(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210848790.3 (22)申请日 2022.07.19 (71)申请人 广东省国芯精密电子科技有限公司 地址 518000 广东省深圳市龙华区观澜街 道君子布社区龙兴工业园3号厂房 1011楼102 (72)发明人 杨海涛　 (74)专利代理 机构 深圳市鼎智专利代理事务所 (普通合伙) 44411 专利代理师 张小晶 (51)Int.Cl. B08B 3/12(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种激光泵源芯片底座电镀镀银新工艺及 其设备 (57)摘要 本发明公开的属于激光附属装置技术领域， 具体为一种激光泵源芯片底座电镀镀银新工艺 及其设备， 包括具体步骤如下： 步骤一： 根据加工 尺寸对激光泵源芯片底座的原材料进行锯切， 并 进行退火去应力， 得到半成 品； 步骤二： 对所得的 半产品进行CNC粗加工， 并再次进行退火去应力， 本发明通过对底座进行超声波除油 ‑清洗‑电解 除油‑清洗‑有机溶剂除油 ‑清洗‑酸洗‑清洗‑浸 蚀‑清洗‑汞化‑清洗‑电镀‑清洗‑钝化‑烘干工 艺， 具有实现在底座的表面进行镀银， 从而会解 决目前的芯片发光的光源塑造性较差， 光集中性 较差， 且芯片焊接能力较差， 以及镀金的方式成 本高的问题。 权利要求书4页 说明书10页 附图7页 CN 115106336 A 2022.09.27 CN 115106336 A 1.一种激光泵源芯片底座电镀 镀银新工艺， 其特 征在于， 包括具体步骤如下： 步骤一： 根据加工尺寸对激光泵源芯片底座的原材料进行锯切， 并进行退火去应力， 得 到半成品； 步骤二： 对所 得的半产品进行CNC粗加工， 并再次进行 退火去应力； 步骤三： 对粗加工后的半成品进行CNC精加工， 并通过磁力研磨机将半成品表面的毛刺 进行去除； 步骤四： 对半产品进行去油处 理， 并在烘干后进行喷砂； 步骤五： 对半产品进行电镀银， 电镀银流 程如下： 流程一： 将 半产品放入到固定槽(52)中， 并转动手拧螺丝(53)， 直至挤压板(54)对半产 品进行挤压固定， 从而实现对半产品进行固定； 流程二： 通过第一旋转组件(20)使半产品移至到超声波除油箱体(611)的上方， 并通过 升降组件(40)使半产品下降至超声波除油剂(615)中， 与此同时， 再通过超声波发生器 (613)和超声波 换能器(614)产生超声波， 从而实现对半产品进行超声波除油， 在除油后， 使 半产品恢复至原位； 流程三： 通过第一旋转组件(20)和升降组件(40)使半产品移动至清洗箱(71)中， 与此 同时， 再通过第二水泵(73)使外界的水依次经过第三管道(74)和第四管道(75)流入到第二 喷头(76)中， 从而将水喷 向半产品， 实现清洗， 在清洗后， 使半产品恢复至原位； 流程四： 通过第一旋转组件(20)和升降组件(40)使半产品移动 至碱性溶液(626)中， 并 使半产品与第一导电柱(625)相接触， 与此同时， 通过第一蓄电池(623)使第一铜板(624)和 第一导电柱(625)产生电， 从而实现对半产品进行电解除油， 在除油后， 使半产品恢复至原 位； 流程五： 重复流 程三， 以实现对半产品进行清洗； 流程六： 通过第一旋转组件(20)和升降组件(40)使半产品移动 至有机溶液(632)中， 以 实现对半产品进行化学除油， 在除油后， 使半产品恢复至原位； 流程七： 重复流 程三， 以实现对半产品进行清洗； 流程八： 通过第一旋转组件(20)和升降组件(40)使半产品移动 至酸洗箱(641)中， 并位 于酸洗溶液(647)的上方， 与此同时， 通过第一水泵(643)使酸洗溶液(647)依次经过第一管 道(644)和第二管道(645)流入到第一喷头(646)中， 从而使酸洗溶液(647)喷向半产品， 实 现对半产品进行酸洗， 在酸洗后， 使半产品恢复至原位； 流程九： 重复流 程三， 以实现对半产品进行清洗； 流程十： 通过第一旋转组件(20)和升降组件(40)使半产品移动 至浸蚀液(652)中， 