(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210930240.6 (22)申请日 2022.08.03 (71)申请人 东莞市凯迪微智能装备有限公司 地址 523000 广东省东莞 市大朗镇洋乌村 景富东路38号A1栋 3楼302 (72)发明人 江永　 (74)专利代理 机构 北京科家知识产权代理事务 所(普通合伙) 11427 专利代理师 杜娇 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) H01L 21/683(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 在线式晶圆清洗 机 (57)摘要 本发明公开了在 线式晶圆清洗机， 包括一结 构主体， 所述结构主体包括机架、 设置于所述机 架上端面的机罩， 所述机罩侧壁设置有触控屏， 所述机架上端面且位于所述机罩内部设置有提 篮上料机构、 夹爪机构、 校正机构、 上料机械手机 构、 下料机械手机构以及清洗腔体机构； 所述机 罩上端面还设置有若干个与机罩内部相通的FFU 空气过滤装置， 若干个所述FFU空气过滤装置等 间距的排列于所述机罩上端面； 所述机架底部四 周连接有多个自由调节的升降脚 杯， 所述机罩顶 部电性连接有与所述触控屏电性连接的三色灯； 本发明实现一体化全自动清洗， 提高了工作效 率， 降低了人工投入。 权利要求书1页 说明书4页 附图6页 CN 115116907 A 2022.09.27 CN 115116907 A 1.在线式晶圆清洗机， 其特征在于： 包括一结构主体， 所述结构主体包括机架、 设置于 所述机架上端面的机罩， 所述机罩侧 壁设置有触控屏， 所述机架上端面且位于所述机罩内 部设置有提篮上料机构、 夹爪机构、 校正机构、 上料机械手机构、 下料机械手机构以及清洗 腔体机构； 所述提篮上料机构包括与所述机架相连接的第一安装座， 所述第一安装座上设置有Z 轴升降模组以及驱动所述Z轴升降模组进 行升降的第一伺服电机， 所述Z轴升降模组上设置 有晶圆上 料装置以及用于对所述晶圆上 料装置进行固定的定位装置； 所述夹爪机构包括与 所述机架相连接的第 二安装座， 所述第 二安装座上端面设置有夹 持机构移动模组以及驱动所述夹持机构移动模组运行的第二伺服电机， 所述夹持机构移动 模组上活动设置有用于 夹持晶圆的夹持机构； 所述校正机构包括设置于与 所述机架相连接的第 三安装座， 所述第 三安装座上端面设 置有第三伺服电机， 所述第三伺服电机的输出轴通过联轴器连接有丝杆， 所述丝杆上螺纹 连接有丝杆螺母座， 所述丝杆螺母座上固定连接有用于对晶圆进行 校正的校正组件； 所述上料机械手机构包括上料伺 服电机， 所述上料伺 服电机的输出轴连接有第 一水平 移动模组， 所述第一水平移动模组上活动设置有上料组件， 所述上料组件包括上料升降气 缸， 所述升降气缸的输出轴连接有上 料真空吸盘； 所述下料机械手机构包括下料伺 服电机， 所述下料伺 服电机的输出轴连接有第 二水平 移动模组， 所述第二水平移动模组上活动设置有下料组件， 所述下料组件包括下料升降气 缸， 所述升降气缸的输出轴连接有下 料真空吸盘； 所述清洗腔体机构包括主轴升降气缸， 所述主轴升降气缸的输出轴连接有清洗组件， 所述清洗组件清洗腔， 所述清洗腔 内设置有离心清洗盘， 所述离心清洗盘的底面设置有带 动所述离心 清洗盘进行转动旋转主轴电机 。 2.根据权利要求1所述的在线式晶圆清洗机， 其特征在于： 所述提篮上料机构、 夹爪机 构、 校正机构、 上料机械手机构、 下料机械手机构以及清洗腔体机构均与所述触控屏电性连 接。 