隔板的上部， 所述隔板下部设置有通孔； 循环水箱一和循环水箱二之间通过所述隔 板上的通孔连通， 且所述循环水箱 一和循环水箱 二通过循环上水机构的循环管路和循环水 泵与喷淋机构连接 。 6.根据权利要求1所述的一种 小风量的废气处理装置， 其特征在于： 所述吸收系统一的 喷淋机构包括若干个设置在所述吸 收系统一内的喷淋头， 且所述喷淋头的喷洒方向朝上。 7.根据权利要求1所述的一种 小风量的废气处理装置， 其特征在于： 所述吸收系统二的 喷淋机构包括若干个设置在所述吸收系统二内的喷淋头， 且所述喷淋头的喷洒方向朝下， 且正对所述 填料层。 8.根据权利要求5所述的一种 小风量的废气处理装置， 其特征在于： 所述循环上水机构 还包括与循环水泵连接的Y型 过滤器。 9.根据权利要求5所述的一种 小风量的废气处理装置， 其特征在于： 填料层采用的是带 有纵向孔隙的填料、 泰勒花环、 鲍尔环填料中的一种或多种。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217855426 U 2一种小风量的废气处理装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及环保领域， 具体涉及废气处理装置， 尤其涉及一种小风量的废气 处理装置。 背景技术 [0002]随着电子半导体、 液晶、 太阳能等行业的迅速发展， 其在生产、 制造过程中， 基于其 制作工艺的需求， 如： PECVD、 ICP、 ITO、 TFT等会使用一些酸碱试剂进行清洗、 蚀刻、 覆膜等， 因此会从机台产生小风量的废气、 特气尾气， 这些废气的特点是含酸、 碱性废气浓度高、 风 量小 （一般低于1000m3/h） 、 含少量粉尘， 这类废气的处理一般都是在机台附近设置废气的 处理系统， 因气量较小， 气流是无序的状态。 同时， 现有技术中净化设备也不便于对进气管 道进行净化处理。 因此， 采用常规的洗涤系统并不适用。 需要从处理设备的结构和原理上对 这类气体进行处理。 因此， 本领域技术人员需要研发一种能促使气流有序流通净化的小风 量的废气处 理装置。 实用新型内容 [0003]本实用新型克服了现有技术的不足， 提供一种能促使气流有序流通净化的小风量 的废气处 理装置。 [0004]为达到上述目的， 本 实用新型采用的技术方案为： 一种小风量的废气处理装置， 包 括处理装置本体， 处理装置本体内还设置有通过引风通道连接的吸收系统一和吸收系统 二， 吸收系统一上设置有若干个进气口， 吸收系统二上设置有 出气口； 吸收系统一和吸收系 统二内分别设置有喷淋机构， 吸收系统二内设置有位于 喷淋机构下方 的填料层， 且引风通 道的出风口位于填料层的上部， 出气口上设置有位于填料层下方 的汇流排气部， 汇流排气 部包括安装在填料层下 方的汇集 罩， 汇集罩上部设置有引至处 理装置本体外部的导流管。 [0005]本实用新型一个 较佳实施例中， 进气管道上还连接有分支喷淋管。 [0006]本实用新型一个较佳实施例中， 汇集罩呈入口朝下、 出口朝上方转圆形结构， 导流 管的一端与出口连接， 导 流管的另一端穿设过 出气口后引出至处 理装置本体外部。 [0007]本实用新型一个较佳实施例中， 吸收系统一和吸收系统二分别采用的是空塔吸收 式和填料吸收式； 吸收系统一内的下部为循环水箱 一， 进气口位于循环水箱的上方， 吸收系 统一的喷淋机构位于所述进气口的上方； 吸收系统二内的下部为循环水箱二， 汇流排气部 位于循环水箱二的上部； 处 理装置本体上还连接有加药 管路和补水 管路以及排水 管路。 [0008]本实用新型一个较佳实施例中， 吸收系统一和吸收系统二均是通过隔板在处理装 置本体的内腔中分隔形成的吸收腔； 且引风通道 穿设在隔板的上部， 隔板下部设置有通孔； 循环水箱一和循环水箱 二之间通过隔板上的通孔连通， 且循环水箱 一和循环水箱二通过循 环上水机构的循环管路和循环水泵与喷淋机构连接 。 [0009]本实用新型一个较佳实施例中， 吸收系统一的喷淋机构包括若干个设置在吸收系 统一内的喷淋头， 且喷淋头的喷洒方向朝上。说　明　书 1/5 页 3 CN 217855426 U 3