(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 20221081596 5.0 (22)申请日 2022.07.12 (71)申请人 安徽森米 诺智能装备有限公司 地址 241200 安徽省芜湖市繁昌县经济开 发区 申请人 上海申和投资有限公司 (72)发明人 贺贤汉　 (74)专利代理 机构 铜陵市天 成专利事务所(普 通合伙) 3410 5 专利代理师 李坤 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) H01L 21/673(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种免交叉污染的 晶圆槽式清洗 机 (57)摘要 本发明涉及电子产品加工领域， 具体是涉及 一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机， 包括清洗 机， 还包括总框架、 两组托架组件、 同步杆和包括 有调节夹块和两个楔形块的收缩装置， 每组托架 组件均包括伸缩架、 导向装置和若干个托板， 位 于最中间的托板为定位板， 每相邻的两个托板 之 间均设置有V形弹性板， 每个托板的侧壁上均成 型有条形卡槽和弧形卡槽， 在若干个V形弹性板 和伸缩架的作用下， 若干个托板在导向杆上等间 距滑动展开， 扩大相邻两个晶圆之间的间隙， 晶 圆清洗的更干净且不会交叉污染， 同步杆使 得两 组托架组件同步运动， 避免晶圆的受到横向剪切 力损坏， 夹具能将调节夹块的上限位部向上推 动， 避免楔形块与调节夹块卡死， 并且批量装载 和卸料晶圆方便 。 权利要求书2页 说明书6页 附图12页 CN 115148639 A 2022.10.04 CN 115148639 A 1.一种免交叉污染的 晶圆槽式清洗 机， 包括清洗 机， 其特征在于， 还 包括： 总框架 （1） ； 两组沿水平方向呈对称状态设置的托架组件， 均固定设置在总框架 （1） 上， 每组托架组 件均包括伸缩架 （2） 、 导向装置 （9） 和若干个与导向装置 （9） 水平滑动连接的竖直的托板 （3） ， 位于最中间的托板 （3） 为定位板 （4） ， 定位板 （4） 与总框架 （1） 固定连接， 并且若干个托 板 （3） 沿滑动方向等间距设置， 导向装置 （9） 固定在总框架 （1） 上， 并且伸缩架 （2） 与若干个 托板 （3） 远离另一组托架组件的一侧铰接， 每相邻的两个托板 （3） 之间均设置有推动两个托 板 （3） 相互远离的V形弹性板 （5） ， 每个托板 （3） 靠近另一组托架组件的一侧成型有 竖直的条 形卡槽 （6） ， 并且条形卡槽 （6） 的下端成型有与晶圆 （8） 弧度一致的弧形卡槽 （7） ， 弧形卡槽 （7） 的下端朝向另一组托架组件倾斜， 所述晶圆 （8） 向下插入两组托架组件中对应的两个托 板 （3） 的条 形卡槽 （6） 内； 水平的同步杆 （10） ， 两端分别与两组托架组件中位于最边缘的托板 （3） 的下端固定卡 接； 两组呈对称状态设置的收缩装置， 与两组托架组件一一对应， 每组收缩装置均包括调 节夹块 （11） 和两个 分别固定在定位板 （4） 两侧的托板 （3） 上的楔形块 （12） ， 调节夹块 （11） 位 于总框架 （1） 的外侧且与总框架 （1） 的上端铰接， 两个楔 形块 （12） 均与调节夹块 （11） 的下端 接触， 清洗机上的两个夹具 （13） 分别从两侧 夹住两个调节夹块 （11） ， 两个楔形块 （12） 随着 调节夹块 （1 1） 向靠近另一调节夹块 （1 1） 的旋转而相互靠 近。 2.根据权利要求1所述的一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机， 其特征在于， 所述总框架 （1） 包括： 水平的上U形边框 （14） ， 开口端远离同步杆 （10） 设置， 调节夹块 （11） 的上端与上U形边 框 （14） 铰接； 位于上U形边框 （14） 正下方的水平的下U形边框 （15） ， 开口端远离同步杆 （10） 设置， 导 向装置 （9） 与上U形边框 （14） 的侧边和下U形边框 （15） 对应的侧边固定连接； 主支撑臂 （16） 和两个辅支撑臂 （17） ， 均呈竖直状态， 两个辅支撑臂 （17） 的上端分别与 上U形边框 （14） 的两端固定连接， 两个辅支撑臂 （17） 的下端分别与下U形边框 （15） 的两端固 定连接， 主支撑臂 （16） 的上端和下端分别与上U形边框 （14） 的中部和下U形边框 （15） 的中部 固定连接； 若干组呈矩阵状态分布的支撑脚垫 （18） ， 均固定设置在下U形边框 （15） 上。 3.