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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211171501.7 (22)申请日 2022.09.26 (71)申请人 盛吉盛 (宁波) 半导体科技有限公司 地址 315135 浙江省宁波市 云龙镇石桥村 申请人 盛吉盛精密技 术 (宁波) 有限公司 (72)发明人 兰海燕 李士昌  (74)专利代理 机构 上海市汇业 律师事务所 31325 专利代理师 王函 (51)Int.Cl. F21V 14/06(2006.01) G03B 15/02(2021.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 一种基于透镜有效焦距的调整 治具 (57)摘要 本发明提出的基于透镜有效焦距的调整治 具, 在调整打光效果的过程中始终保持了透镜距 打光区域的距离是该透镜的工作距离L, 因此该 打光区域获得的光斑始终是最锐利光斑, 维持了 良好的打光效果, 方便从不同的角度观察同一个 缺陷, 避免了产品缺陷的漏检, 提高了产品良率。 而且, 本发明提供的调整治具在大量应用时, 可 以方便地优化为标准模组, 能保证相同的打光效 果, 有益于确保相机采图的一致性, 进而保证设 备稳定性。 权利要求书1页 说明书6页 附图4页 CN 115507342 A 2022.12.23 CN 115507342 A 1.一种基于 透镜有效焦距的调整 治具, 其特 征在于, 所述治具包括: 光源组件(1)和俯仰调节框架(2); 所述光源组件(1)包括 光源和透 镜; 所述透 镜的工作距离为 L; 所述俯仰调节框架(2)包括左侧板(3)、 右侧板(4)、 连接杆(5)和俯仰调节 支架(6); 所述左侧板(3)和所述右侧板(4)相对安装, 在竖直方向上支撑起所述俯仰调节框架 (2); 所述左侧板(3)和所述右侧板(4)在相对应的位置各有一个圆弧形槽; 所述连接杆(5)有N根, 用于连接所述左侧板(3)和所述右侧板(4), 使得所述俯仰调节 框架(2)保持稳定; N≥1; 所述俯仰调节支架(6)包括调节支架(7)、 移动部件(8)和锁定装置(9); 所述调节支架 (7)的两端各装有一个所述移动部件(8); 所述移动部件(8)能够沿着所述圆弧形槽移动; 所述圆弧形槽的曲率半径与 所述透镜的轴 线重合; 在所述轴 线的方向上所述 圆弧形槽 的中心弧线距离所述透镜最前端的距离是L ′, 所述透镜最前端到所述圆弧形槽中心弧线的 圆心的距离是 所述透镜的所述工作距离L, 则所述圆弧形槽的曲率半径Rc=L+L′; 所述锁定装置(9)用于固定所述移动部件(8)和所述圆弧形槽的相对位置, 即固定所述 俯仰调节 支架(6)相对于水平面的角度; 所述光源组件(1)和所述调节支架(7)固定连接, 能够随着所述移动部件(8)在所述圆 弧形槽中的移动而改变位置, 实现所述 光源投射方向的调节。 2.根据权利要求1所述的治具, 其特 征在于: 所述移动部件(8)是凸轮随动部件(8 ′)。 3.根据权利要求1所述的治具, 其特 征在于: 所述移动部件(8)是弧形滑块(8 ″), 所述弧形滑块(8 ″)是根据所述圆弧形槽 定制的。 4.根据权利要求1所述的治具, 其特 征在于: 所述圆弧形槽上 标有刻度。 5.根据权利要求 4所述的治具, 其特 征在于, 所述治具还 包括: 所述移动部件(8)上设有指针。 6.根据权利要求1 ‑5任一项所述的治具, 其特 征在于, 所述治具还 包括: Z向旋转轴 、 Z向旋转连接件; 所述Z向旋转轴作为旋转轴, 用于实现Z方向的旋转, 并在调整好旋转角度后实现位置 固定; 所述Z向旋转连接件, 用于连接所述Z向旋转轴和所述俯仰调 节框架(2), 并带动所述俯 仰调节框架(2)绕Z向旋转轴旋转及固定 。 