(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210840948.2 (22)申请日 2022.07.18 (71)申请人 盛吉盛半导体技 术 （上海） 有限公司 地址 201304 上海市浦东 新区中国 （上海） 自由贸易试验区临港新片区丽正路 1628号4幢1-2层 (72)发明人 童洲　黄中山　 (74)专利代理 机构 上海骁象知识产权代理有限 公司 31315 专利代理师 赵俊寅 (51)Int.Cl. B08B 5/02(2006.01) B08B 5/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种薄膜沉积设备腔体清洁装置及清洁方 法 (57)摘要 本发明公开了一种薄膜沉积设备腔体清洁 装置及清洁方法， 属于产品腔体清洁技术领域， 解决了现有的产品腔体清洁存在需手动清洁和 清洁效果差的问题， 其技术要点是： 工作台的一 侧开设有配合槽， 配合槽上设置有吹风机构和抽 风机构， 配合槽的外侧设置有夹持机构， 第一支 撑柱与第二支撑柱的连接处设置有升降驱动机 构， 第二支撑柱的底部设置有万向轮， 吹风机构 便于将待清洁产品内的颗粒杂质吹起， 抽风组便 于将吹起的颗粒杂质抽取至收集组 内收集， 夹持 机构便于对待清洁产品进行夹持固定， 升降驱动 机构便于驱动工作台根据待清洁产品的高度下 降调节至合适的位置进行相应的配合连接， 保证 了抽吸操作的稳定进行， 具有无需手动清洁和清 洁效果好的优点。 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 CN 115041465 A 2022.09.13 CN 115041465 A 1.一种薄膜沉积设备腔体清洁装置， 位于待清洁产品(1)的外侧， 其特征在于， 包括工 作台(2)， 所述工作台(2)的一侧开设有便于配合连接待清洁产品(1)的配合槽(6)， 所述配 合槽(6)上设置有吹风机构和抽风机构， 所述抽风机构 机构包括抽风组和收集组， 所述配合 槽(6)的外侧设置有便于夹持固定待清洁产品(1)的夹持机构， 所述夹持机构包括夹持块 (18)、 滑杆(20)、 固定板(21)、 弹簧(22)和拉板(23)， 所述夹持块(18)通过滑杆(20)滑动连 接于固定板(21)上， 所述固定板(21)固定连接于工作台(2)上， 所述夹持块(18)与固定板 (21)的连接处设置有弹簧(22)， 所述滑杆(20)的一端固定连接有拉板(23)， 所述夹持块 (18)的内侧设置有便于防护的弹性密封垫(19)， 所述工作台(2)的底部设置有若干便于支 撑的第一支撑柱(24)和第二支撑柱(25)， 所述第一支撑柱(24)与第二支撑柱(25)的连接处 设置有升降驱动机构， 所述第二支撑柱(25)的底部设置有便 于移动的万向轮(26)。 2.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备腔体清洁装置， 其特征在于， 所述吹风组包括吹 风罩(5)、 储气罐(15)和气压泵(17)， 所述 吹风罩(5)朝向待清洁产品(1)的内部设置， 所述 吹风罩(5)通过第三管道(14)连通有储气罐(15)， 所述储气罐(15)固定安装于工作台(2) 上， 所述储气罐(15)通过第四管道(16)连通有气压泵(17)， 所述气压泵(17)固定安装于工 作台(2)上。 3.根据权利要求2所述的薄膜沉积设备腔体清洁装置， 其特征在于， 所述抽风组包括吸 风罩(4)和抽风机(8)， 所述吸风罩(4)固定安装于配合槽(6)上， 所述吸风罩(4)朝向待清洁 产品(1)的内部设置， 所述吸风罩(4)通过第一管道(7)固定连接有抽风机(8)， 所述抽风机 (8)固定安装于 工作台(2)上。 4.根据权利要求3所述的薄膜沉积设备腔体清洁装置， 其特征在于， 所述收集组包括收 集箱(10)、 第一防尘网(11)、 第二防尘网(12)和收纳 盒(13)， 所述抽风机(8)通过第二管道 (9)连通有收集箱(10)， 所述收集箱(10)固定安装于工作台(2)上， 所述第一防尘网(11)固 定安装于收集箱(10)的内部， 所述收集箱(10)的一侧开设有第二防尘网(12)， 所述收集箱 (10)的内部滑动连接有收纳盒(13)， 所述工作台(2)的外侧铰接有便 于隔音的隔音罩(3)。 5.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备腔体清洁装置， 其特征在于， 所述升降驱动机构 包括连接箱(27)、 丝杆(28)、 锥齿轮副(29)和双轴电机(30)， 所述第一支撑柱(24)固定连接 于工作台(2)上， 所述第一支撑柱(24)通过滑块滑动连接于第二支撑柱(25)上， 所述丝杆 (28)转动 连接于第二支撑柱(25)的内部， 所述第一支撑柱(24)螺纹连接于丝杆(28)上， 所 述丝杆(28)通过锥齿轮副(29)转动连接有双轴电机(30)的输出轴， 所述双轴电机(30)固定 安装于连接箱(27)的内部， 所述连接箱(27)固定安装于第二支撑柱(25)的连接处。 6.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备腔体清洁装置， 其特征在于， 所述工作台(2)的 外侧设置有 若干个扶手(31)， 所述 万向轮(26)上设置有刹车件(32)。 7.一种应用有权利要求1 ‑6任意一项所述的薄膜沉积设备腔体清洁装置的清洁方法， 其特征在于， 包括以下步骤： 步骤S1： 将工作台(2)在万向轮(26)的作用下移动至待清洁产品(1)的正上 方位置处； 步骤S2： 控制双轴电机(30)的输出轴分别通过锥齿轮副(29)带动各个丝杆(28)旋转， 使工作台(2)下降至合 适的位置处， 使配合槽(1)的区域与待清洁产品(1)相配合对接； 步骤S3： 拉动拉板(23)驱使夹持块(18)压缩弹簧(22)， 再将夹持块(18)分别对待清洁 产品(1)的外侧进行夹持固定；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115041465 A 2步骤S4： 控制气压泵(17)运作产 生压力使储气罐(15)中的气体从第三管道(14)传导至 吹风罩(5)处对待清洁产品(1)进行吹风操作； 同时控制抽风机(8)运行， 使待清洁产品(1) 内腔体吹起的颗粒杂质通过吸风 罩(4)和第一管道(7)输送至收集箱(10)内； 步骤S5： 通过收集箱(10)的第一防尘网(11)对颗粒杂质进行格挡， 使颗粒杂质落入到 收集箱(10)内的收集盒(13)内进行收集。 步骤S6： 完成收集后， 将收集盒(13)抽出， 将收集盒(13)内的颗粒杂质进行集中清理。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115041465 A 3