(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210151824.3 (22)申请日 2022.02.18 (71)申请人 仲恺农业工程学院 地址 510220 广东省广州市海珠区纺织路 东沙街24 号 (72)发明人 季旭　林丽君　刘同来　董美　 于凤梅　赵栋　孔壹右　叶俊伟　 陈杰鑫　梁志华　李家蝉　黄家眉　 周志雄　马佳升　钟泽炫　 (74)专利代理 机构 重庆莫斯专利代理事务所 (普通合伙) 50279 专利代理师 刘强 (51)Int.Cl. B08B 3/04(2006.01) B08B 3/02(2006.01)B08B 5/02(2006.01) B08B 11/00(2006.01) C23C 14/02(2006.01) C23C 14/08(2006.01) C23C 14/18(2006.01) C23C 14/35(2006.01) (54)发明名称 一种ZnO薄膜制备工艺及装置 (57)摘要 本发明涉及薄膜制备技术领域， 具体涉及一 种ZnO薄膜制备工艺及装置， 包括输送组件、 清洗 组件和风干组件， 输送组件包括支撑台、 两条第 一输送线和第一清洗器， 清洗组件包括移动器、 升降器、 清洗头和多个吸嘴， 使用时将基片放置 到两个第一输送线之间进行输送， 当移动到第一 清洗器上方时， 通过升降器带动清洗头下移对基 片进行清洗， 然后启动吸嘴将基片吸起， 升降器 上移， 然后启动第一清洗器对基片的下部进行清 洗， 然后移动移动器将基片送出， 使得可 以更加 方便地对基片进行全 方位的清洗， 从而可以提高 清洗效率。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 114472334 A 2022.05.13 CN 114472334 A 1.一种ZnO 薄膜制备装置， 其特 征在于， 包括输送 组件、 清洗组件和风干组件， 所述输送 组件包括支撑台、 两条第 一输送线和第 一清洗器， 两条所述第一输送线与所述支撑台转动连接， 并位于所述支撑台的一侧， 第一清 洗器设置在两条所述第一输送线之 间； 所述清洗组件包括移动器、 升降器、 清洗头和多个吸 嘴， 所述移动器滑动设置在所述支撑台的一侧， 所述升降器滑动设置在所述移动器上， 所述 清洗头设置在所述升降器上， 多个所述吸嘴设置在所述清洗头的一侧， 所述风干组件设置 在所述支撑台的一侧。 2.如权利要求1所述的一种ZnO 薄膜制备装置， 其特 征在于， 所述输送组件还包括支撑辊， 所述支撑辊转动设置在所述第 一输送线和所述支撑 台之 间。 3.如权利要求2所述的一种ZnO 薄膜制备装置， 其特 征在于， 所述输送组件还包括减振垫， 所述减振垫与所述支撑台固定连接， 并位于所述支撑台 底部。 4.如权利要求3所述的一种ZnO 薄膜制备装置， 其特 征在于， 所述输送组件 还包括集液槽， 所述 集液槽设置在所述第一清洗器的一侧。 5.如权利要求 4所述的一种ZnO 薄膜制备装置， 其特 征在于， 所述移动器包括螺杆电机和滑动块， 所述滑动块与所述支撑台滑动连接， 并位于所述 支撑台的一侧， 所述螺杆电机的螺杆与所述支撑台螺纹连接 。 6.如权利要求5所述的一种ZnO 薄膜制备装置， 其特 征在于， 所述升降器包括升降气缸和安装座， 所述升降气缸设置在所述滑动块上， 所述安装座 与所述升降气缸的输出端固定连接 。 7.