(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210958969.4 (22)申请日 2022.08.11 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 115026046 A (43)申请公布日 2022.09.09 (73)专利权人 智程半导体设备 科技 （昆山） 有限 公司 地址 215316 江苏省苏州市昆山市玉山 镇 玉杨路299号3号房 (72)发明人 刘斌　赵天翔　 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) B01D 29/56(2006.01)(56)对比文件 CN 104056742 A,2014.09.24 CN 105297357 A,2016.02.0 3 CN 2041769 21 U,2015.02.25 CN 201531467 U,2010.07.21 CN 112902078 A,2021.0 6.04 CN 104815815 A,2015.08.0 5 CN 103341474 A,2013.10.09 CN 101658409 A,2010.0 3.03 审查员 石夫雨 (54)发明名称 一种基于伯努利原理技术的单晶硅片生产 用喷洗式清洗 机 (57)摘要 本发明公开了一种基于伯努利原理技术的 单晶硅片生产用喷洗式清洗机， 包括工作台， 所 述工作台的顶部轴心处固定安装有转动机构， 且 所述转动机构的底部通过回收管相连通有叠片 过滤器。 本发明实现了硅片的清洗和上、 下料工 作完全实现自动化、 无人化连续清洗工作， 不仅 避免清洗后的硅片因下料工作而再次受到污染， 还极大地提升了硅片清洗效率， 且清洗液可循环 使用， 降低硅片清洗成本的目的， 同时， 使得清洗 液产生不稳定涡流并配合伯努利原理形成大量 微小气泡， 降低喷射出的清洗液整体的密度， 清 洗液中微小的气泡在撞击到单晶硅片上后， 立即 破裂并造成冲击， 可以进一步冲刷硅片表面上所 附着的微尘， 提升 了硅片表面杂质的清洗效率。 权利要求书2页 说明书7页 附图9页 CN 115026046 B 2022.11.04 CN 115026046 B 1.一种基于伯 努利原理技术的单晶硅片生产用喷洗式清洗机， 包括工作台 （12） ， 其特 征在于： 所述工作台 （12） 的顶部轴心处固定安装有转动机构 （9） ， 且所述转动机构 （9） 的底 部通过回收管 （90） 相连通有叠片过滤器 （7） ， 所述叠片过滤器 （7） 的输出端相连通有清洗液 存储罐 （8） ， 所述工作台 （12） 的顶部一端活动安装有单晶硅片输送装置 （3） ， 且所述工作台 （12） 的顶部以单晶硅片 输送装置 （3） 为起点依次逆时针围绕有清洗机构 （4） 、 烘干机构 （5） 、 单晶硅片下 料装置 （6） ， 所述清洗 机构 （4） 的一端与清洗液存 储罐 （8） 的一端相连通； 所述清洗机构 （4） 包括固定架 （40） ， 所述固定架 （40） 的顶部一端固定安装有加压泵 （41） ， 且所述加压泵 （41） 的一端与清洗液存储罐 （8） 的一端相连通， 所述固定架 （40） 的顶部 另一端活动安装有 下压气缸伸缩杆 （42） ， 且 所述下压气缸伸缩 杆 （42） 的顶部外侧固定安装 有气泵 （43） ， 所述下压气缸伸缩杆 （42） 的底端固定安装有喷洗端头 （44） ， 且所述喷洗端头 （44） 的外侧固定套接有遮罩 （45） ； 所述喷洗端头 （44） 的顶部一侧活动安装有转轴 （440） ， 且喷洗端头 （44） 的顶部一侧贯 穿开设有挤压槽 （442） ， 所述转轴 （440） 的一端转动连接有调节按钮 （441） ， 且 所述调节按钮 （441） 的外侧与挤压槽 （442） 的内侧活动插接， 所述喷洗端头 （44） 的内部一侧固定安装有导 流块 （443） ， 且所述喷洗端头 （44） 的另一侧相连通有导气管 （444） ， 所述喷洗端头 （44） 的底 部内侧对称固定安装有两个栅板 （445） ， 且两个所述栅板 （445） 的外侧表 面均匀固定安装有 多个凸块 （4 46） 。 2.