(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210841110.5 (22)申请日 2022.07.18 (71)申请人 东莞科卓机 器人有限公司 地址 523000 广东省东莞 市南城街道黄金 路1号天安数码城6 栋7单元201室 (72)发明人 魏余红　谭将强　 (74)专利代理 机构 深圳华奇信诺专利代理事务 所(特殊普通 合伙) 44328 专利代理师 陈子勋 (51)Int.Cl. B08B 11/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) B28D 5/00(2006.01) B28D 7/00(2006.01) F26B 5/08(2006.01) (54)发明名称 晶圆切割机清洗装置 (57)摘要 本发明涉及晶圆切割机技术领域， 特指一种 晶圆切割机清洗装置； 本发明包括清洗桶， 清洗 桶的上端顶盖， 顶盖具有开口， 清洗桶的下端安 装有支架， 清洗桶内具有物料座， 清洗桶的下端 安装有旋转电机， 旋转电机驱动物料座旋转； 晶 圆从顶盖的开口放入清洗桶内， 由旋转电机带动 晶圆旋转， 实现旋转清洗以及旋转甩干， 可以直 接安装于切割机内， 体积小， 结构简单， 制造成本 低， 而且节约了生产工序， 提高生产效率。 权利要求书1页 说明书2页 附图2页 CN 115178557 A 2022.10.14 CN 115178557 A 1.晶圆切割机清洗装置， 其特征在于： 包括清洗桶， 清洗桶的上端顶盖， 顶盖具有开口， 清洗桶的下端安装有支架， 清洗桶内具有物料座， 清洗桶的下端安装有旋转电机， 旋转电机 驱动物料座旋转。 2.根据权利要求1所述的晶圆切割机清洗装置， 其特征在于： 所述的清洗桶的下端安装 有顶升气缸， 顶升气缸的伸缩杆与物料座的底面活动接触。 3.根据权利要求1所述的晶圆切割机清洗装置， 其特征在于： 所述的物料座上端具有多 个固定位。 4.根据权利要求1所述的晶圆切割机清洗装置， 其特征在于： 所述的清洗桶的下端具有 清洗电机， 清洗桶内竖直安装有固定轴， 清洗电机驱动固定轴， 固定轴的上端连接有安装 杆， 安装杆固定有清洗 头。 5.根据权利要求5所述的 晶圆切割机清洗装置， 其特 征在于： 所述的安装杆 水平设置 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115178557 A 2晶圆切割机清洗装 置 技术领域 [0001]本发明涉及晶圆切割机技 术领域， 特指一种晶圆切割机清洗装置 。 背景技术 [0002]现有的晶圆切割机， 它具有切刀， 用于晶圆切割， 晶圆切割好之后， 需要对晶圆进 行清洗， 将切割产生的碎屑清洗掉， 现有的晶圆切割机， 只能对晶圆进行切割， 晶圆清洗需 要使用专用的清洗设备， 设备成本比较高， 而且结构复杂。 [0003]因此， 基于上述现有的晶圆切割机清洗设备的缺陷， 需要对现有的晶圆切割机清 洗设备进行改进。 发明内容 [0004]本发明的目的在于针对现有技术的不足提供一种晶圆切割机清洗装置， 该晶圆切 割机清洗装置解决了现有的 晶圆清洗设备 所存在的： 成本高、 结构复杂等 缺陷。 [0005]为实现上述目的， 本 发明是通过以下技术方案实现的： 晶圆切割机清洗装置， 包括 清洗桶， 清洗桶的上端顶盖， 顶盖具有开口， 清洗桶的下端安装有支架， 清洗桶内具有物料 座， 清洗桶的下端安装有旋转电机， 旋转电机驱动物料座旋转。 [0006]进一步的， 所述的清洗桶的下端安装有顶升气缸， 顶升气缸的伸缩杆与物料座的 底面活动接触。 [0007]进一步的， 所述的物料座上端具有 多个固定位。 [0008]进一步的， 所述的清洗桶的下端具有清洗电机， 清洗桶内竖直安装有固定轴， 清洗 电机驱动固定轴， 固定轴的上端连接有安装杆， 安装杆固定有清洗 头。 [0009]进一步的， 所述的安装杆 水平设置 。 [0010]本发明的有益效果在于： 晶圆从顶盖 的开口放入清洗桶内， 由旋转电机带动晶圆 旋转， 实现旋转清洗以及旋转甩干， 可以直接安装于切割机内， 体积小， 结构简单， 制造成本 低， 而且节约了生产工序， 提高生产效率。 附图说明 [0011]图1为本发明的结构示 意图。 [0012]图2为本发明应用的 晶圆切割机示 意图。 [0013]标号及说明： [0014]进料区1、 另一侧形成上料区2、 控制区3、 电气区4、 晶圆5、 清洗桶6、 物料座7、 旋转 电机8、 顶盖9、 支架10、 固定位11、 顶升气缸12、 清洗电机  13、 固定轴14、 安装杆15、 清洗头 16。 具体实施方式 [0015]下面结合附图对本发明作进一 步的说明。说　明　书 1/2 页 3 CN 115178557 A 3