(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123120949.X (22)申请日 2021.12.13 (73)专利权人 山东华楷微电子装备有限公司 地址 276800 山东省日照市日照高新区高 新六路17号日照智慧微电产业园 （高 新六路与艳阳路交汇处） (72)发明人 牛立久　张雪奎　刘增增　周一雷　 徐金鑫　 (74)专利代理 机构 苏州金项专利代理事务所 (普通合伙) 3245 6 专利代理师 金星 (51)Int.Cl. B65D 25/02(2006.01) B65D 25/04(2006.01) B65D 6/06(2006.01)B65D 25/20(2006.01) B65D 81/18(2006.01) B65D 79/02(2006.01) B65D 85/86(2006.01) G03F 1/66(2012.01) (54)实用新型名称 一种光刻机掩膜版盒的储 存柜 (57)摘要 本实用新型公开了一种光刻机掩膜版盒的 储存柜， 包括柜体柜体被分隔成上腔体、 中间腔 体和下腔体， 中间腔体被分隔为前腔体和后腔 体， 前腔体内抽拉安装有收纳盒， 收纳盒的前板 面上均设置有标签纸， 后腔体内安装有过滤器， 所述后腔体上设置有进气口， 所述下腔体上设置 有抽气风机， 所述抽气风机的进气口与后腔体联 通， 所述抽气风机的出气 口与前腔体连通， 所述 前腔体与上腔体连通， 所述上腔体上设置有排气 口， 所述上腔体上设置有用于检测腔体内部温度 和湿度的温湿度传感器。 该储存柜可以更好的储 存掩膜版盒， 方便掩膜版盒的寻找， 避免空间中 的灰尘污染掩膜版盒。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 216469320 U 2022.05.10 CN 216469320 U 1.一种光刻机掩膜版盒的储存柜， 包括柜体， 其特征在于： 所述柜体内安装上水平分隔 板和下水平分隔板， 所述上水平分隔板和下水平分隔板将所述柜体分隔成上腔体、 中间腔 体和下腔体， 所述上水平分隔板和下水平分隔板之间安装有竖直分隔板， 该竖直分隔板将 所述中间腔 体分隔为前腔 体和后腔体， 所述前腔 体内抽拉安装有若干个用于放置掩膜版盒 的收纳盒， 每个收纳盒的前板面上均设置有用于反应掩膜版盒规格的标签纸， 所述后腔体 内安装有过滤器， 所述后 腔体上设置有进气口， 所述下腔 体上设置有抽气风机， 所述抽气风 机的进气口与后腔体联通， 所述抽气风机的出气口与前腔体连通， 所述前腔体与上腔体连 通， 所述上腔体上设置有排气口， 所述上腔体上设置有用于检测腔体内部温度和湿度的温 湿度传感器。 2.如权利要求1所述的一种光刻机掩膜版盒的储存柜， 其特征在于： 所述前腔体 内安装 若干块水平支撑板， 所述水平支撑板将前腔体分隔成若干个用于放置 收纳盒的放置腔， 所 述放置腔上设置有导轨组件， 所述收纳盒安装于导轨组件上， 所述放置腔 内位于收纳盒的 后侧固定有用于磁吸 收纳盒的磁吸组件。 3.如权利要求2所述的一种光刻机掩膜版盒的储存柜， 其特征在于： 每个放置腔内还安 装有用于检测收纳盒是否关闭到位的位置检测传感器， 所述下腔体内安装有控制柜， 所述 柜体的外部设置有蜂鸣器， 所述蜂鸣器和所述位置检测传感器与控制柜电连接， 所述控制 柜与所述抽气风机之间电连接 。 4.