(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210857974.6 (22)申请日 2022.07.21 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 115069684 A (43)申请公布日 2022.09.20 (73)专利权人 山东睿芯半导体科技有限公司 地址 276826 山 东省日照市经济开发区上 海路388号1栋101 (72)发明人 王汉波　郭军　 (74)专利代理 机构 重庆壹手知专利代理事务所 (普通合伙) 50267 专利代理师 刘军 (51)Int.Cl. B08B 7/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01)H01L 21/02(2006.01) (56)对比文件 CN 110176416 A,2019.08.27 JP 201916 0948 A,2019.09.19 CN 1214795 A,19 99.04.21 CN 110523672 A,2019.12.0 3 GB 0514837 D0,20 05.08.24 KR 20130040008 A,2013.04.23 审查员 刘芳 (54)发明名称 芯片自动除尘 设备 (57)摘要 本发明涉及芯片加工相关领域， 具体是涉及 芯片自动除尘设备， 包括连接有两组驱动机构的 长条固定架、 两组导向组件、 若干组送料件、 四组 包括两个条形磁铁的磁吸机构、 两组包括两个水 平齿条的翻转机构和除尘机构， 每组导向组件均 包括设有第一下沉导向段的第一导向件和设有 第二下沉导向段的第二导向件； 每组送料件均包 括外框、 载具、 第一滑 轮和第二滑轮； 载具两端均 固连有齿轮； 除尘机构顶部设有除尘软胶。 本发 明中设有带有下沉槽的水平滑槽， 又设有上挡 板、 下挡板和两个下沉部， 从而确保外框仅在指 定位置顺畅的下降和抬升； 本发 明中设有若干组 送料件， 能够保证若干个芯片持续除尘并下料， 效率较高， 且除尘软胶在除尘的同时不会伤害芯 片。 权利要求书3页 说明书7页 附图14页 CN 115069684 B 2022.10.28 CN 115069684 B 1.芯片自动除尘设备， 其特 征在于， 包括： 呈水平状态的长条固定架 （1） ； 两组呈对称状态相向设置于长条固定架 （1） 长度方向两侧的导向组件 （2） ， 每组所述导 向组件 （2） 均包括平行于 长条固定架 （1） 的第一 导向件和第二 导向件； 若干组沿长条固定架 （1） 长度方向间隔设置的送料件， 每组送料件均包括与两组第一 导向件滑动连接的外框和轴接设置于外框内的载具 （3） ， 外框两端中部均轴接有与对应第 一导向件滑动连接的第一滑轮 （4） ， 外框两端的两侧均轴接有两个与对应第二导向件滑动 连接的第二滑轮 （5） ， 第一导向件和 每个第二导向件上分别设有用于迫使外框下沉并上升 的第一下沉 导向段和第二下沉 导向段， 芯片 （8） 设置 于载具 （3） 上； 四组两两对称的磁吸机构， 每组磁吸机构均包括两个相向侧磁性相反且分别设置于载 具 （3） 和外 框上的条 形磁铁 （25） ； 两组位于第一下沉导向段两侧的翻转机构 （9） ， 每组所述翻转机构 （9） 均包括两个对称 设置的水平齿条 （38） ， 所述载 具 （3） 两端中部均固连有用于配合水平齿条 （38） 的齿轮 （1 1） ； 除尘机构 （12） ， 设置于第一下沉导向段的正下方， 除尘机构 （12） 顶部设有除尘软胶 （13） ； 其中， 长条固定架 （1） 上还弹性连接有两组呈对称状态的驱动机构 （14） 且外框对应端 与驱动机构 （14） 相连； 所述外框包括两个呈对称状态的侧板 （15） ， 每个侧板 （15） 中部均 固连有第一横轴 （6） 且第一横轴 （6） 固定插设于对应第一滑轮 （4） 内圈中， 第一横轴 （6） 远离对应侧 板 （15） 的一 端与对应驱动机构 （14） 相连， 每个侧板 （15） 两端均固连有第二横轴 （7） 且第二横轴 （7） 固定 插设于对应第二滑轮 （5） 内圈中， 第一滑轮 （4） 的外径与内径均小于第二滑轮 （5） 的外径与 内径， 所述第一横轴 （6） 外还套设有与侧板 （15） 固定连接的加固轴套 （16） ， 载具 （3） 两端中 部均固连有旋转横轴 （10） ， 每个侧板 （15） 对应侧中部均通过平面轴座 （17） 与旋转横轴 （10） 轴接， 旋转横轴 （10） 的另一端与对应齿轮 （11） 固连， 四组磁吸机构两两对称设置于两个侧 板 （15） 靠 近载具 （3） 的一端； 