根据权利要求1所述的一种基于伯努利原理技术的单晶硅片生产用喷洗式清洗机， 其特征在于： 所述工作台 （12） 的顶部外侧固定安装有设备钣金 （1） ， 且所述工作台 （12） 的底 部外侧固定安装有机框 （13） ， 所述设备钣金 （1） 的外侧活动安装有操控器 （2） ， 且所述设备 钣金 （1） 的顶部固定安装有观 察窗 （10） ， 所述叠片过滤器 （7） 、 清洗液存储 罐 （8） 的外侧均与 机框 （13） 的内侧固定安装。 3.根据权利要求2所述的一种基于伯努利原理技术的单晶硅片生产用喷洗式清洗机， 其特征在于： 所述单晶硅片输送装置 （3） 和单晶硅片下料装置 （6） 均包括底座 （30） 、 导轨 （31） 、 Y轴活动板 （34） ， 所述底座 （30） 的顶部与导轨 （31） 的一端底部固定安装， 所述导轨 （31） 的内侧开设有输送槽 （32） ， 且输送槽 （32） 的内侧活动安装有输送带 （33） ， 所述导轨 （31） 的另一端与设备钣金 （1） 的一侧固定插接， 所述Y轴活动板 （34） 的一侧活动安装有Z轴 活动板 （36） ， 且所述Z轴活动板 （36） 的一端活动安装有第一气缸伸缩杆 （35） ， 所述Z轴活动 板 （36） 的一侧活动安装有转接板 （38） ， 且 所述转接板 （38） 的顶部活动安装有第二气缸伸缩 杆 （37） 。 4.根据权利要求3所述的一种基于伯努利原理技术的单晶硅片生产用喷洗式清洗机， 其特征在于： 所述第二气缸伸缩杆 （37） 的一端固定安装有真空泵 （39） ， 且所述真空泵 （39） 的底部相连通有硅胶吸附盘 （390） 。 5.根据权利要求3所述的一种基于伯努利原理技术的单晶硅片生产用喷洗式清洗机， 其特征在于： 所述设备钣金 （1） 的一端贯穿开设有入 料孔 （11） ， 且 所述入料孔 （11） 的内侧固 定插接有 所述单晶硅片 输送装置 （3） 的导轨 （31） 的另一端， 所述设备钣 金 （1） 的一侧贯穿开 设有出料孔 （14） ， 且所述出料孔 （14） 的内侧固定插接有所述单晶硅片下料装置 （6） 的导轨 （31） 的另一端。 6.根据权利要求1所述的一种基于伯努利原理技术的单晶硅片生产用喷洗式清洗机，权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115026046 B 2其特征在于： 所述烘干机构 （5） 包括机壳 （50） 及其内侧均匀固定安装的多个加热片 （51） ， 所 述机壳 （5 0） 的顶部贯 穿开设有通 孔 （52） ， 且所述 通孔 （52） 的顶部活动安装有鼓风机 （5 3） 。 7.根据权利要求1所述的一种基于伯努利原理技术的单晶硅片生产用喷洗式清洗机， 其特征在于： 所述转动机构 （9） 包括锥形斗 （91） ， 所述锥形斗 （91） 的顶部内侧开设有环槽 （92） ， 且所述环槽 （92） 的内侧活动安装有转盘 （93） ， 所述锥形斗 （91） 的外侧底部固定安装 有支撑座 （94） 。 8.根据权利要求7所述的一种基于伯努利原理技术的单晶硅片生产用喷洗式清洗机， 其特征在于： 所述转盘 （93） 的外侧均匀开设有多个齿牙 （930） ， 且 所述转盘 （93） 的一侧啮合 连接有齿轮 （98） ， 所述齿轮 （98） 的底部轴心处 活动安装有旋转电机 （97） 。 9.根据权利要求8所述的一种基于伯努利原理技术的单晶硅片生产用喷洗式清洗机， 其特征在于： 所述旋转电机 （97） 的外侧顶部固定安装有卡板 （96） ， 且所述卡板 （96） 的顶部 固定安装有清洗仓罩 （95） ， 所述清洗仓罩 （95） 的顶部贯穿开设有插入孔 （950） ， 且 所述清洗 仓罩 （95） 的一端底部与锥形斗 （91） 的顶部固定安装。 10.根据权利要求7所述的一种基于伯努利原理技术的单晶硅片生产用喷洗 式清洗机， 其特征在于： 所述转盘 （93） 的外侧均匀贯穿开设有多个底孔 （931） ， 且每个所述底孔 （931） 的顶部均固定安装有清洗模 具 （99） ， 每个所述清洗模 具 （99） 的轴心处均贯穿开设有放置槽 （990） ， 且 所述放置槽 （990） 的内侧固定安装有滤板 （991） ， 所述锥形斗 （91） 的底端贯穿开设 有导出孔 （91 1） ， 且所述 导出孔 （91 1） 的底部与回收管 （90） 的顶端相连通。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115026046 B 3