(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221776426.2 (22)申请日 2022.07.08 (73)专利权人 深圳市瓦力自动化有限公司 地址 518100 广东省深圳市宝安区福永街 道白石厦龙王庙工业区17栋401 (72)发明人 王飞　董晓龙　巫枝盛　 (74)专利代理 机构 深圳市中 融创智专利代理事 务所(普通 合伙) 44589 专利代理师 李朦　叶垚平 (51)Int.Cl. B62B 3/04(2006.01) B62B 5/00(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种保湿型晶圆拋光盘转 运移载车架 (57)摘要 本实用新型公开了一种保湿型晶圆拋光盘 转运移载车架， 包括放置层， 放置层上设有水箱 组件、 吸水件及安装件， 水箱组件定位于放置层， 水箱组件与吸水件连接， 吸水件铺设于放置层表 面， 安装件盖合于吸水件表面， 安装件靠近吸水 件一侧的表 面上设有至少一个定位部， 每一定位 部定位晶圆拋光盘， 当安装件定位于放置层时， 晶圆拋光盘压合于吸水件表面。 通过将晶圆抛光 盘一侧贴附压合吸水件， 使 得晶圆抛光盘在转移 过程中可以立即进行润湿处理， 不需要额外设置 润湿处理的针对性设备， 降低生产设备的成本。 同时， 通过在转运车架上设置吸水件 给晶圆抛光 盘润湿， 使得晶圆抛光盘的转运和润湿两个工序 结合在一 起同步进行， 提高了晶圆生产的效率。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217532943 U 2022.10.04 CN 217532943 U 1.一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架， 其特征在于： 包括放置层， 所述放置层上设有 水箱组件、 吸水件及安装件， 所述水箱组件定位于所述放置层， 所述水箱组件与所述吸水件 连接； 所述吸水件铺设于所述放置层表面， 所述安装件定位于所述放置层， 且所述安装件盖 合于所述吸水件表面； 所述安装件靠近所述吸水件一侧的表面上设有至少一个定位部， 每一所述定位部定位 晶圆拋光盘， 当所述 安装件定位于所述 放置层时， 晶圆拋光盘压合于吸水件表面。 2.根据权利要求1所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架， 其特征在于： 所述水箱 组件包 括水箱及输水管， 所述水箱与所述吸水件相 邻设置， 所述输水管与所述水箱连通， 所述输水 管嵌入所述吸水件内部， 所述输水 管向所述吸水件内部 输出液体。 3.根据权利要求2所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架， 其特征在于： 所述输水管表面 设有多个输水孔。 4.根据权利要求3所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架， 其特征在于： 所述输水管呈环 形设置。 5.根据权利要求1所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架， 其特征在于： 所述放置层表面 设有多个凸起的安装块， 多个所述安装块环设于所述安装件的外周侧， 所述安装件扣合于 所述安装块。 6.根据权利要求2所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架， 其特征在于： 所述水箱 组件还 包括水泵， 所述水泵设于所述水箱及所述输水 管之间。 7.根据权利要求1所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架， 其特征在于： 所述定位部为所 述安装件表面的凹陷结构， 当晶圆拋光盘定位于所述定位部时， 所述晶圆拋光盘凸起于所 述安装件的表面。 8.根据权利要求2所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架， 其特征在于： 所述水箱远离所 述吸水件一侧设有观察部， 所述观察部为透明材质。 9.根据权利要求1 ‑8中任一项所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架， 其特征在于： 所述 放置层的数量 为多个， 多个所述 放置层依次设置 。 10.根据权利要求9所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架， 其特征在于： 在最底部的放 置层的底面连接有移动轮。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217532943 U 2一种保湿型晶圆 拋光盘转运 移载车架 技术领域 [0001]本实用新型属于晶圆转移设备领域， 特别涉及一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车 架。 背景技术 [0002]晶圆抛光盘是晶圆切片后获得的盘状结构， 一般经历切片、 粗磨、 喷淋润湿、 精磨 的过程， 由于晶圆生产为大批量的大型车间作业， 所以切片和研磨工序均在不同的车间完 成， 故切片完成后需要将晶圆抛光盘转移到研磨车间。 [0003]喷淋润湿工序是为了在精磨之前对晶圆抛光盘需要研磨的表面进行润湿， 这是进 行研磨前的工艺要求， 现有的喷淋润湿工艺一般有： 浸泡、 表面喷淋等方式， 例如， 浸泡则为 将整个晶圆抛光盘浸入到泡水池中， 整体进行润湿； 表面喷淋为将晶圆抛光盘移动到喷淋 区域， 对待研磨表面喷洒清水或研磨液。 [0004]以上两种方式需要额外设置润湿工位， 浸泡需要设置泡水池、 喷淋需要设置喷淋 机构， 增加了晶圆生产设备 的成本， 同时在晶圆抛光盘润湿的转移过程也会导致晶圆生产 效率较低。 实用新型内容 [0005]本实用新型提供了一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架， 旨在 解决现有的晶圆润 湿工艺带来的设备成本较高和生产效率较低的问题。 [0006]根据本申请实施例， 提供了一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架， 包括放置层， 所 述放置层上设有水箱组件、 吸水件及安装件， 所述水箱组件定位于所述放置层， 所述水箱组 件与所述吸水件连接； 所述吸水件铺设于所述放置层表面， 所述安装件定位于所述放置层， 且所述安装件盖合于所述吸水件表面； 所述安装件靠近所述吸水件一侧的表面上设有至少 一个定位部， 每一所述定位部定位晶圆拋光盘， 当所述安装件定位于所述放置层时， 晶圆拋 光盘压合于吸水件表面。 [0007]优选地， 所述水箱组件包括水箱及输水管， 所述水箱与所述吸水件相邻设置， 所述 输水管与所述水箱连通， 所述输水管嵌入所述吸水件内部， 所述输水管向所述吸水件内部 输出液体。 [0008]优选地， 所述输水 管表面设有 多个输水孔。 [0009]优选地， 所述输水 管呈环形设置 。 [0010]优选地， 所述放置层表面设有多个凸起的安装块， 多个所述安装块环设于所述安 装件的外周侧， 所述 安装件扣合于所述 安装块。 [0011]优选地， 所述水箱组件 还包括水泵， 所述水泵设于所述水箱及所述输水 管之间。 [0012]优选地， 所述定位部为所述安装件表面的凹陷结构， 当晶圆拋光盘定位于所述定 位部时， 所述晶圆拋光盘凸起于所述 安装件的表面。 [0013]优选地， 所述水箱远离所述吸水件一侧设有观察部， 所述观察部为透明材质。说　明　书 1/4 页 3 CN 217532943 U 3