如权利要求3所述的一种光刻机掩膜版盒的储存柜， 其特征在于： 所述位置检测传感 器为接触式传感器， 所述接触式传感器固定在放置腔的腔壁上且与收纳盒的前面板后侧面 接触配合。 5.如权利要求4所述的一种光刻机掩膜版盒的储存柜， 其特征在于： 所述柜体位于上腔 体的外部还安装有补光灯。 6.如权利要求5所述的一种光刻机掩膜版盒的储存柜， 其特征在于： 所述过滤器为HEPA 过滤器。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216469320 U 2一种光刻机掩膜版盒的储 存柜 技术领域 [0001]本实用新型 涉及一种储 存柜， 尤其涉及一种光刻机掩膜版盒的储 存柜。 背景技术 [0002]光刻机是一种半导体生产设备， 在光刻的过程中会利用到掩膜版， 而由于 晶圆进 行光刻的图案有非常多种， 因此就需要使用多非常多的掩膜版， 这样就导致掩膜版盒的规 格也非常多， 而目前 的掩膜版盒的储存方式是放置在一个掩膜版盒内， 然后所有的掩膜版 盒堆放在一个区域， 当需要使用对应的掩膜版盒时需要人工翻动储存盒， 找到对应的储存 盒后取出掩膜版盒使用， 这种储存方式存在以下弊端： 1、 这种存放方式在寻找对应规格的 掩膜时是比较繁琐的， 寻找时间长； 2、 目前的掩膜版盒虽然放置在 储存盒内， 但是储存盒是 放置在工作空间内， 空间中可能有 灰尘会进入到储存盒内， 从而附着在 掩膜版盒上， 这样就 会影响光刻的精度和光刻质量。 实用新型内容 [0003]本实用新型所要解决的技术问题是： 提供一种光刻机掩膜版盒的储存柜， 该储存 柜可以更好的储 存掩膜版盒， 方便掩膜版盒的寻找， 避免空间中的灰尘污染掩膜版盒。 [0004]为解决上述技术问题， 本实用新型的技术方案是： 一种光刻 机掩膜版盒的储存柜， 包括柜体， 所述柜体内安装上水平分隔板和下水平分隔板， 所述上水平分隔板和下水平分 隔板将所述柜体分隔成上腔体、 中间腔体和下腔体， 所述上水平分隔板和下水平分隔板之 间安装有竖直分隔板， 该竖直分隔板将所述中间腔体分隔为前腔体和后腔体， 所述前腔体 内抽拉安装有若干个用于放置掩膜版盒的收纳盒， 每个收纳盒的前板面上均设置有用于反 应掩膜版盒规格的标签纸， 所述后腔 体内安装有过滤器， 所述后腔 体上设置有进气口， 所述 下腔体上设置有抽气风机， 所述抽气风机的进气口与后腔体联通， 所述抽气风机的出气口 与前腔体连通， 所述前腔 体与上腔 体连通， 所述上腔 体上设置有排气口， 所述上腔 体上设置 有用于检测腔体内部温度和湿度的温湿度传感器。 [0005]作为一种优选 的方案， 所述前腔体内安装若干块水平支撑板， 所述水平支撑板将 前腔体分隔成若干个用于放置 收纳盒的放置腔， 所述放置腔上设置有导轨组件， 所述收纳 盒安装于导轨组件上， 所述放置腔内位于收纳盒的后侧固定有用于磁吸收纳盒的磁吸组 件。 [0006]作为一种优选的方案， 每个放置腔内还安装有用于检测收纳盒是否关闭到位的位 置检测传感器， 所述下箱体内安装有控制柜， 所述柜 体的外部 设置有蜂鸣器， 所述蜂鸣器和 所述位置检测传感器与控制柜电连接， 所述控制柜与所述抽气风机之间电连接 。 [0007]作为一种优选 的方案， 所述位置检测传感器为接触式传感器， 所述接触式传感器 固定在放置腔的腔壁上且与收纳盒的前面板后侧面接触 配合。 [0008]作为一种优选的方案， 所述柜体位于上腔体的外 部还安装有补光灯。 [0009]作为一种优选的方案， 所述过 滤器为HEPA过滤器。说　明　书 1/3 页 3 CN 216469320 U 3