7.根据权利要求1 ‑5任一项所述的治具, 其特 征在于, 所述治具还 包括: X向移动部件(8), 用于带动所述俯仰调节框架(2)沿着X 方向移动。 8.根据权利要求1 ‑5任一项所述的治具, 其特 征在于: 所述光源为线性 光源, 所述透 镜为平凸柱面透 镜。 9.根据权利要求1 ‑5任一项所述的治具, 其特 征在于: 所述光源为点光源, 所述透 镜为圆形透 镜。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 115507342 A 2一种基于透 镜有效焦 距的调整治 具 技术领域 [0001]用于半导体、 面板行业, 或其他产业的缺陷高精密量测、 检测领域, 尤其是视觉工 程打光领域。 背景技术 [0002]在缺陷高精密量测、 检测领域领域, 通常会使用光源和透镜进行打光。 以平凸柱面 透镜为例, 该平凸柱面透镜成线状像, 用于仅需控制光束的一个方向的尺寸的场合。 配合该 平凸柱面透 镜使用的该光源为线性 光源。 [0003]为了确定打光区域的相对位置, 需要测量该线性光源经过透镜后的工作距离。 如 图1所示, P ″为该平凸柱面透镜的主点, EFL是有效焦距。 将该线性光源放在A点(A点是该平 凸柱面透镜的焦点)处, 光线经过该平凸柱面透镜会在位于B处的白板上形成光斑, 该光斑 的宽度为d。 改变该白板和该平凸柱 面透镜表面之 间的距离, 当该光斑的边缘锐利程度最大 时, 就可以确定该平凸柱面透 镜的工作距离L。 [0004]在现有技术中, 当工作距离L一旦确定后, 光源、 透镜、 以及打光区域(即图1中的白 板)的位置就固定 了, 打光效果单一, 缺乏选择。 发明内容 [0005]本发明的目的在于提供能够方便地调整出合适的打光效果的治具, 以在保持透镜 工作在该工作距离L的情况下, 调整光线抵达打光区域的角度。 进一步地, 还能够在保持该 透镜工作在该工作 距离的情况下, 使得光源的该打光区域 发生旋转或移动。 更进一步地, 尤 其是大量应用时, 因为在相应的位置增 加了刻度, 能够有效降低调试打光效果的工时。 [0006]本发明实施例提出一种基于 透镜有效焦距的调整 治具, 该治具包括: [0007]光源组件1和俯仰调节框架 2。 [0008]该光源组件1包括 光源和透 镜。 该透镜的工作距离为 L。 [0009]该俯仰调节框架 2包括左侧板 3、 右侧板4、 连接杆5和俯仰调节 支架6。 [0010]该左侧板3和该右侧板4相对安装, 在竖直方向上支撑起该俯仰调节框架2。 该左侧 板3和该右侧板4在相对应的位置各有一个圆弧形槽 。 [0011]该连接杆5有N根, 用于连接该左侧板3和该右侧板4, 使得该俯仰调节框架2保持稳 定。 N≥1。 [0012]该俯仰调节支架6包括调节支架 7、 移动部件8和锁定装置9。 该调节支架 7的两端各 装有一个该移动部件8。 该移动部件8能够沿着该圆弧形槽移动。 [0013]该圆弧形槽的曲率半径与该透镜的轴线重合。 在该轴线的方向上该圆弧形槽的中 心弧线距离该透镜最前端的距离是L ′, 该透镜最前端到该圆弧形槽中心弧线的圆心的距离 是该透镜的该工作距离L, 则该圆弧形槽的曲率半径Rc=L+L′。 [0014]该锁定装置9用于固定该移动部件8和该圆弧形槽的相对位置, 即固定该俯仰调节 支架6相对于水平面的角度。说 明 书 1/6 页 3 CN 115507342 A 3

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