(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210970006.6 (22)申请日 2022.08.12 (71)申请人 南通高米精密机 械有限公司 地址 226000 江苏省南 通市如皋市江安 镇 镇南路43号 (72)发明人 石小辉　 (51)Int.Cl. B08B 3/04(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 3/14(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种半导体设备零部件加工用酸洗装置 (57)摘要 本发明公开了一种半导体设备零部件加工 用酸洗装置， 包括酸洗箱， 所述酸洗箱侧壁固定 连接有固定架， 所述固定架侧壁固定连接有安装 板， 所述安装板上安装有酸洗机构， 所述酸洗机 构包括转动连接在安装板侧壁的杆a， 所述安装 板侧壁固定连接有电机， 所述电机输出端贯穿安 装板侧壁并与杆a固定连接， 所述杆a侧壁固定连 接有杆b， 所述杆b侧壁固定连接有杆c， 所述杆c 侧壁转动连接有 杆d， 所述杆d下端固定连接有固 定块， 所述固定块侧壁固定连接有放置框。 本发 明中的酸洗机构使得放置框内的二极管可以不 断地被颠起， 避免二极管相互堆叠在一起无法各 个部分充分的与酸洗液接触， 造成酸洗效果不理 想， 提高酸洗的效率和效果。 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 CN 115041455 A 2022.09.13 CN 115041455 A 1.一种半导体设备零部件加工用酸洗装置， 包括酸洗箱 （1） ， 其特征在于， 所述酸洗箱 （1） 侧壁固定连接有固定架 （2） ， 所述固定架 （2） 侧壁固定连接有安装板 （3） ， 所述安装板 （3） 上安装有酸洗机构， 所述酸洗机构包括转动连接在安装板 （3） 侧壁的杆a （4） ， 所述安装板 （3） 侧壁固定连接有电机 （5） ， 所述电机 （5） 输出端贯穿安装板 （3） 侧壁并与杆a （4） 固定连 接， 所述杆a （4） 侧壁固定连接有 杆b （6） ， 所述杆b （6） 侧壁固定连接有杆c （7） ， 所述杆c （7） 侧 壁转动连接有杆d （8） ， 所述杆d （8） 下端 固定连接有固定块 （9） ， 所述固定块 （9） 侧壁固定连 接有放置框 （10） ， 所述放置框 （10） 内壁开设有多个进液孔 （11） ， 所述安装板 （3） 侧壁固定连 接有杆f （12） ， 所述杆f （12） 侧壁转动连接有杆e （13） ， 所述杆d （8） 为贯穿杆e （13） 设置， 且所 述杆d （8） 侧壁与杆e （13） 滑动连接， 所述酸洗箱 （1） 上安装有泵液除杂机构， 所述泵液除杂 机构包括开设在酸洗箱 （1） 下端的进液槽 Ⅰ（14） ， 所述进液槽 Ⅰ（14） 内顶部开设有多个吸液 孔 （15） ， 多个所述吸液孔 （15） 内壁均安装有电磁阀 Ⅰ（16） ， 所述进液槽 Ⅰ（14） 内壁固定连接 有滤网 （17） 。 2.根据权利要求1所述的一种半导体设备零部件加工用酸洗装置， 其特征在于， 所述泵 液除杂机构还包括固定连接在固定块 （9） 侧壁的气囊 （18） ， 所述气囊 （18） 另一端与酸洗箱 （1） 内壁固定连接， 所述气囊 （18） 通过吸液管 （19） 与进液槽 Ⅰ（14） 连通， 所述放置框 （10） 侧 壁开设有进液槽 Ⅱ（20） ， 所述进液槽 Ⅱ（20） 内壁开设有多个喷液孔 （21） ， 所述气囊 （18） 通 过出液管 （22） 与进液槽 Ⅱ（20） 连通。 3.根据权利要求2所述的一种半导体设备零部件加工用酸洗装置， 其特征在于， 所述吸 液管 （19） 与出液管 （22） 内壁均安装有单向阀， 且多个所述喷液孔 （21） 内壁均安装有单向 阀。 4.根据权利要求3所述的一种半导体设备零部件加工用酸洗装置， 其特征在于， 所述酸 洗箱 （1） 上安装有对滤网 （17） 进行清洁的清洁机构， 所述清洁机构包括固定连接在酸洗箱 （1） 下端的收集箱 （23） ， 所述进液槽 Ⅰ（14） 通过排杂管 （24） 与收集箱 （23） 连通， 所述排杂管 （24） 内壁 安装有电磁阀 Ⅱ（25） 。 5.