(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202220995756.4 (22)申请日 2022.04.27 (73)专利权人 山东华菱电子股份有限公司 地址 264209 山 东省威海市 火炬高技 术产 业开发区科技路181号 (72)发明人 杨永光　谷保艳　张路生　姜林　 王欢　 (74)专利代理 机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 袁微微 (51)Int.Cl. B65G 47/90(2006.01) B65G 47/74(2006.01) B65G 13/11(2006.01) B65G 43/08(2006.01)B65G 37/00(2006.01) B65G 65/32(2006.01) (54)实用新型名称 一种基板搬运系统 (57)摘要 本实用新型涉及基板加工技术领域， 具体公 开了一种基板搬运系统。 本系统用于搬运基板， 包括抬升模块和承载模块； 抬升模块包括料爪组 件和抬升驱动组件， 抬升驱动组件用于驱动料爪 组件， 料爪组件能够与基板的下板面相接触并带 动基板移动， 当料爪组件将基板搬运至第一位置 时， 料爪组件能够沿竖直方向下降； 承载模块包 括承载组件和承 载驱动组件， 承 载组件设有收纳 腔， 收纳腔能够收纳位于第一位置的基板， 承载 驱动组件能够驱动承 载组件沿竖直方向升降。 本 系统通过以上结构设计， 改进了抬升模块与承 载 模块在变更基板的支撑件时的动作， 降低了基板 在搬运的过程中位置偏移的风险， 减少了基板的 非必要损伤或废弃， 保障了基板的搬运操作的顺 利高效运行。 权利要求书2页 说明书7页 附图5页 CN 217200743 U 2022.08.16 CN 217200743 U 1.一种基板搬运系统， 用于搬运基板(5 00)， 其特征在于， 包括： 抬升模块(400)， 包括料爪组件和抬升驱动组件， 所述抬升驱动组件用于驱动所述料爪 组件， 所述料爪组件能够与所述基板(500)的下板面相接触并带动所述基板(500)移动， 当 所述料爪组件将所述基板(5 00)搬运至第一 位置时， 所述料爪组件能够沿竖直方向下降； 承载模块(200)， 包括承载组件和承载驱动组件， 所述承载组件设有收纳腔， 所述收纳 腔能够收纳位于所述第一位置的基板(500)， 所述承载驱动组件能够驱动所述承载组件沿 竖直方向升降。 2.根据权利要求1所述的基板搬运系统， 其特征在于， 所述料爪组件能够带动所述基板 (500)在所述第一位置与第二位置之间移动； 所述基板搬运系统还包括输送模块(300)， 所 述输送模块(300)用于带动所述基板(500)在所述第二位置与第三位置之间移动， 所述基板 (500)从所述第三 位置输出所述基板搬运系统。 3.根据权利要求2所述的基板搬运系统， 其特征在于， 所述输送模块(300)包括输送框 架和多个托辊(340)， 所述托辊(340)转动连接于所述输送框架上且能够绕所述托辊(340) 的轴线旋转， 多个所述托辊(340)沿水平方向间隔排列， 所述托辊(340)能够与所述基板 (500)的下板面相接触并带动所述基板(500)， 所述料爪组件设于多个所述托辊(340)下方， 且所述料爪组件能够部分穿过相邻两个所述 托辊(340)之间的间隙。 4.根据权利要求3所述的基板搬运系统， 其特征在于， 所述料爪组件包括料爪主体和两 个支撑杆， 所述抬升驱动组件用于驱动所述料爪主体， 两个所述支撑杆均固接于所述料爪 主体上， 所述支撑杆与所述基板(500)的下板面相接触且能够穿过相邻两个所述托辊(340) 之间的间隙。 5.根据权利要求4所述的基板搬运系统， 其特征在于， 所述支撑杆上安装有传感器和调 节柱， 所述传感器用于检测所述料爪组件与位于所述料爪组件上的所述基板(500)的相对 位置， 所述支撑杆通过所述调节柱与所述基板(500)的下板面相接触， 所述调节柱能够相对 所述支撑杆升降。 6.根据权利要求3所述的基板搬运系统， 其特征在于， 所述输送框架包括侧面框架板 (311)、 端面框架板(312)和底面框架板(313)， 所述侧面框架板(311)、 所述端面框架板 (312)和所述底面框架板(313)围成了料爪容纳腔， 所述抬升模块(400)置于所述料爪容纳 腔内。 7.根据权利要求6所述的基板搬运系统， 其特征在于， 所述输送模块(300)还包括第一 皮带(320)， 所述第一皮带(320)套接于第一输出带轮(331)和同步带轮(342)上， 所述同步 带轮(342)同轴固接于所述托辊(340)； 所述输送框架上安装有第一 驱动单元(330)， 所述第 一输出带轮(331)固设于所述第一驱动单元(330)的输出端， 所述第一驱动 单元(330)通过 驱动所述第一输出 带轮(331)带动所述 托辊(340)转动。 8.根据权利要求1所述的基板搬运系统， 其特征在于， 所述承载组件包括两个正对的料 框架(210)， 两个所述料框架(210)相向的一侧均设有多个料框槽(211)， 一个所述料框架 (210)上的所述料框槽(211)与另一个所述料框架(210)上正对的所述料框槽(211)形成了 所述收纳腔。 9.根据权利要求8所述的基板搬运系统， 其特征在于， 所述承载模块(200)还包括料框 固定板(220)、 料框连接件(230)、 料框滑架(240)和承载底座(250)， 两个所述料框架(210)权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217200743 U 2均安装于所述料框连接件(230)上， 所述料框连接件(230)通过定位销(231)固接于所述料 框固定板(220)的上板面； 所述料框固定板(220)的下板面固接有 料框滑架(2 40)， 所述料框 滑架(240)沿竖直方向滑设于所述承载底座(25 0)上。 10.根据权利要求1所述的基板搬运系统， 其特征在于， 所述抬升模块(400)还包括搬运 框架板(430)和 升降单元， 所述升降单元沿水平方向滑设于所述搬运框架板(430)， 所述料 爪组件安装于所述升降单 元上， 所述升降单 元用于驱动所述料爪组件沿竖直方向升降。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217200743 U 3