3.根据权利要求1所述的在线式晶圆清洗机， 其特征在于： 所述机罩上端面还设置有若 干个与机罩内部相通的FFU空气过滤装置， 若干个所述FFU空气过滤装置等间距的排列于所 述机罩上端面。 4.根据权利要求1所述的在线式晶圆清洗机， 其特征在于： 所述机架底部四周连接有多 个自由调节的升降脚杯， 所述机罩顶部电性连接有与所述触控屏电性连接的三色灯。 5.根据权利要求1所述的在线式晶圆清洗机， 其特征在于： 所述主轴升降气缸用于带动 所述清洗组件进行升降， 所述旋转主轴电机通过联轴器连接有转轴， 所述转轴远离旋转主 轴电机一端与所述离心清洗盘固定连接， 所述清洗腔一侧设置有与所述清洗腔相通的排风 口。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115116907 A 2在线式晶圆清洗机 技术领域 [0001]本发明涉及清洗 机技术领域， 具体为在线式晶圆清洗 机。 背景技术 [0002]清洗机是利用高压纯水和空气混合后形成雾化状态的二流体对工件表面微尘进 行清洗的设备， 依据流体力学原理， 其清洗能力主要由两部分作用力组成,雾化的水和洁净 空气生产的高压二体流产生垂直方向压力,高速离心转盘产生水平方向的剪切力， 能有效 去除模组上残留的异物， 但传统技术中的离心清洗机需要人工上下料， 整体工作效率低， 无 法满足工作使用需求。 发明内容 [0003]为了克服现有技术方案 的不足， 本发明提供在线式晶圆清洗机， 能有效的解决背 景技术提出的问题。 [0004]本发明解决其 技术问题所采用的技 术方案是： 在线式晶圆清洗机， 包括一结构主体， 所述结构主体包括机架、 设置于所述机架上 端面的机罩， 所述机罩侧 壁设置有触控屏， 所述机架上端面且位于所述机罩内部设置有提 篮上料机构、 夹爪机构、 校正机构、 上 料机械手机构、 下 料机械手机构以及清洗腔体机构； 所述提篮上料机构包括与所述机架相连接的第一安装座， 所述第一安装座上设置 有Z轴升降模组以及驱动所述Z轴升降模组进行升降的第一伺服电机， 所述Z轴升降模组上 设置有晶圆上 料装置以及用于对所述晶圆上 料装置进行固定的定位装置； 所述夹爪机构包括与所述机架相连接的第二安装座， 所述第二安装座上端面设置 有夹持机构移动模组以及驱动所述夹持机构移动模组运行的第二伺服电机， 所述夹持机构 移动模组上活动设置有用于 夹持晶圆的夹持机构； 所述校正机构包括设置于与所述机架相连接的第三安装座， 所述第三安装座上端 面设置有第三伺服电机， 所述第三伺服电机的输出轴通过联轴器连接有丝杆， 所述丝杆上 螺纹连接有丝杆螺母座， 所述丝杆螺母座上固定连接有用于对晶圆进行 校正的校正组件； 所述上料机械手机构包括上料伺服电机， 所述上料伺服电机的输出轴连接有第一 水平移动模组， 所述第一水平移动模组上活动设置有上料组件， 所述上料组件包括上料升 降气缸， 所述升降气缸的输出轴连接有上 料真空吸盘； 所述下料机械手机构包括下料伺服电机， 所述下料伺服电机的输出轴连接有第二 水平移动模组， 所述第二水平移动模组上活动设置有下料组件， 所述下料组件包括下料升 降气缸， 所述升降气缸的输出轴连接有下 料真空吸盘； 所述清洗腔体机构包括主轴升降气缸， 所述主轴升降气缸的输出轴连接有清洗组 件， 所述清洗组件清洗腔， 所述清洗腔内设置有离心清洗盘， 所述离心清洗盘的底面设置有 带动所述离心 清洗盘进行转动旋转主轴电机 。 [0005]作为进一步阐述， 所述提篮上料机构、 夹爪机构、 校正机构、 上料机械手机构、 下料说　明　书 1/4 页 3 CN 115116907 A 3