根据权利要求2所述的一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机， 其特征在于， 所述导向装 置 （9） 包括： 两个沿竖直方向间距设置的水平的导向杆 （19） ， 每个导向杆 （19） 的长度方向均与上U 形边框 （14） 的侧边长度方向一致， 位于上方的导向杆 （19） 的两端均通过第一连接件 （20） 与 上U形边框 （14） 固定连接， 位于下方的导向杆 （19） 的两端均通过第二连接件 （21） 与下U 形边 框 （15） 固定连接， 托板 （3） 的上端和下端分别滑动套设在两个导向杆 （19） 上； 两个限位套 （22） ， 分别套设在定位板 （4） 的两端， 并且两个限位套 （22） 分别与上U形边 框 （14） 和下U形边框 （15） 固定连接 。 4.根据权利要求3所述的一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机， 其特征在于， 所述伸缩架 （2） 通过第一铰接铆钉 （23） 与托板 （3） 铰接， 所述托板 （3） 的中部成型有用于增厚的水平的权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115148639 A 2圆柱部 （24） ， 圆柱部 （24） 上成型有同轴线的圆形凹槽 （25） ， 且圆柱部 （24） 的侧壁上成型有 矩形通槽 （26） ， 矩形通槽 （26） 与圆形凹槽 （25） 联通， 所述第一铰接铆 钉 （23） 的端部穿过圆 形凹槽 （25） 插 入矩形通槽 （26） 内。 5.根据权利要求4所述的一种 免交叉污染的晶圆槽式清洗机， 其特征在于， 所述V形弹 性板 （5） 的两端均成型定位部 （27） ， 所述托板 （3） 上成型有供定位部 （27） 入的定位凹槽 （28） ， 所述定位凹槽 （28） 的底部成型有圆形通槽 （29） ， 所述V形弹性板 （5） 的两端均通过第 二铰接铆 钉 （30） 与两个托板 （3） 固定， 每个第二铰接铆钉 （30） 均穿过定位部 （27） 和圆形通 槽 （29） ， 所述托板 （3） 上 连接的两个V形弹性板 （5） 分别位于圆柱部 （24） 的上 方和下方。 6.根据权利要求4所述的一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机， 其特征在于， 所述伸缩架 （2） 包括： 两个短型连接杆 （31） ， 一端分别与位于最边缘的两个托板 （3） 上的第一铰接铆钉 （23） 铰接； 若干个一一对应与 位于中间的若干个第一铰接铆钉 （23） 铰接的长型连接杆 （32） ， 每个 长型连接杆 （32） 的中部与第一铰接铆钉 （23） 铰接， 每个长型连接杆 （32） 的两端分别与相邻 的两个长型连接杆 （32） 的端部铰接， 其中位于边缘的两个长型连接杆 （32） 与两个 短型连接 杆 （31） 的端部铰接 。 7.根据权利要求1所述的一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机， 其特征在于， 位于定位板 （4） 两侧的托板 （3） 为调节板 （33） ， 两个调节板 （33） 的上部均成型有供楔 形块 （12） 固定连接 的第一连接 部 （34） 。 8.根据权利要求1所述的一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机， 其特征在于， 所述调节夹 块 （11） 包括水平的第二连接部 （35） 、 水平的上限位部 （36） 、 水平的下限位部 （37） 、 竖直的支 撑部 （38） 和水平的调节部 （39） ， 第二连接部 （35） 与上U形边框 （14） 铰接， 第二连接部 （35） 和 上限位部 （36） 均与支撑部 （38） 的上端固定连接， 并且第二连接部 （35） 和上限位部 （36） 位于 支撑部 （38） 的两侧， 下限位部 （37） 和调节部 （39） 均与支撑部 （38） 的下端 固定连接， 且上限 位部 （36） 和下限位部 （37） 位于支撑部 （38） 的同一侧， 调节部 （39） 和第二连接部 （35） 位于支 撑部 （38） 的同一侧， 调节部 （39） 上成型有竖直的锥形通槽 （40） ， 并且锥形通槽 （40） 的尖端 朝向下限位部 （37） 设置， 两个楔形块 （12） 分别与锥形通槽 （40） 的两个侧壁相抵触。 9.根据权利要求1所述的一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机， 其特征在于， 所述条形卡 槽 （6） 的上端成型有利于晶圆 （8） 插 入的扩口部 （41） 。 10.根据权利要求8所述的一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机， 其特征在于， 所述上U形 边框 （14） 的上端固定 设置有四个呈矩阵状态设置的支撑夹块 （42） ， 每个支撑夹块 （42） 的结 构均与调节夹块 （11） 的结构一致， 其中， 支撑夹块 （42） 无调节部 （39） ， 支撑夹块 （42） 的第二 连接部 （35） 与上U形边框 （14） 固定连接， 并且支撑夹块 （42） 的上限位部端部 （36） 到支撑部 （38） 的距离小于调节夹块 （1 1） 的上限位部端部 到支撑部 （38） 的距离 。权　利　要　求　书 2/2 页 3