以实 现对半产品进行浸蚀， 在浸蚀后， 使半产品恢复至原位； 流程十一： 重复流 程三， 以实现对半产品进行清洗； 流程十二： 通过第一旋转组件(20)和升降组件(40)使半产品移动至汞化溶液(662)中， 以实现对半产品进行汞化处 理， 在处理后， 使半产品恢复至原位； 流程十三： 重复流 程三， 以实现对半产品进行清洗； 流程十四： 通过第一旋转组件(20)和升降组件(40)使半产品移动至电镀溶液(676)中， 并使半产品与第二导电柱(675)相接触， 与此同时， 通过第二蓄电池(673)使第二铜板(674) 和第二导电柱(675)产生电， 从而实现对半产品进行电镀， 在电镀后， 使半产品恢复至原位；权　利　要　求　书 1/4 页 2 CN 115106336 A 2流程十五： 重复流 程三， 以实现对半产品进行清洗； 流程十六： 通过第一旋转组件(20)和升降组件(40)使半产品移动至强氧化剂(682)中， 以实现对半产品进行钝 化， 在钝化后， 使半产品恢复至原位； 流程十七： 通过第一旋转组件(20)和升降组件(40)使半产品移动至烘干箱(691)中， 与 此同时， 通过风扇(693)将外界过滤后的空气吸入到空心管(692)中， 吸入到空心管(692)中 的空气则会被U形加热管(695)进行加热， 加热后的空气则会吹向半产品， 从而实现对半产 品进行烘干； 步骤六： 对半成品进行 可靠性测试， 得到成品。 2.一种激光泵源芯片底座电镀 镀银新设备， 其特 征在于， 包括： 底板(10)， 所述底板(10)的顶部固定安装支撑杆(11)， 且支撑杆(11)共有四组， 所述支 撑杆(11)的顶部固定安装工作台(12)， 所述工作台(12)的顶部中端固定安装支撑轴(13)， 所述工作台(12)的顶部四周呈圆形排列依次安装超声波除油组件(61)、 电解除油组件 (62)、 有机溶剂除油组件(63)、 酸洗组件(64)、 浸蚀组件(65)、 汞化组件(66)、 电镀组件 (67)、 钝化组件(68)、 烘干组件(69)和清洗组件(70)； 第一旋转组件(20)， 所述第一旋转组件(20)安装在支撑轴(13)的顶部上； 第二旋转组件(3 0)， 所述第二旋转组件(3 0)安装在第一旋转组件(20)上； 升降组件(40)， 所述第一旋转组件(20)和所述第二旋转组件(30)上均安装升降组件 (40)； 固定组件(5 0)， 每组所述升降组件(40)上均安装用于对半产品固定的固定组件(5 0)。 3.根据权利要求2所述的一种激光泵源芯片底座电镀镀银新设备， 其特征在于， 所述第 一旋转组件(20)包括： 固定安装在支撑轴(13)顶部的支撑板(21)， 所述支撑板(21)上固定安装第一箱体 (22)， 且第一箱体(2 2)的内壁固定安装第一伺服电机(23)； 通过轴承转动连接在第一箱体(22)上的第一转轴(24)， 所述第一伺服电机(23)的输出 轴与直径相同的第一 转轴(24)固定连接， 且第一 转轴(24)上固定安装第一旋转板(25)； 所述第二旋转组件(3 0)包括： 固定安装在第一旋转板(25)上的第二箱体(31)， 所述第二箱体(31)的内壁 固定安装第 二伺服电机(32)； 通过轴承转动连接在第二箱体(31)上的第二转轴(33)， 所述第二伺服电机(32)的输出 轴与直径相同的第二 转轴(33)固定连接， 且第二 转轴(33)上固定安装第二旋转板(34)； 所述第一伺服电机(23)的输出轴与所述第二伺服电机(32)的输出轴为同轴。 4.根据权利要求3所述的一种激光泵源芯片底座电镀镀银新设备， 其特征在于， 所述升 降组件(40)包括： 盒体(41)， 所述第一旋转板(25)和所述第二旋转板(34)的底部均固定安装盒体(41)， 所述盒体(41)的内壁固定安装 液压缸(42)， 且 液压缸(42)的输出端通过 活塞杆安装固定组 件(50)。 5.根据权利要求4所述的一种激光泵源芯片底座电镀镀银新设备， 其特征在于， 所述固 定组件(5 0)包括： 固定块(51)， 所述液压缸(42 )的输出端通过活塞杆固定安装固定块(51)， 且固定块权　利　要　求　书 2/4 页 3 CN 115106336 A 3