如权利要求5所述的一种ZnO 薄膜制备装置， 其特 征在于， 所述风干组件包括氮气枪和风干壳， 所述输送组件还包括第二输送线， 所述第二输送 线设置在所述第一输送线上方， 所述风干壳设置在所述第二输送线外侧， 所述氮气枪设置 在所述风干壳的一侧。 8.一种ZnO薄膜制备工艺， 采用如权利 要求1‑7任意一项所述的ZnO薄膜制备装置， 其特 征在于， 包括： 室温下将基片放到第一输送线上运输； 升降器带动清洗 头下移对基片清洗； 启动吸嘴将基片吸起然后升降器带动基片上升， 第一清洗器对基片底部进行清洗； 启动移动器带动基片移动到风干组件中用氮气枪吹干； 将基片放入反应室， 打开磁控溅射反应室将基片加热进行 溅射； 待反应室温度降至常温， 将样品取出， 放到马弗炉中在150～400℃退火1h， 冷却至常 温， 得到ZnO/ Mo/ZnO叠层结构透明导电薄膜。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114472334 A 2一种ZnO薄膜制备工艺及装 置 技术领域 [0001]本发明涉及薄膜制备技 术领域， 尤其涉及一种ZnO 薄膜制备工艺及装置 。 背景技术 [0002]随着掺杂和制膜工艺 的日趋成熟， 研究者开始对ZnO薄膜进行掺杂研究。 ZnO基薄 膜与ITO薄膜相比， 价格低廉、 无毒、 制备温度较低且制膜方法多， 往ZnO中掺入B、 F、 Al之后 其薄膜的光电性能及热 稳定性都得到提高。 [0003]载玻片一般作为ZnO薄膜制备过程中的承载体， 伴随薄膜的整个制备工艺。 而载玻 片在使用前需要 进行清洗， 现有设备的清洗效率低， 降低了整个ZnO 薄膜的生产效率。 发明内容 [0004]本发明的目的在于提供一种ZnO薄膜制备工艺及装置， 旨在可以更加方便地对基 片进行清洗， 以提高工作效率。 [0005]为实现上述目的， 第一方面， 本 发明提供了一种ZnO薄膜制备装置， 包括输送组件、 清洗组件和风干组件， 所述输送组件包括支撑台、 两条第一输送线和第一清洗器， 两条所述 第一输送线与所述支撑台转动连接， 并位于所述支撑台的一侧， 第一清洗器设置在两条所 述第一输送线之间； 所述清洗组件包括移动器、 升降器、 清洗头和多个 吸嘴， 所述移动器滑 动设置在所述支撑台的一侧， 所述升降器滑动设置在所述移动器上， 所述清洗头设置在所 述升降器上， 多个所述吸嘴设置在所述清洗头的一侧， 所述风干组件设置在所述支撑台的 一侧。 [0006]所述输送组件还包括支撑辊， 所述支撑辊转动设置在所述第一输送线和所述支撑 台之间。 [0007]所述输送组件还包括减振垫， 所述减振垫与所述支撑台固定连接， 并位于所述支 撑台底部 。 [0008]所述输送组件 还包括集液槽， 所述 集液槽设置在所述第一清洗器的一侧。 [0009]所述移动器包括螺杆电机和滑动块， 所述滑动块与所述支撑台滑动连接， 并位于 所述支撑台的一侧， 所述螺杆电机的螺杆与所述支撑台螺纹连接 。 [0010]所述升降器包括升降气缸和安装座， 所述升降气缸设置在所述滑动块上， 所述安 装座与所述升降气缸的输出端固定连接 。 [0011]所述风干组件包括氮气枪和风干壳， 所述输送组件还包括第二输送线， 所述第二 输送线设置在所述第一输送线上方， 所述风干壳设置在所述第二输送线外侧， 所述氮气枪 设置在所述 风干壳的一侧。 [0012]第二方面， 本发明还提供一种ZnO薄膜制备工艺， 包括： 室温下将基片放到第一输 送线上运输， [0013]升降器带动清洗 头下移对基片清洗； [0014]启动吸嘴将基片吸起然后升降器带动基片上升， 第一清洗器对基片底部进行清说　明　书 1/4 页 3 CN 114472334 A 3