(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210935760.6 (22)申请日 2022.08.04 (71)申请人 江苏高光半导体材 料有限公司 地址 212400 江苏省镇江市句容经济开发 区容宁创业园2#厂房 (72)发明人 蔡则凡　张蔡星　钱超　 (74)专利代理 机构 南京纵横知识产权代理有限 公司 32224 专利代理师 董成 (51)Int.Cl. B08B 3/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种晶振盒载具及载具组件 (57)摘要 本发明提出的一种晶振盒载具及载具 组件， 涉及蒸镀机晶振探头清洗治具领域。 晶振盒载具 包括装配位、 外围支撑框和连接部； 多个装配位 处于同一平 面， 其中包括一个第一装配位和至少 一圈围绕第一装配位设置的多个第二装配位； 外 围支撑框环绕于装配位的外围； 多个连接部分别 连接于第一装配位、 第二装配位、 外围支撑框之 间。 载具组件包括晶振盒载具和载具外框， 载具 外框包括框体， 框体的中部具有窗口； 框体一侧 具有安装槽， 另一侧具有凸出部； 晶振盒载具的 外围支撑框固定于安装槽内。 本发 明的晶振盒载 具及载具 组件， 一次性可装 载多个晶振盒进行清 洗， 清洗效率成倍提高； 装载的晶振盒之间互不 接触、 碰撞， 不 易损坏。 权利要求书1页 说明书7页 附图4页 CN 115254763 A 2022.11.01 CN 115254763 A 1.一种晶振盒载 具， 其特征在于， 晶振盒载 具(1)包括： 装配位(12)， 多个装配位(12)处于同一平面， 其中包括一个第一装配位(121)和至少一 圈围绕第一装配位(121)设置的多个第二装配位(12 2)； 以及 外围支撑 框(11)， 其呈环形， 环绕于装配位(12)的外围； 以及 连接部(13)， 其中包括多个第一连接部(131)、 多个第二连接部(132)和多个第三连接 部(133)， 第一连接部(131)连接于第一装配位(121)和与 之相邻的第二装配位(122)之间， 第二连接部(132)连接于两个相邻的第二装配位(122)之间， 第三连接部(133)连接于外围 支撑框(11)和与之相邻的第二装配位(12 2)之间。 2.根据权利要求1所述的晶振盒载具， 其特征在于， 任意两个相邻的所述装配位(12)之 间， 以及所述外围支撑 框(11)和与之相邻的装配位(12)之间， 配置为间距相等。 3.根据权利要求2所述的晶振盒载具， 其特征在于， 任意一圈所述的第二装配位(122) 与其之间的第二连接 部(132)共同构成正多边形。 4.根据权利要求1所述的晶振盒载具， 其特征在于， 所述装配位(12)均设置有安装台 (120)， 安装台(120)凸出于所述连接 部(13)一侧表面。 5.根据权利要求4所述的晶振盒载具， 其特征在于， 所述安装台(120)顶部距离所述连 接部(13)表面的高度为h， h≥2m m。 6.根据权利要求4所述的晶振盒载具， 其特征在于， 所述外围支撑框(11)上具有结合面 (110)， 结合 面(110)位于所述 安装台(120)的同一侧； 结合面(110)高于所述连接 部(13)的表面， 且不高于所述 安装台(120)的顶面。 7.根据权利要求6所述的晶振盒载具， 其特征在于， 所述结合面(110)向所述外围支撑 框(11)的内侧延伸至所述第三连接 部(133)的中部 。 8.根据权利要求1所述的晶振盒载具， 其特征在于， 所述晶振盒载具(1)的最大厚度不 超过7mm。 9.一种晶振盒载 具组件， 其特 征在于， 包括： 权利要求1至8任一中所述的 晶振盒载 具(1)； 以及 载具外框(2)， 其包括框体(20)， 框体(20)的中部具有窗口(21)， 框体(20)一侧 具有沿 窗口(21)边缘环绕的安装槽(201)， 安装槽(201)与晶振盒载具(1)的外围支撑框(11)相适 配， 框体(20)的另一侧具有沿窗口(21)边 缘环绕的凸出部(20 3)； 以及 外围支撑 框(11)固定于安装槽(201)内。 10.根据权利要求1所述的晶振盒载具组件， 其特征在于， 装载晶振盒(5)的状态下， 晶 振盒(5)的远离所述晶振盒载具(1)的第一侧面(51)不超 出所述凸出部(203)顶部的凸出面 (2031)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115254763 A 2一种晶振 盒载具及载具组件 技术领域 [0001]本发明涉及蒸镀机晶振探头清洗治具领域， 尤其涉及一种晶振盒载具及载具组 件。 背景技术 [0002]蒸镀工艺是OLED产品最主要的加工工艺之一， 其是将有机 发光材料在真空环境下 高温蒸发并附着在基板上以形成功能膜层， 该过程通常在蒸镀机中进 行。 在蒸镀机中， 一般 设置有一组或多组晶振探 头， 用于实时监控蒸镀 速率， 从而保证膜层厚度在误差范围内。 [0003]在蒸镀过程中， 有机材料附着在基板上的同时也会附着在晶振探头上， 一般主要 是附着在晶振探头上的晶振盒表面以及晶振盒 内的晶振片表面， 附着在晶振探头上的有机 材料膜层需要定期清除， 以避免影响晶振探头监测的准确性。 因此， 需要定期对晶振探头进 行清洗。 [0004]在清洗过程中， 通常是将晶振盒乃至 晶振盒内的晶振片拆卸下来， 浸泡在有腐蚀 性的溶剂内进行清洗。 传统的清洗工艺中， 一般是对晶振片或晶振盒逐一清洗， 效率低、 成 本高。 并且， 清洗过程若处理不好， 常常会造成晶振片或晶振盒清洗不干净或者损坏， 影响 后续的使用。 为 解决上述问题， 亟需寻 求一种新的解决方案 。 发明内容 [0005]为了解决上述现有技术中的问题之一， 本发明提供了一种晶振盒载具， 该晶振盒 载具包括： [0006]装配位， 多个装配位处于同一平面， 其中包括一个第一装配位和至少一圈围绕第 一装配位设置的多个第二装配位； 以及 [0007]外围支撑 框， 其呈环形， 环绕于装配位的外围； 以及 [0008]连接部， 其中包括多个第一连接部、 多个第二连接部和多个第三连接部， 第一连接 部连接于第一装配位和与之相 邻的第二装配位之间， 第二连接部连接于两个相邻的第二装 配位之间， 第三连接 部连接于外围支撑 框和与之相邻的第二装配位之间。 [0009]更近一步地， 任意两个相邻的所述装配位之间， 以及所述外围支撑框和与之相邻 的装配位之间， 配置为间距相等。 [0010]更近一步地， 任意一圈所述的第二装配位与其之间的第二连接部共同构成正多边 形。 [0011]更近一步地， 所述装配位均设置有安装台， 安装台凸出于所述连接 部一侧表面。 [0012]更近一步地， 所述安装台顶部距离所述连接 部表面的高度为h， h≥2m m。 [0013]更近一步地， 所述外围支撑 框上具有结合 面， 结合面位于所述 安装台的同一侧； [0014]结合面高于所述连接 部的表面， 且不高于所述 安装台的顶面。 [0015]更近一步地， 所述结合面向所述外围支撑框的内侧延伸至所述第三连接部的中 部。说　明　书 1/7 页 3 CN 115254763 A 3