所述第一导向件为沿长条固定架 （1） 长度方向固定设置于长条固定架 （1） 对应侧的长 条竖板 （18） ， 长条竖板 （18） 上开设有用于供第一滑轮 （4） 沿长条固定架 （1） 长度方向滑动的 水平滑槽 （19） ， 水平滑槽 （19） 中段成型有向下弯折呈V字型结构的下沉槽 （20） ， 即所述第一 下沉导向段， 第一横轴 （6） 穿过水平滑槽 （19） 与对应驱动机构 （14） 相连， 所述第二导向件为 平行于长条竖板 （18） 长度方向且对称设置于长条竖板 （18） 上的上挡板 （21） 和下挡板 （22） 上挡板 （21） 和下挡板 （22） 分处水平滑槽 （19） 的上下侧， 所述上挡板 （21） 为直线板状结构且 截面呈L型， 下挡板 （22） 的结构与上挡板 （21） 一致但下挡板 （22） 上成型有两个关于下沉槽 （20） 对称的下沉部 （23） ， 即所述第二下沉导向段， 下沉部 （23） 呈V字型结构， 下挡 板 （22） 上 对应下沉槽 （20） 处还开设有用于避让第一横轴 （6） 的避让通槽 （24） ， 每个第一滑轮 （4） 均滑 动设置于水平滑槽 （19） 中， 每 个第二滑轮 （5） 均滑动设置上挡板 （21） 与下挡板 （2 2） 之间； 每个外框两侧均连接有两个呈对称状态且用于配合对应侧驱动机构 （14） 的滑动竖板 （39） ， 每个滑动 竖板 （39） 上均连接有连接件， 连接件与对应驱动机构 （14） 配合并带动滑动 竖板 （39） 沿着 长条固定架 （1） 的长度方向运动， 所述滑动竖板 （39） 上开设有竖直滑槽 （40） ， 每根所述第一横轴 （6） 对应端均轴接有第三滑轮 （4 1） 且第三滑轮 （41） 滑动设置于竖直滑槽权　利　要　求　书 1/3 页 2 CN 115069684 B 2（40） 内。 2.根据权利要求1所述的芯片自动除尘设备， 其特征在于， 每侧两组磁吸机构呈对称状 态设置于对应侧旋转横轴 （10） 两侧， 每个侧板 （15） 靠近载具 （3） 的一端两侧均成型有紧靠 但不接触载具 （3） 的连接凸框 （26） ， 其中一个条形磁铁 （25） 通过第一固定板 （27） 固定插设 于对应连接凸框 （26） 内， 另一个条形磁铁 （25） 通过第二固定板 （28） 固定插设于载具 （3） 对 应端一侧。 3.根据权利要求1所述的芯片自动除尘设备， 其特征在于， 所述载具 （3） 的一侧中部成 型有用于对芯片 （8） 限位的凸台 （29） ， 载具 （3） 该侧还设置有两组对称分布于凸台 （29） 两侧 的限位组件且每组限位组件外均设有遮挡框 （30） ， 每组所述限位组件均包括两个对称分布 的限位机构， 每 个所述限位机构均包括： 两根间隔设置的滑动圆轴 （31） ， 载具 （3） 对应侧固连有四个一一对应于四个限位机构 的固定座 （32） ， 两根滑动圆轴 （31） 滑动设置于对应固定座 （32） 内且每根滑动圆轴 （31） 靠近 凸台 （29） 的一侧成型有 连接部 （33） ， 每根滑动圆轴 （31） 上均套设有第一弹簧 （34） 且第一弹 簧 （34） 的两端分别抵触固定座 （32） 和连接部 （33） ， 每根滑动圆轴 （31） 的另一端还固连有第 一防脱帽 （3 5） ； 平行于载具 （3） 对应侧的限位薄板 （36） ， 其靠近 凸台 （29） 的一端靠近和远离载具 （3） 的 两侧均呈成型有斜 面部 （37） ， 限位薄板 （3 6） 远离凸台 （2 9） 的一侧与两个连接 部 （33） 固连； 其中， 每个遮挡框 （3 0） 上均开设有两个用于避让对应两个限位薄板 （3 6） 的避让通 孔。 4.根据权利要求1所述的芯片自动除尘设备， 其特征在于， 所述水平齿条 （38） 底部与长 条固定架 （1） 固连。 5.根据权利要求3所述的芯片自动除尘设备， 其特征在于， 每个侧板 （15） 远离另一个侧 板 （15） 的一侧均固定设置有两个水平滑轨 （42） ， 每个水平滑轨 （42） 均平行于长条固定架 （1） 的长度方向且每个水平滑轨 （42） 上均滑动连接有若干个一一对应于若干组送料件的滑 块 （43） ， 两个水平滑轨 （42） 上下间隔设置于水平滑槽 （19） 的上下侧， 所述连接件包括竖直 连接板 （45） 和两个矩形连接板 （44） ， 两个矩形连接板 （44） 与对应两个滑块 （43） 固连， 竖直 连接板 （45） 的上下端与上下两个矩形连接板 （44） 固连， 滑动竖板 （39） 的上下端分别卡接 设 置于两个矩形连接板 （44） 上且 竖直连接板 （45） 的对应侧抵紧滑动竖板 （39） 上下端， 所述竖 直连接板 （45） 远离两个矩形连接板 （44）