(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212325 0618.8 (22)申请日 2021.12.2 2 (73)专利权人 厦门特仪科技有限公司 地址 361000 福建省厦门市 火炬高新区信 息光电园金丰大厦809 A室 (72)发明人 吴泽斌　王世锐　林志阳　 (74)专利代理 机构 北京中索 知识产权代理有限 公司 11640 专利代理师 姚昌胜 (51)Int.Cl. B65G 47/91(2006.01) B65G 43/08(2006.01) B65D 6/08(2006.01) B65D 25/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆存储装置及具其的自动取放料设 备 (57)摘要 本实用新型涉及一种晶圆存储装置及具其 的自动取放料设备， 本实用新型提供晶圆存储装 置包括置物架、 上料晶圆转存台、 晶圆三轴取料 模块、 晶圆卡塞和下料晶圆散热台； 置物架内设 置有晶圆暂存工位、 晶圆存放工位和晶圆散热工 位， 晶圆暂存工位安装上料晶圆转存台， 晶圆存 放工位安装多个晶圆卡塞， 晶圆散热工位安装下 料晶圆散 热台； 晶圆三轴取料模块包括三轴移位 组件和真空吸取组件， 置物架的一侧安装三轴移 位组件， 三轴移位组件的末端执行位安装真空吸 取组件。 本实用新型提供设备通过 非接触式吸盘 夹具吸取半导体晶圆和晶圆存储装置配合， 满足 不可接触搬运产品的需求， 也可以进行高温作 业， 自动搬运上下料晶圆， 代替人工作业， 生产效 率大大提高。 权利要求书1页 说明书9页 附图11页 CN 216638127 U 2022.05.31 CN 216638127 U 1.一种晶圆存储装置， 其特征在于： 包括置物架、 上料晶圆转存台、 晶圆三轴取料模块、 晶圆卡塞和间距可调的下料 晶圆散热台； 所述置物架内设置有晶圆暂存工位、 晶圆存放工 位和晶圆散热工位， 所述晶圆暂存工位安装所述上料 晶圆转存台， 所述晶圆存放工位安装 多个所述晶圆卡塞， 所述晶圆散热工位上通过间距调节机构安装所述下料 晶圆散热台； 所 述晶圆三轴取料模块包括三轴移 位组件和真空吸取组件， 所述置物架的一侧安装所述三轴 移位组件， 所述 三轴移位组件的末端安装所述真空吸取组件。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆存储装置， 其特征在于： 所述上料晶圆转存台包括底 座和托盘， 所述底 座固定在所述置物架的晶圆暂存工位上， 所述托盘固定在所述底座上， 所 述托盘上从前向后开设有吸放退出槽， 所述吸放退出槽的形状尺寸与所述真空吸取组件的 形状尺寸相配合。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆存储装置， 其特征在于： 所述三轴移位组件包括X轴 移位机构、 Y轴移位机构、 Z轴移位机构， 所述Z轴移位机构的固定件与所述置物架的表面固 定连接， 所述Y轴移位机构安装在所述Z轴移位机构上， 所述X轴移位机构安装在所述Y轴移 位机构上， 所述真空吸取组件安装在所述X轴移 位机构上； 所述上料晶圆转存台上方安装有 视觉定位模块。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆存储装置， 其特征在于： 所述下料晶圆散热台包括左 右对称设置的两块支撑 板， 两根所述支撑 板朝向对方的侧面上均等距开设有晶圆放置 槽。 5.根据权利要求4所述的一种晶圆存储装置， 其特征在于： 两块所述支撑板均通过一个 间距调节机构安装在晶圆散热工位上； 或者其中一块所述支撑板通过间距调节机构安装在 晶圆散热工位上。 6.一种自动取放料设备， 其特征在于： 包括权利要求1至5任意一项所述的晶圆存储装 置， 所述晶圆存 储装置一旁设有晶圆自动上 下料装置。 7.根据权利要求6所述的一种自动取放料设备， 其特征在于： 所述晶圆自动上下料装置 包括运动模组、 机械手安装座、 六轴机械手和非接触式 吸盘夹具； 所述机械手安装座安装在 所述运动模组上， 所述六轴机械手安装在所述机械手安装座上， 所述六轴机械手的末端安 装所述非接触式吸盘夹具。 