(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210900170.X (22)申请日 2022.07.28 (71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司 地址 201203 上海市浦东 新区康桥 东路298 号1幢1060室 (72)发明人 杭明光　 (74)专利代理 机构 上海浦一知识产权代理有限 公司 3121 1 专利代理师 刘昌荣 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) H01L 21/687(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 晶圆清洗装置及其清洗方法 (57)摘要 本发明提供一种晶圆清洗装置及其清洗方 法， 提供清洗槽， 清洗液在进水口至出水孔形成 第一流向； 提供夹持机构， 夹持机构具有多个夹 持部， 多个夹持部用于固定晶圆； 提供涡流机构， 涡流机构设置于清洗槽内， 用于带动清洗液流动 形成第二流向； 提供喷气机构， 其分别设于每个 晶圆的两侧， 用于分别向每个晶圆的正、 反面鼓 出气泡， 使得清洗液分别形成第三、 四流向； 其 中， 在对晶圆清洗时， 晶圆由夹持的机构固定， 清 洗液持续通过进水口流入， 由出水流出， 涡流机 构、 喷气机构均启动。 本发明通过在清洗槽内增 加充气装置鼓出气体加强污染物去除能力， 以及 槽底增加涡轮以加速水流速度去除污染物并快 速沉降， 避免污染物回粘导 致二次污染。 权利要求书2页 说明书4页 附图2页 CN 115312426 A 2022.11.08 CN 115312426 A 1.一种晶圆的清洗装置， 其特 征在于， 至少包括： 清洗槽， 所述清洗槽的一端设有进水口， 所述清洗槽上另一端设有设有出水口， 清洗液 在所述进水口至所述出 水孔形成第一 流向； 夹持机构， 所述夹持机构具有 多个夹持部， 多个所述夹持部用于固定所述晶圆； 涡流机构， 所述涡流机构设置于所述清洗槽内， 用于带动所述清洗液流动形成第二流 向； 喷气机构， 其分别设于每个所述晶圆的两侧， 用于分别向每个所述晶圆的正、 反面鼓出 气泡， 使得 所述清洗液分别形成第三、 四流向； 其中， 在对所述晶圆清洗时， 所述晶圆由所述夹持的机构固定， 所述清洗液持续通过所 述进水口流入， 由所述出 水流出， 所述涡流机构、 喷气机构均启动。 2.根据权利要求1所述的晶圆的清洗装置， 其特征在于： 所述涡流机构包括扇叶和驱动 电机。 3.根据权利要求2所述的晶圆的清洗装置， 其特征在于： 所述涡流机构设置在所述清洗 槽的底端内表面， 且所述涡流机构位于所述晶圆的下 方。 4.根据权利要求1所述的晶圆的清洗装置， 其特征在于： 所述晶圆与 所述清洗槽的底面 相垂直设置 。 5.根据权利要求1所述的晶圆的清洗装置， 其特征在于： 所述晶圆的正面、 反面分别与 所述喷气机构的气流方向相垂直设置 。 6.根据权利要求1所述的晶圆的清洗装置， 其特征在于： 所述晶圆的正面、 反面分别与 所述喷气机构的气流方向相倾 斜设置。 7.根据权利要求1所述的晶圆的清洗装置， 其特征在于： 所述喷气机构喷出的气体为氮 气。 8.根据权利要求1所述的晶圆的清洗装置， 其特征在于： 所述喷气机构包括第一气泵、 第一连接管、 第一控制阀和第一安装板， 所述第一气泵的输出端与所述第一连接管 的一端 相连通， 所述第一安装板的大小与所述晶圆的大小相适配， 所述第一安装板固定连接在所 述清洗槽的一侧外表面， 所述第一安装板与所述清洗槽间形成有第一气腔， 所述第一连接 管的另一端与所述第一气腔相连通， 所述清洗槽上设有多个与所述第一气腔连通的第一通 气孔， 且所述第一连接管上设置有 所述第一控制阀； 所述喷气 机构还包括第二气泵、 第二连 接管、 第二控制阀和 第二安装板， 所述第二气泵的输出端与所述第二连接管的一端相连通， 所述第二安装板的大小与所述晶圆的大小相适配， 所述第二安装板固定连接在所述清洗槽 的另一侧外表面， 所述安装板与所述清洗槽间形成有第二气腔， 所述清洗槽上设有多个与 所述第二气腔连通的第二通气孔， 所述第二连接管 的另一端与所述第二气腔相连通， 且所 述第二连接管 上设置有所述第二控制阀。 9.根据权利要求1所述的晶圆的清洗装置， 其特征在于： 所述喷气机构包括第一气泵、 第一连接管、 第一控制阀和第一安装板， 所述第一气泵的输出端与所述第一连接管 的一端 相连通， 所述第一安装板的大小与所述晶圆的大小相适配， 所述第一安装板固定连接在所 述清洗槽的一侧内表面， 所述第一安装板内形成有第一气腔， 所述第一连接管 的另一端与 所述第一气腔相连通， 所述第一安装板上设有多个与所述清洗槽内连通的第一通气孔， 且 所述第一连接管上设置有 所述第一控制阀； 所述喷气机构还包括第二气泵、 第二连接管、 第权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115312426 A 2二控制阀和第二安装板， 所述第二气泵的输出端与所述第二连接管 的一端相连通， 所述第 二安装板的大小与所述晶圆的大小相适配， 所述第二安装板固定连接在所述清洗槽的另一 侧内表面， 所述安装板内形成有第二气腔， 所述安装板上设有多个与所述清洗槽内连通的 第二通气孔， 所述第二连接管 的另一端与所述第二气腔相连通， 且所述第二连接管上设置 有所述第二控制阀。 10.根据权利要求1至9任意一项所述晶圆清洗装置的清洗方法， 其特征在于： 所述晶圆 清洗装置用于所述清洗方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115312426 A 3