(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210906452.0 (22)申请日 2022.07.29 (71)申请人 常州捷佳创精密机 械有限公司 地址 213000 江苏省常州市新北区机电工 业园宝塔山路9号 (72)发明人 许峯嘉　蔡嘉雄　徐柏翔　 (74)专利代理 机构 常州市韬略专利代理事务所 (普通合伙) 32565 专利代理师 何聪 (51)Int.Cl. B08B 13/00(2006.01) B08B 3/02(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆清洗设备及供 液方法 (57)摘要 本发明涉及半导体领域， 尤其涉及一种晶圆 清洗设备及供液方法， 其中的一种晶圆清洗设 备， 包括供液系统、 若干依次层叠的罩盖、 与所述 供液系统连通的喷淋系统、 适于放置晶圆的旋转 系统、 设置于所述罩盖下方的收集系统和升降驱 动系统； 所述喷淋系统适于向晶圆表 面喷洒清洗 液； 所述收集系统适于收集晶圆清洗过程中产生 的气体和液体； 所述升降驱动系统位于所述收集 系统下方， 适于顶起或放下所述罩盖， 通过升降 驱动系统依次顶起或放下罩盖， 进而多重药剂能 够从各罩盖之间对晶圆进行清洗， 避免各药剂交 叉污染。 权利要求书2页 说明书8页 附图7页 CN 114951193 A 2022.08.30 CN 114951193 A 1.一种晶圆清洗设备， 其特征在于， 包括供液系统、 若干依次层叠的罩盖、 与所述供液 系统连通的喷淋系统、 适于放置晶圆的旋转系统、 设置于所述罩盖下方的收集系统和升降 驱动系统； 所述喷淋系统适于向晶圆表面喷洒清洗液； 所述收集系统适于收集晶圆清洗过程中产生的气体和液体； 所述升降驱动系统位于所述收集系统下 方， 适于顶起或放下 所述罩盖。 2.如权利要求1所述的一种晶圆清洗设备， 其特 征在于， 所述升降驱动系统包括驱动组件和若干 升降组件； 一个罩盖 至少对应两个升降组件，  且所述升降组件的顶部与对应的所述 罩盖相抵； 所述驱动组件 包括一驱动部和若干转动盘， 所述驱动部适于驱动各 所述转动盘转动； 所述转动盘与所述 罩盖一一对应； 每个所述转动盘上安装有至少一个凸起， 且所述升降组件的底部与 所述转动盘或凸起 相抵； 其中 所述驱动部驱动所述转动盘转动 时， 所述凸起顶推所述升降组件抬起， 以顶起对应的 所述罩盖。 3.如权利要求2所述的一种晶圆清洗设备， 其特 征在于， 相邻两转动盘上凸起交错设置； 所述驱动组件包括驱动装置和齿轮组； 所述驱动装置通过所述齿轮组与至少一个所述 转动盘传动连接 。 4.如权利要求1所述的一种晶圆清洗设备， 其特 征在于， 所述供液系统包括若干供液组件， 供液组件对应清洗位， 每个供液组件包括一供液部， 所述供液部适于将清洗液供应至所述清洗位； 其特征在于， 每个供液组件还包括： 至少两个 配液部， 所述配液部适于内部混合清洗液， 以及 各所述配液部与所述供 液部之间通过多通阀连接； 其中 所述多通阀适于切换 各所述配液部交替与所述供 液部连通。 5.如权利要求 4所述的一种晶圆清洗设备， 其特 征在于， 所述配液部包括 适于混合清洗液槽体和适于过 滤清洗液的过 滤器； 所述槽体连接有 若干进液 管， 且通过 各进液管通入不同溶 液； 所述过滤器的进口与 所述槽体的出口连通， 且所述过滤器与 所述槽体之间的管路上设 置有泵体； 所述供液部与所述多通阀的出口连通； 以及 所述过滤器的顶部通过回流管与所述槽体连通， 所述回流管 上设有排气阀； 其中 经由所述过 滤器过滤的清洗液通过 所述供液部向所述清洗位供 液。 6.如权利要求5所述的一种晶圆清洗设备， 其特 征在于， 所述过滤器与所述供 液部之间的管路还连接有内循环管和排废管； 以及 所述内循环管与所述槽体连通； 其中 当所述内循环管与 所述过滤器连通 时， 从所述过滤器排出的清洗液能够回流至所述槽 体内混合； 当所述槽体内部清洗液浓度低于阈值后， 清洗液通过 所述排废管排出。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114951193 A 27.如权利要求6所述的一种晶圆清洗设备， 其特 征在于， 所述配液部还 包括位于所述槽体内加热装置和冷却装置； 通过所述加热装置与所述冷却装置配合平衡所述槽体内清洗液温度。 8.如权利要求7 所述的一种晶圆清洗设备， 其特 征在于， 所述供液部包括与所述多通阀的出口连通的若干供 液管， 每个所述供 液管上分别连接有流 量调节阀和流 量计。 9.如权利要求8所述的一种晶圆清洗设备， 其特 征在于， 所述槽体的一侧还设置有液位显示器。 10.一种供 液方法， 其特 征在于包括如权利要求1 ‑6任一项所述的一种晶圆清洗设备， S2， 各溶液通过各进液管通入一所述配液部中的槽体内混合形成清洗液； S4， 通过加热装置和冷却装置配合使得 所述槽体内的清洗液温度保持平衡； S6， 通过泵体将所述槽体内的清洗液吸出 所述槽体后， 通过 过滤器对所述清洗液 过滤； S8， 在所述槽体对清洗位提供所述清洗液时， 所述清洗液穿过所述多通阀进入所述供 液部； 在混液时， 经 过所述过滤器后的清洗液能够通过内循环管回流到所述槽体内； S10， 当所述槽体内的清洗液浓度无法满足清洗需要后， 控制所述多通阀与另一配液部 对应的管路连通， 而前一所述配液部中的槽体内的清洗液通过排废管排出。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114951193 A 3