8.根据权利要求7所述的一种自动取放料设备， 其特征在于： 所述非接触式吸盘夹具包 括第一夹吸机构， 所述第一夹 吸机构包括夹紧组件和所述非接触式吸盘； 所述夹紧组件包 括安装板、 两个对称设置的非刚性夹紧件和驱动部件； 所述驱动部件安装在所述安装板上， 所述驱动部件包括运动方向相反的两个移动块， 两个所述移动块分别对应连接一个所述 非 刚性夹紧件； 所述非接触式吸盘固定在所述 安装板下， 位于 两个所述非刚性夹紧件之间。 9.根据权利要求7所述的一种自动取放料设备， 其特征在于： 所述运动模组包括第 一丝 杠、 第一丝杠螺母、 运动板、 第二滑轨， 所运动板与所述第二滑轨通过滑块连接， 所述运动板 固定连接所述第一丝杠螺母， 所述第一丝杠螺母穿套在所述第一丝杠上， 所述第一丝杠的 轴向与所述第二滑轨平行， 所述第一丝杠由电机驱动， 所述机械手安装座固定在所述运动 板上。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216638127 U 2一种晶圆存 储装置及具其的 自动取放料设 备 技术领域 [0001]本实用新型涉及半导体晶圆生产技术领域， 特别是一种晶圆存储装置及具其的自 动取放料设备。 背景技术 [0002]半导体晶圆行业内， 由于生产工艺需求， 往往需要在晶圆的某一面进行化学蒸镀 或者物理沉积， 导致该面往往要求不可接触； 蒸镀完的产品往往带有高温， 且产品正面不可 接触， 人员取放产品时， 往往需要小心的翘起产品， 从背面吸取产品进行产品上下料。 高温 环境下人工取放产品效率慢， 且易造成人员损伤。 经过蒸镀过后的晶圆其温度非常高， 所以 在晶圆在完成蒸镀工艺后通常都需要一个暂存的工位， 用于晶圆的散热， 散热完成后才能 将晶圆进 行存放； 如果全部通过人工进 行操作的话， 需要的散热场地较大同时， 或者多层堆 叠放置散热， 工人需要根据晶圆是否完成散热再去取对应的晶圆放置到存储位置， 生产时 同一批次晶圆较多， 先完成蒸镀工艺的和最后完成蒸镀工艺会有时间差， 同时为了避免堆 积过多散热 的晶圆， 就需要根据完成时间及时取出散热完成的晶圆， 这对工人来说或者换 班需要进行交接， 为了避免出错将未完成散热 的晶圆取出， 所以只能按照最后完成蒸镀的 晶圆完成散热后才能去取 出整批次晶圆， 降低了生产的效率。 实用新型内容 [0003]为解决上述问题， 本实用新型的目的是提供一种晶圆存储装置及具其的自动取放 料设备， 通过晶圆存储装置和晶圆自动上下料装置的配合实现晶圆生产设备的自动上下 料， 及时将蒸镀 完成的晶圆运去散热， 并在散热完成时及时进行存 储， 减少人工操作。 [0004]本实用新型实施例中采用以下 方案实现： [0005]提供一种晶圆存储装置， 包括置物架、 上料晶圆转存台、 晶圆三轴取料模块、 晶圆 卡塞和间距可调的下料 晶圆散热台； 所述置物架内设置有晶圆暂存工位、 晶圆存放工位和 晶圆散热工位， 所述晶圆暂存工位安装所述上料 晶圆转存台， 所述晶圆存放工位安装多个 所述晶圆卡塞， 所述晶圆散热工位上通过间距调节机构安装所述下料 晶圆散热台； 所述晶 圆三轴取料模块包括三轴移 位组件和真空吸取组件， 所述置物架的一侧安装所述三轴移 位 组件， 所述 三轴移位组件的末端安装所述真空吸取组件。 [0006]本实用新型一实施例中， 所述上料晶圆转存台包括底座和托盘， 所述底座固定在 所述置物架的晶圆暂存工位上， 所述托盘固定在所述底座上， 所述托盘上从前向后开设有 吸放退出槽， 所述吸放退 出槽的形状尺寸与所述真空吸取组件的形状尺寸相配合。 [0007]本实用新型一实施例中， 所述三轴移位组件包括X轴移位机构、 Y轴移位机构、 Z轴 移位机构， 所述Z轴移位机构的固定件与所述置物架的表面固定连接， 所述Y轴移位机构安 装在所述Z轴移 位机构上， 所述X轴移 位机构安装在所述Y轴移 位机构上， 所述真空吸取 组件 安装在所述X轴移位机构上； 所述上 料晶圆转存台上 方安装有视 觉定位模块。 [0008]本实用新型一实施例中， 所述下料晶圆散热台包括左右对称设置的两块支撑板，说　明　书 1/9 页 3 CN 216638127 U 3