(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210826603.1 (22)申请日 2022.07.14 (71)申请人 中国科学院合肥物质科 学研究院 地址 230031 安徽省合肥市蜀山湖路3 50号 (72)发明人 曹林　潘旭　万长茂　叶加久　 刘国震　陈风　 (74)专利代理 机构 合肥市上嘉专利代理事务所 (普通合伙) 34125 专利代理师 郭华俊 (51)Int.Cl. H01L 51/48(2006.01) H01L 51/44(2006.01) H01L 51/42(2006.01) B08B 13/00(2006.01) B08B 7/00(2006.01) (54)发明名称 一种钙钛矿电池制备中无功能层附着的背 电极自清洁方法 (57)摘要 本发明提供了一种钙钛矿电池制备中无功 能层附着的背电极自清洁方法， 包括如下步骤： (1)清洗导电基底； (2)用掩盖物覆 盖导电基底的 背电极区域； (3)对导电基底进行表面处理； (4) 在导电基底表面旋涂电子传输层； (5)再次对导 电基底进行表面处理； (6)去除导电基底上的掩 盖物； (7)在电子传输层的表面旋涂钙钛矿层； (8)在钙钛矿层 表面旋涂空穴传输层； (9)蒸镀 金 属电极。 本发 明通过在导电基底表 面处理过程中 对背电极部分进行遮挡， 使 得被覆盖的背电极区 域浸润性差， 进一步使 得后续旋涂钙钛矿层和空 穴传输层步骤中， 相应功能层不会附着在背电极 上， 从而达 到自清洁 效果。 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 CN 115224202 A 2022.10.21 CN 115224202 A 1.一种钙钛矿电池制备中无功能层附着 的背电极自清洁方法， 其特征在于， 包括如下 步骤： (1)清洗导电基底； (2)用掩盖物 覆盖导电基底的背电极区域； (3)对导电基底进行表面处 理； (4)在导电基底 表面旋涂电子传输层； (5)再次对导电基底进行表面处 理； (6)去除导电基底上的掩盖物； (7)在电子传输层的表面旋 涂钙钛矿层； (8)在钙钛矿层表面旋 涂空穴传输层； (9)蒸镀金属电极。 2.根据权利要求1所述的钙钛矿电池制备中无功能层附着的背电极自清洁方法， 其特 征在于， 所述 步骤(1)中， 导电基底为 ITO导电基底。 3.根据权利要求1所述的钙钛矿电池制备中无功能层附着的背电极自清洁方法， 其特 征在于， 所述 步骤(2)中， 掩盖物为胶带。 4.根据权利要求1所述的钙钛矿电池制备中无功能层附着的背电极自清洁方法， 其特 征在于， 所述步骤(3)中， 对导电基底进行表 面处理的方式为 “等离子体清洗 法”或“紫外‑臭 氧清洗法 ”。 5.根据权利要求4所述的钙钛矿电池制备中无功能层附着的背电极自清洁方法， 其特 征在于， 所述步骤(3)中， 对导电基底导电面进行等离子体清洗的具体步骤为： 在覆盖掩盖 物后， 把导电基底放入真空等离子清洗机中， 抽真空使机中气压达到 ‑99kPa， 然后接入氧 气， 气流量为0.3NL/min， 清洗5min； 对导电基底导电面进行紫外 ‑臭氧清洗的具体步骤为： 在覆盖掩盖物后， 将导电基底放 入紫外‑臭氧清洗机中处理30min。 6.根据权利要求1所述的钙钛矿电池制备中无功能层附着的背电极自清洁方法， 其特 征在于， 所述步骤(5)中， 再次对导电基底进行表面处理的方式为 “等离子体清洗法 ”或“紫 外‑臭氧清洗法 ”。 7.根据权利要求6所述的钙钛矿电池制备中无功能层附着的背电极自清洁方法， 其特 征在于， 所述步骤(5)中， 对导电基底导电面进行等离子体清洗的具体步骤为： 把覆盖了掩 盖物并旋涂有电子传输层的导电基底放入真空等离子清洗机中， 抽真空使机中气压达到 ‑ 99kPa， 然后接入氧气， 气流 量为0.3NL/min， 清洗5min； 对导电基底导电面进行紫外 ‑臭氧清洗的具体步骤为： 将覆盖了掩盖物并旋涂有电子 传输层的导电基底放入紫外 ‑臭氧清洗机中处理30min。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115224202 A 2一种钙钛矿电池制备中无功能层附着的背电极自清洁方 法 技术领域 [0001]本发明涉及太阳能电池技术领域， 尤其涉及一种钙钛矿电池制备中无功能层附着 的背电极自清洁方法。 背景技术 [0002]目前， 钙钛矿太阳能电池在制作过程中会在导电基底上按次序沉积载流子传输 层、 光吸收层及其它钝化或功能层。 最后， 在蒸镀电极时， 为清理导电基底上作为背电极的 部分， 通常会采用器具刮除、 溶剂擦拭或激光去除背电极上的功能层， 如图1所示， 便于将金 属电极蒸镀到背电极表面。 然而， 背电极功 能层与导电基底上其他区域功能层之间是紧密 相连的关系， 造成清除背电极功能层的过程， 不仅费时费力， 还有 可能因多余操作导致器件 的破坏， 影响器件制备的一 致性和良品率。 [0003]因此， 一种无功能层附着的背电极自清洁且无伤痕的方法， 对实验与批量化生产 钙钛矿太阳能电池具有重要意 义。 发明内容 [0004]本发明所要解决的技术问题在于提供一种钙钛矿电池制备中无功能层附着的背 电极自清洁方法， 该方法既不会对电池的功 能层和导电基底背电极区域造成损伤， 又能使 整个钙钛矿太阳能电池制备 过程方便快捷， 从而提高生产效率。 [0005]本发明采用以下技 术方案解决上述 技术问题： [0006]一种钙钛矿电池制备中无功能层附着的背电极自清洁方法， 包括如下步骤： [0007](1)清洗导电基底； [0008](2)用掩盖物 覆盖导电基底的背电极区域； [0009](3)对导电基底进行表面处 理； [0010](4)在导电基底 表面旋涂电子传输层； [0011](5)再次对导电基底进行表面处 理； [0012](6)去除导电基底上的掩盖物； [0013](7)在电子传输层的表面旋 涂钙钛矿层； [0014](8)在钙钛矿层表面旋 涂空穴传输层； [0015](9)蒸镀金属电极。 [0016]作为本发明的优选方式之一， 所述 步骤(1)中， 导电基底为 ITO导电基底。 [0017]作为本发明的优选方式之一， 所述 步骤(2)中， 掩盖物为胶带。 [0018]作为本发明的优选方式之一， 所述步骤(3)中， 对导电基底进行表面 处理的方式为 “等离子体清洗法 ”或“紫外‑臭氧清洗法 ”。 [0019]作为本发明的优选方式之一， 所述步骤(3)中， 对导电基底导电面进行等离子体清 洗的具体步骤为： 在覆盖掩盖物后， 把导电基底 放入真空等离子清洗机中， 抽真空使机中气 压达到‑99kPa， 然后接入氧气， 气流 量为0.3NL/min， 清洗5min；说　明　书 1/5 页 3 CN 115224202 A 3