(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210955191.1 (22)申请日 2022.08.10 (71)申请人 中环领先半导体材 料有限公司 地址 214200 江苏省无锡市宜兴经济技 术 开发区东氿大道 (72)发明人 杨路肖　张宏杰　 (74)专利代理 机构 苏州高专知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 32474 专利代理师 冷泠 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/95(2006.01) B07C 5/342(2006.01) B07C 5/36(2006.01) (54)发明名称 一种大尺寸包 装片盒配件的视 觉检查方法 (57)摘要 本发明公开了一种大尺寸包装片盒配件的 视觉检查方法， 其检查方法包括以下步骤： S1、 首 先需要进行检查环境条件是否 符合标准， 需要保 证片盒分选满盒， 使 得环境达到洁净度相应的标 准， 使机台通过特定PORT口扫描出盒号信息， 下 达给机台指令选取匹配的视觉检查项的设定内 容， S2、 然后进行检查大尺寸硅片片盒重点配件， 使得视觉检查设备通过一个4段转动机械臂转动 收取不同角度照片， 并且每个节 点都可进行灵活 的转动， 通过转动机械臂带动尾端相机部分进行 可角度拍照， 通过底部同样结构相机， 满足不同 角度进行可拍照抓图， 并将图片进行留存可供随 时查阅， S3、 最后通过对FOSB配件部位的曝光拍 照， 并对不同状态硅片反光状况的拍照录入系 统。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 115406828 A 2022.11.29 CN 115406828 A 1.一种大尺寸包 装片盒配件的视 觉检查方法， 其特 征在于： 其检查方法包括以下步骤： S1、 首先需要进行检查环境条件是否符合标准， 需要保证片 盒分选满盒， 使得环境达到 洁净度相应的标准， 使机台通过特定PORT口扫描出盒号信息， 下达给机台指令选取匹配的 视觉检查项的设定内容； S2、 然后进行检查大尺寸硅片片盒重点配件， 使得视觉检查设备通过一个4段转动机械 臂转动收取不同角度照片， 并且每个节点都可进行灵活的转动， 通过转动机械臂带动尾端 相机部分进 行可角度拍照， 通过底部同样结构相机， 满足不同角度进 行可拍照抓图， 并将图 片进行留存可 供随时查阅； S3、 最后通过对FOSB配件部位的曝光拍照， 并对不同状态硅片反光状况的拍照录入系 统， 配件部分以有无判定， 硅片状态转化为数值取区间值， 来判定OK与NG， 进而和设定的客 户要求进 行对比， 符合全部 设定则通过并进 行下一步作业， 若其中一项 未通过， 硅片会进入 NG口退出运行状态。 2.根据权利要求1所述的一种大尺寸包装片 盒配件的视觉检查方法， 其特征在于： 所述 需要进行检查的硅片片盒重点配件部位包括蘑菇头(1)、 把手(2)、 滤芯(3)、 旋钮(4)、 底托 (5)、 底托 孔(6)和信息芯片(7)。 3.根据权利要求1所述的一种大尺寸包装片 盒配件的视觉检查方法， 其特征在于： 所述 拍照抓图需要满足3 60度角度的旋转变化， 且环境达 到洁净度相应的标准 为十级。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115406828 A 2一种大尺寸包装片盒配件的视觉检查方 法 技术领域 [0001]本发明涉及于硅片生产技术领域， 具体为一种大尺寸包装片盒配件的视觉检查方 法。 背景技术 [0002]在米粒大的硅片上， 已能集成16万个晶体管， 这是科学技术进步的又一个里程碑， 地壳中含量达25.8 ％的硅元素， 为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉， 由于硅元素是地 壳中储量最丰富的元素之一， 对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言， 储量 的优势也是硅成为光伏主要材料 的原因之一， 随着硅片尺寸的增大， 大尺寸硅片片盒配件 众多， 对出货片盒要求做到配件与外观满足不同客户的特定要求， 对出货的片盒的配件进 行自动识别和纠错。 [0003]传统的硅片包装技术均为人工进行操作 包装， 对硅片外观检查也均为人工进行操 作完成， 导 致检查的效果 不佳且误差较大， 进 而导致客诉风险值极高。 发明内容 [0004]本发明的目的在于提供一种大尺寸包装片盒配件的视觉检查方法， 以解决上述背 景技术中提出的传统的硅片包装技术均为人工进 行操作包装， 对硅片 外观检查也均为人工 进行操作完成， 导 致检查的效果 不佳且误差较大， 进 而导致客诉风险值极高的问题。 [0005]为实现上述目的， 本发明提供如下技术方案： 一种大尺寸包装片盒配件的视觉检 查方法， 其检查方法包括以下步骤： [0006]一种大尺寸包 装片盒配件的视 觉检查方法， 其检查方法包括以下步骤： [0007]S1、 首先需要进行检查环境条件是否符合标准， 需要保证片盒分选满盒， 使得环境 达到洁净度相应的标准， 使机台通过特定PORT口扫描出盒号信息， 下达给机台指令选取匹 配的视觉检查项的设定内容。 [0008]S2、 然后进行检查大尺寸硅片片盒重点配件， 使得视觉检查设备通过一个4段转动 机械臂转动收取不同角度照片， 并且每个节点都可进行灵活的转动， 通过转动机械臂带动 尾端相机部 分进行可角度拍照， 通过底部同样结构相机， 满足不同角度进 行可拍照抓图， 并 将图片进行留存可 供随时查阅。 [0009]S3、 最后通过对FOSB配件部位 的曝光拍照， 并对不同状态硅片反光状况的拍照录 入系统， 配件部分以有无判定， 硅片状态转化为数值取区间值， 来判定OK与NG， 进而和设定 的客户要求进 行对比， 符合全部 设定则通过并进 行下一步作业， 若其中一项未通过， 硅片会 进入NG口退 出运行状态。 [0010]优选的， 所述需要进行检查的硅片片盒重点配件部位包括蘑菇头、 把手、 滤芯、 旋 钮、 底托、 底托 孔和信息芯片。 [0011]优选的， 所述拍照抓图需要满足360度角度的旋转变化， 且环境达到洁净度相应的 标准为十级。说　明　书 1/3 页 3 CN 115406828 A 3