(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123039492.X (22)申请日 2021.12.0 6 (73)专利权人 大连泰丰净化科技有限公司 地址 116000 辽宁省大连市经济技 术开发 区东北三 街29号-G (72)发明人 张俭　李雪欣　 (74)专利代理 机构 北京深川专利代理事务所 (普通合伙) 16058 专利代理师 吕祥 (51)Int.Cl. F16M 11/04(2006.01) F16M 13/02(2006.01) F16F 15/067(2006.01) G01L 11/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种FFU风压监测装置 (57)摘要 本实用新型涉及风压监测技术领域， 尤其涉 及一种FFU 风压监测装置。 其包括安装板， 所述安 装板上设有固定螺栓一， 所述安装板上贯穿有固 定杆， 所述固定杆内设有限位组件， 所述固定杆 的表面固定连接有连接环， 所述连接环上开设有 若干固定槽， 所述连接环的表 面转动连接有安装 环， 所述安装环一侧固定连接有螺纹套， 所述螺 纹套内螺纹连接有限位杆， 所述安装环另一侧固 定安装有套筒， 所述套筒内固定安装有弹簧二， 所述弹簧二一端固定连接有 连接板， 所述连接板 上固定连接有活动杆， 所述活动杆远离连接板的 一侧设有保护壳。 本实用新型可以自行监测风压 来判断FFU是否正常工作， 且在发现异常时可以 及时报警， 便 于及时发现问题并解决。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 216896449 U 2022.07.05 CN 216896449 U 1.一种FFU风压监测装置， 其特征在于： 包括安装板(1)， 所述安装板(1)上设有固定螺 栓一(2)， 所述安装板(1)上贯穿有固定杆(3)， 所述固定杆(3)内设有限位组件， 所述固定杆 (3)的表面固定连接有连接环(10)， 所述连接环(10)上开设有若干固定槽(11)， 所述连接环 (10)的表面转动 连接有安装环(12)， 所述安装环(12)一侧固定连接有螺纹套(13)， 所述螺 纹套(13)内螺纹连接有限位杆(14)， 所述安装环(12)另一侧固定安装有套筒(15)， 所述套 筒(15)内固定安装有弹簧二(16)， 所述弹簧二(16)一端 固定连接有连接板(17)， 所述连接 板(17)上固定连接有活动杆(18)， 所述活动杆(18)远离连接板(17)的一侧设有保护壳 (19)， 所述保护壳(19)内设有监测设备主体(20)， 所述保护壳(19)上固定连接有安装组件， 所述安装环(12)上设有报警器(24)。 2.根据权利要求1所述的一种FFU风压监测装置， 其特征在于： 所述 限位组件包括两个 调节杆(4)， 两个所述调节杆(4)分别与固定杆(3)滑动连接， 两个所述调节杆(4)之间固定 连接有弹簧一(5)， 两个所述调节杆(4)上均固定连接有连接杆(6)， 所述连接杆(6)的顶端 固定连接有限制块(7)， 所述限制块(7)贯穿固定杆(3)并与固定杆(3)滑动连接， 两个所述 调节杆(4)相互远离的一端分别固定连接有调节板(27)。 3.根据权利要求2所述的一种FFU风压监测装置， 其特征在于： 所述 限位组件还包括开 设在固定杆(3)内部的滑槽(8)， 所述滑槽(8)内滑动连接有滑块(9)， 所述滑 块(9)固定连接 连接杆(6)。 4.根据权利要求1所述的一种FFU风压监测装置， 其特征在于： 所述安装组件包括安装 杆(21)， 所述安装杆(21)上固定连接有安装块(22)， 所述安装块(22)上设有固定螺栓二 (23)， 所述安装块(22)通过固定螺栓二(23)与安装环(12)固定连接， 所述安装杆(21)远离 安装块(2 2)的一端固定连接保护壳(19)。 5.根据权利要求1所述的一种FFU风压监测装置， 其特征在于： 所述限位杆(14)与固定 槽(11)相互配。 6.根据权利 要求1所述的一种FFU风压监测装置， 其特征在于： 所述 固定杆(3)的底端固 定连接有圆板(25)。 7.根据权利要求1所述的一种FFU风压监测装置， 其特征在于： 所述限位杆(14)的一端 固定连接有转板(26)。 8.根据权利要求1所述的一种FFU风压监测装置， 其特征在于： 所述活动杆(18)远离连 接板(17)的一端 固定连接有 固定板(28)， 所述固定板(28)上设有 固定螺栓三(29)， 所述固 定板(28)通过固定 螺栓三(29)与保护壳(19)固定连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216896449 U 2一种FFU风压监测装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及风压监测技 术领域， 尤其涉及一种F FU风压监测装置 。 背景技术 [0002]FFU英文全称为(Fan  Filter Unit)， 中文专 业用语为风机过滤机组(单元)。 FFU可 模块化连接使用， 使用FFU广泛应用于洁净室、 洁净工作台、 洁净生产线、 组装式洁净室和局 部百级等应用场合， 它是自带动力、 具有过滤功效的模块化的末端送风装置。 机台FFU一般 设置在机台顶端， 机台FFU风扇经常会由于马达的老化或断电导致停止工作， 导致机台内部 粉尘颗粒增多， 影响产品的质量， 更严重的可能导致整批产品报废， 对晶圆产率造成极大的 影响。 因此， 需要一种F FU风压监测来 监测FFU是否正常工作。 实用新型内容 [0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种操作简单， 使用方便的FFU风压监测装 置。 [0004]本实用新型为了解决上述问题， 所提出的技术方案为： 一种FFU风压监测装置， 包 括安装板， 所述安装板上设有固定螺栓一， 所述安装板上贯穿有固定杆， 所述固定杆内设有 限位组件， 所述固定杆的表面固定连接有 连接环， 所述连接环上开设有若干固定槽， 所述连 接环的表面转动连接有安装环， 所述安装环一侧固定连接有螺纹套， 所述螺纹套内螺纹连 接有限位杆， 所述安装环另一侧固定安装有套筒， 所述套筒内固定安装有弹簧二， 所述 弹簧 二一端固定连接有连接板， 所述连接板上固定连接有活动杆， 所述活动杆远离连接板的一 侧设有保护壳， 所述保护壳内设有监测设备主体， 所述保护壳上固定连接有安装组件， 所述 安装环上设有报警器。 [0005]所述限位组件包括两个调节杆， 两个所述调节杆分别与 固定杆滑动连接， 两个所 述调节杆之间固定连接有弹簧一， 两个所述调节杆上均固定连接有连接杆， 所述连接杆 的 顶端固定连接有限制块， 所述限制块贯穿固定杆并与固定杆滑动连接， 两个所述调节杆相 互远离的一端分别固定连接有调节板 。 [0006]所述限位组件还包括开设在固定杆内部 的滑槽， 所述滑槽内滑动连接有滑块， 所 述滑块固定连接连接杆。 [0007]所述安装组件包括安装杆， 所述安装杆上固定连接有安装块， 所述安装块上设有 固定螺栓二， 所述安装块通过固定螺栓二与安装环固定连接， 所述安装杆远离安装块的一 端固定连接保护壳。 [0008]所述限位杆与固定 槽相互配。 [0009]所述固定杆的底端固定连接有圆板 。 [0010]所述限位杆的一端固定连接有转板 。 [0011]所述活动杆远离连接板的一端固定连接有固定板， 所述固定板上设有固定螺栓 三， 所述固定 板通过固定 螺栓三与保护壳 固定连接 。说　明　书 1/3 页 3 CN 216896449 U 3