(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 20221097642 2.7 (22)申请日 2022.08.15 (71)申请人 北京华林嘉 业科技有限公司 地址 101118 北京市通州区宋庄镇后夏公 庄村村委会东南1000米 (72)发明人 耿彪　耿仕昂　 (74)专利代理 机构 北京东方芊悦知识产权代理 事务所(普通 合伙) 11591 专利代理师 凌云 (51)Int.Cl. B08B 3/08(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 3/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种硅外延石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的 清洗方法 (57)摘要 本发明涉及硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼 掺杂物的清洗方法， 采用硅外延炉石英钟罩清洗 装置对硅外延炉石英钟罩进行清洗， 硅外延炉石 英钟罩清洗装置包括钟罩清洗工位和酸泡清洗 工位， 硅外延炉石英钟罩在钟罩清洗工位进行清 洗时， 依次经过第一次水洗工序、 稀酸清洗工序、 第二次水洗工序、 浓酸清洗工序、 第三次水洗工 序、 干燥工序； 酸泡清洗工位进行清洗时， 包括酸 泡作业、 排酸作业、 注水作业、 溢流和鼓泡作业、 排水作业、 pH检测作业。 本发明能对硅外延炉石 英钟罩进行喷淋清洗以及对钟罩相关的配套件 以及石英件进行浸泡清洗， 对硅外延炉石英钟罩 内壁附着的磷砷硼等掺杂物有效的清洗、 去除， 清洗效果 好， 清洗效率高。 权利要求书1页 说明书4页 CN 115213159 A 2022.10.21 CN 115213159 A 1.硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法， 其特征在于， 采用硅外延炉石英 钟罩清洗装置对硅外延炉石英钟罩进 行清洗， 所述硅外延炉石英钟罩清洗装置包括钟罩清 洗工位和 酸泡清洗工位， 所述硅外延炉石英钟 罩在钟罩清洗工位进行清洗时， 依 次经过第 一次水洗工序、 稀酸清洗工序、 第二次水洗工序、 浓酸清洗工序、 第三次水洗工序、 干燥工 序； 所述酸泡清洗工位进行清洗时， 包括酸泡作业、 排酸作业、 注水作业、 溢流和鼓泡作业、 排水作业、 pH检测作业。 2.根据权利要求1所述的硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法， 其特征在 于： 第一次水洗工序的水洗 时间为600 ‑1000s， 稀酸清洗工序的清洗时间为120 ‑240s， 第二 次水洗工序的水洗时间为600 ‑1000s， 浓酸清洗工序的清洗时间为120 ‑240s， 第三次水洗工 序的水洗时间为6 00‑1000s， 干燥工序的干燥时间为180 0‑3000s。 3.根据权利要求1所述的硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法， 其特征在 于： 在对硅 外延炉石英钟罩的内壁进行清洗时， 采用喷淋清洗 。 4.根据权利要求1所述的硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法， 其特征在 于： 所述干燥工序采用氮气干燥。 5.根据权利要求1所述的硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法， 其特征在 于： 所述酸泡清洗工位位于清洗槽， 在清洗槽中酸泡作业的时间为360 ‑720s， 采用循环过 滤； 清洗槽中的排酸作业时间为60 ‑120s， 排酸后进行注水作业， 注水作业与排水作业之间 采用循环， 循环总时间为10 00‑2000s， 采用在线pH计进行pH检测作业。 6.根据权利要求1所述的硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法， 其特征在 于： 所述稀酸清洗工序中所采用的酸为盐酸、 硫酸、 硝酸、 磷酸、 氢氟酸中的一种或多种， 所 述浓酸清洗 工序中所采用的酸 为盐酸、 硫酸、 硝酸、 磷酸、 氢氟酸中的一种或多种。 7.根据权利要求1所述的硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法， 其特征在 于： 所述稀酸清洗工序以及所述浓酸清洗工序中的流体均为二流体， 二流体为气体和液体 的混合体， 二流体中的液体为酸， 二流体中的气体为氮气、 压缩空气、 二氧化碳中的一种或 多种。 8.根据权利要求1所述的硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法， 其特征在 于： 所述稀酸清洗工序以及所述浓酸清洗工序中的流体均为三流体， 三流体为气 体、 液体和 固体的混合体， 三流体中的气体为氮气、 压缩空气、 二氧化碳中的一种或多种， 三流体中的 液体为酸， 三流体中的固体为冰 粒， 冰粒的粒径为2～3 mm， 三流体在管道内的输送时间不超 过3s； 三流体在管内内输送时， 管道内的温度不超过15℃； 三流体在初始时， 每1L的液体中， 含有的冰粒为80～120 颗； 三流体采用离心泵 进行输送。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115213159 A 2一种硅外延石英钟罩去除磷砷硼掺 杂物的清洗方 法 技术领域 [0001]本发明涉及硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法， 属于钟罩清洗技术 领域。 背景技术 [0002]目前， 对硅外延炉石英钟罩(以下简称钟罩)及石英件的清洗通常都是分为两个工 位/设备， 钟罩相关的配套件以及石英件都是在浸泡槽中进 行浸泡清洗。 钟罩的主体通常都 是对其内表面进行清洗， 清洗方法分别为： [0003]一、 采用自动高压清洗装置——即使用高压水流(清洗液)对钟罩内表面进行冲 洗， 再进行烘干 。 [0004]二、 采用浸泡式清洗， 如申请号为CN201922036727.6的 “一种多晶硅还原炉钟罩清 洗设备”。 [0005]三、 采用喷淋清洗的方式， 如授权公告号为CN101352714B “一种组合式钟罩清洗机 及其操作方法 ”。 [0006]上述几种清洗方法， 其清洗效果有限， 只能清洗钟罩内表面粘附的易冲洗的污垢， 对于粘附较牢固的污垢则较难清除， 尤其是对磷砷硼等掺杂物的清洗， 去除率低， 清洗效率 低。 发明内容 [0007]本发明针对现有技术存在的不足， 提供了硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的 清洗方法， 具体技 术方案如下： [0008]硅外延炉石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法， 采用硅外延炉石英钟罩清洗装 置对硅外延炉石英钟罩进 行清洗， 所述硅外延炉石英钟罩清洗装置包括钟罩清洗工位和酸 泡清洗工位， 所述硅外延炉石英钟 罩在钟罩清洗工位进行清洗时， 依 次经过第一次水洗工 序、 稀酸清洗工序、 第二次水洗工序、 浓酸清洗工序、 第三次水洗工序、 干燥工序； 所述酸泡 清洗工位进行清洗时， 包括酸泡作业、 排酸作业、 注水作业、 溢流和鼓泡作业、 排水作业、 pH 检测作业。 [0009]作为上述技术方案的改进， 第一次水洗工序的水洗时间为600 ‑1000s， 稀酸清洗工 序的清洗时间为120 ‑240s， 第二次水洗工序的水洗 时间为 600‑1000s， 浓酸清洗工序的清 洗时间为120 ‑240s， 第三次水洗工序的水洗时间为600 ‑1000s， 干燥工序的干燥时间为 1800‑3000s。 [0010]作为上述技术方案 的改进， 在对硅外延炉石英钟罩的内壁进行清洗时， 采用喷淋 清洗， 喷淋清洗效果更高。 [0011]作为上述技术方案的改进， 所述干燥工序采用氮气干燥。 采用氮气加热， 高纯无污 染。 [0012]作为上述技术方案 的改进， 所述酸泡清洗工位位于清洗槽， 在清洗槽中酸泡作业说　明　书 1/4 页 3 CN 115213159 A 3