(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210877036.2 (22)申请日 2022.07.25 (71)申请人 深圳市光和精密自动化有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区福海街 道新田社区新田大道355号新田工业 区28-1号发电机房101 (72)发明人 刘立聪　张馨　 (74)专利代理 机构 北京轻创知识产权代理有限 公司 11212 专利代理师 何佩英 (51)Int.Cl. B08B 7/00(2006.01) B08B 7/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) B08B 17/02(2006.01)B08B 11/00(2006.01) H01L 21/66(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 利用干冰雪的芯片检测 和清洗设备 (57)摘要 本发明提供了一种利用干冰雪的芯片检测 和清洗设备， 包括下机架， 下机架上罩有上机架， 所述上机架设有人机交互界面、 向上机架内部充 气的空气净化装置； 所述下机架的对立两侧设有 上料机构、 下料机构； 下机架上面设有位于上机 架内的龙门架以及输送机构， 所述龙门架上从上 料机构至 下料机构方向依次安装有摄像头、 初检 系统、 干冰雪清除系统、 复检系统， 所述输送机构 两端与上料机构、 下料机构衔接并用于输送芯片 载板， 所述摄像头、 初检系统、 干冰雪清除系统、 复检系统位于所述输送机构的上方。 本发明与行 业内现有的表 面颗粒清除方案相比， 本发明效率 高， 能够彻底清除芯片表面的颗粒， 且故障率和 产品损伤率低。 权利要求书2页 说明书7页 附图5页 CN 115463902 A 2022.12.13 CN 115463902 A 1.一种利用干冰雪的芯片检测和清洗设备， 其特征在于： 包括下机架(1)， 下机架(1)上 罩有上机架(2)， 所述上机架(2)设有人机交互界面(6)、 向上机架(2)内部充气的空气净化 装置(5)； 所述下机架(1)的对立两侧设有上料机构(3)、 下料机构(4)； 下机架(1)上面设有 位于上机架内的龙门架(7)以及输送机构(8)， 所述龙门架(7)上从上料机构(3)至下料机构 (4)方向依次安装有摄像头(9)、 初检系统(10)、 干冰雪清除系统(11)、 复检系统(12)， 所述 输送机构(8)两端与上料机构(3)、 下料机构(4)衔接并用于输送芯片载板(20)， 所述摄像头 (9)、 初检系统(10)、 干冰雪清除系统(1 1)、 复检系统(12)位于所述输送机构(8)的上 方。 2.根据权利要求1所述的利用干冰雪的芯片检测和清洗设备， 其特征在于： 所述干冰雪 清除系统(11)包括安装在龙门架(7)上的安装架(112)、 垂直向下设置并安装在安装架 (112)上的喷 嘴(111)， 喷嘴(111)入口处设有压缩空气进口(1 13)和二氧化 碳进口(1 14)。 3.根据权利要求2所述的利用干冰雪的芯片检测和清洗设备， 其特征在于： 所述喷嘴 (111)周围还设有吸尘罩(1 15)， 吸尘罩(1 15)上设有吸尘出口(1 16)。 4.根据权利要求2所述的利用干冰雪的芯片检测和清洗设备， 其特征在于： 还包括用于 控制压缩空气 压力和二氧化碳压力的控制柜(117)， 控制柜(117)的出口端分别连接压缩空 气进口(1 13)和二氧化 碳进口(1 14)。 5.根据权利要求1所述的利用干冰雪的芯片检测和清洗设备， 其特征在于： 所述输送机 构(8)包括固定于下机架(1)上并朝向上料机构(3)、 下料机构(4)的第一导轨(801)， 第一导 轨(801)上滑动连接有第一滑块(802)， 第一滑块(802)上设有垂直于第一导轨(801)且水平 布置的第二导轨(803)， 第二导轨(803)上滑动 连接有第二滑块(804)， 第一滑块(802)连接 有驱动自身沿第一导轨(801)运动的第一驱动机构(805)， 第二滑块(804)连接有驱动自身 沿第二导轨(803)运动的第二驱动机构(806)， 第二滑块(804)上设有用于夹持芯片载板 (20)的夹持组件(807)。 6.根据权利要求5所述的利用干冰雪的芯片检测和清洗设备， 其特征在于： 所述第 一驱 动机构(80 5)、 第二驱动机构(80 6)为直线电机 。 7.根据权利要求5所述的利用干冰雪的芯片检测和清洗设备， 其特征在于： 所述夹持组 件(807)包括多个支撑轴(808)和两个罩子(811)， 支撑轴(808)可绕自身轴线转动且轴线垂 直于第一导轨(801)布置， 所述第二滑块(804)与第一导轨(801)平行的两侧壁上均 设有多 个沿第一导轨(801)延伸方向排布成一排的支撑轴(808)， 所述第二滑块(804)与所述第一 导轨(801)平行的两侧壁上分别设有罩子(811)， 两个罩子(811)之间的第二滑块(804)上表 面用于承 载芯片载板(20)， 两个罩子(811)顶板的内侧面与 支撑轴(808)之间形成用于夹持 芯片载板(20)的缝隙。 8.根据权利要求7所述的利用干冰雪的芯片检测和清洗设备， 其特征在于： 所述夹持组 件(807)还包括 驱动轴(809)、 驱动电机(810)， 驱动轴(809)和驱动电机(810)均安装在第二 滑块(804)上， 驱动轴(809)与支撑轴(808)垂直， 驱动轴(809)与驱动电机(810)通过皮带连 接， 驱动轴(809)与每 个支撑轴(808)联动。 9.根据权利要求8所述的利用干冰雪的芯片检测和清洗设备， 其特征在于： 每个支撑轴 (808)上都设有与驱动轴(809)正对部位彼此相互拟合的磁力轮(812)， 驱动轮与每个支撑 轴(808)通过磁力轮(812)联动。 10.根据权利要求7所述的利用干冰雪的芯片检测和清洗设备， 其特征在于： 所述第二权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115463902 A 2滑块(804)上还设有抽气管(813)， 抽气管(813)从罩子(811)下方连通罩子(811)内部空间， 抽气管(813)另一端连通上机架(2)外 部。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115463902 A 3