根据权利要求4所述的一种半导体设备零部件加工用酸洗装置， 其特征在于， 所述清 洁机构还包括对称开设在酸洗箱 （1） 内的两个凹槽 （26） ， 两个所述凹槽 （26） 内壁滑动连接 有两个磁性滑板 （27） ， 两个所述磁性滑板 （27） 侧壁固定连接有两个杆g （28） ， 两个所述杆g （28） 一端贯穿凹槽 （26） 内壁延伸至进液槽 Ⅰ（14） 内并共同固定连接有针板 （29） ， 所述针板 （29） 靠近滤网 （17） 的侧壁固定连接有多个顶针， 所述凹槽 （26） 内壁固定连接有多个弹簧 （30） ， 多个所述弹簧 （30） 另一端均与磁性滑板 （27） 侧壁固定连接， 所述凹槽 （26） 内壁固定 连接有电磁铁 （31） 。 6.根据权利要求5所述的一种半导体设备零部件加工用酸洗装置， 其特征在于， 所述杆 b （6） 上端固定连接有弧形导电块 （32） ， 所述安装板 （3） 侧壁对称固定连接有导电条 Ⅰ（33） 和 导电条Ⅱ（34） ， 所述电磁 阀Ⅰ（16） 与导电条 Ⅰ（33） 电性连接， 所述电磁 阀Ⅱ（25） 与导电条 Ⅰ （33） 和导电条 Ⅱ（34） 均电性连接， 所述电磁铁 （31） 与导电条 Ⅰ（33） 和导电条 Ⅱ（34） 均电性 连接。 7.根据权利要求6所述的一种半导体设备零部件加工用酸洗装置， 其特征在于， 所述导 电条Ⅰ（33） 和导电条 Ⅱ（34） 均呈弧形状。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115041455 A 2一种半导体 设备零部件加工用酸洗装 置 技术领域 [0001]本发明涉及半导体设备加工技术领域， 尤其涉及 一种半导体设备零部件加工用酸 洗装置。 背景技术 [0002]半导体是指在常温下的导电性能介于导体与绝缘体之间的材料， 于收音机、 电视 机以及测温上有着广泛的应用， 而二极管则是常用的半导体设备， 二极管在生产过程中， 其 表面可能会粘附有污垢、 油污以及锈蚀等， 需要对其表面进 行酸洗， 以去除二极管表面的杂 物。 [0003]现有的二极管在酸洗时， 通常是将二极管放入到酸洗池中， 使其静置 的浸泡在酸 洗液中， 二极管静置在酸洗液中酸洗效率和酸洗效果比较低， 而且多个二极管堆叠在一起 使得二极管的堆叠部分无法有效的接触酸洗液， 使得二极管部分位置无法充分的进行酸 洗， 酸洗效果比较差 。 [0004]基于此， 我们提出一种半导体设备零部件加工用酸洗装置 。 发明内容 [0005]本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点， 而提出的一种半导体设备零部 件加工用酸洗装置 。 [0006]为了实现上述目的， 本发明采用了如下技 术方案： 一种半导体设备零部件加工用酸洗装置， 包括酸洗箱， 所述酸洗箱侧壁固定连接 有固定架， 所述固定架侧壁固定连接有安装板， 所述安装板上安装有酸洗机构， 所述酸洗机 构包括转动连接在安装板侧壁的杆a， 所述安装板侧壁固定连接有电机， 所述电机输出端贯 穿安装板侧壁并与杆a固定连接， 所述杆a侧壁固定连接有杆b， 所述杆b侧壁固定连接有杆 c， 所述杆c侧壁转动连接有杆d， 所述杆d下端固定连接有固定块， 所述固定块侧壁固定连接 有放置框， 所述放置框内壁开设有多个进 液孔， 所述安装板侧壁固定连接有 杆f， 所述杆f侧 壁转动连接有杆e， 所述杆d为贯穿杆e设置， 且所述杆d侧壁与杆e滑动连接， 所述酸洗箱上 安装有泵液除杂机构， 所述泵液除杂机构包括开设在酸洗箱下端的进液槽 Ⅰ， 所述进液槽 Ⅰ 内顶部开设有多个 吸液孔， 多个所述吸液孔内壁均安装有电磁阀 Ⅰ， 所述进液槽 Ⅰ内壁固定 连接有滤网。 [0007]进一步地， 所述泵液除杂机构还包括固定连接在固定块侧壁的气囊， 所述气囊另 一端与酸洗箱内壁固定连接， 所述气囊通过吸液管与进 液槽Ⅰ连通， 所述放置框侧壁开设有 进液槽Ⅱ， 所述进液槽 Ⅱ内壁开设有多个喷液孔， 所述气囊通过 出液管与进液槽 Ⅱ连通。 [0008]进一步地， 所述吸液管与出液管内壁均安装有单向阀， 且多个所述喷液孔内壁均 安装有单向阀。 [0009]进一步地， 所述酸洗箱上安装有对滤网进行清洁的清洁机构， 所述清洁机构包括 固定连接在酸洗箱下端的收集箱， 所述进 液槽Ⅰ通过排杂管与收集箱连通， 所述排杂管内壁说　明　书 1/5 页 3 CN 115041455 A 3