(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210942852.7 (22)申请日 2022.08.08 (71)申请人 苏州星帆华镭光电科技有限公司 地址 215636 江苏省苏州市张家港市大新 镇新创路星帆华镭 (72)发明人 岳文君　孙嵘　 (74)专利代理 机构 南京天华专利代理有限责任 公司 32218 专利代理师 张磊 (51)Int.Cl. G01N 21/71(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 一种对物体中的成分及其浓度进行探测的 方法 (57)摘要 本发明公开了一种对物体中的成分及其浓 度进行探测的方法， 其具体步骤为： 1)将待测样 品放置在样品台上， 由激光诱导击穿光谱仪对物 体进行非接触式无损探测； 2)探测时， 由旋转驱 动装置驱动样品台作均速圆周运动或者由平移 驱动装置驱动样品台作均速平移运动； 此时， 由 激光器产生激光， 经过聚焦透镜聚焦后、 自下而 上穿过样品台上的激光照射孔对待测样品进行 照射； 待测样品的被测表面在激光的照射下产生 等离子火花， 等离子火花信号经过信号耦合透镜 耦合至光纤光谱仪中， 通过分析光纤光谱仪接收 到的等离子火花信号就可得到物体中所含的成 分及其浓度。 本发明所述对物体中的成分及其浓 度进行探测的方法尤其适用于对镀层、 铝箔等厚 度较薄的样品的探测。 权利要求书2页 说明书4页 附图5页 CN 115389487 A 2022.11.25 CN 115389487 A 1.一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法， 该方法采用激光诱导击穿光谱仪对 物体进行非接触式无损探测， 所述的激光诱导击穿光谱仪包括： 壳体(109)、 以及设置在壳 体(109)中的激光器(101)、 光谱仪(103)、 聚焦透镜(104)和耦合透镜(105)， 壳体(109)上还 设置有与聚焦透镜(104)的焦距相配合的样品台(106)、 以及驱动 所述的样品台(106)作水 平圆周运动的旋转驱动装置(2)或者驱动所述的样 品台(106)沿着垂直于激光照射方向作 直线运动的平移驱动装置， 样品台(106)位于聚焦透镜(104)的上方， 样品台(106)上开设有 激光照射孔， 所述的壳体(109)和旋转驱动装置(2)上开设有与所述样 品台(106)上的激光 照射孔相对应的激光照射过孔； 所述对物体中的成分及其浓度进 行探测的方法的具体步骤 为： 1)将待测样品(108)放置在样品台(10 6)上； 2)探测时， 由旋转驱动装置(2)驱动样品台(106)作均速圆周运动或者由平移驱动装置 (3)驱动样品台(106)作均速平移运动； 此时， 由激光器(101)产生激光， 经过聚焦透镜(104) 聚焦后、 自下而上穿过样品台(106)上的激光照射孔对待测样品(108)进行照射； 待测样品 (108)的被测表面在激光的照射下产生等离子火花， 等离子火花信号经过信号耦合透镜 (105)耦合至光纤光谱仪(103)中， 通过分析光纤光谱仪(103)接收到的等离子火花信号就 可得到物体中所含的成分及其浓度。 2.如权利要求1所述的一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法， 其特征在于， 所 述激光器(101)为0.5 至1.55um波段的脉冲激光器， 激光器(101)能量大于 50uJ。 3.如权利要求1所述的一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法， 其特征在于， 所 述光谱仪(10 3)为光纤光谱仪 。 4.如权利要求1所述的一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法， 其特征在于， 所 述光谱仪(10 3)的波长范围在180nm至90 0nm之间。 5.如权利要求1所述的一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法， 其特征在于， 所 述的旋转驱动装置(2)包括： 设置在所述壳体(109)上的转接板(204)， 转接板(204)上通过 回转用轴承(202)活动设置有回转齿轮(208)， 所述的样品台(106)设置在回转齿轮(208) 上， 所述的壳体(109)上还设置有回转 驱动电机(206)， 回转 驱动电机(206)的驱动轴上设置 有与所述的回转齿轮(208)啮合的回转驱动齿轮(205)； 所述旋转驱动装置(2)上的激光照 射过孔包括： 分别开设在转接板(204)、 回转用轴承(202)和回转齿轮(208)上的激光照射过 孔。 6.如权利要求1所述的一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法， 其特征在于， 所 述的旋转驱动装置(2)采用蜗轮螺杆 结构。 7.如权利要求1所述的一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法， 其特征在于， 所 述的平移驱动装置为单齿型平移驱动装置(4)， 其结构包括： 设置在所述样 品台(106)一侧 的滑块(406)、 设置在所述壳体(109)上的滑动座(405)、 以及设置在所述样品台(106)另一 侧上的单齿条(402)， 所述的滑动座(405)上开设有与滑块(406)相配合的滑槽， 滑块(406) 滑动设置在所述滑动座(405)上的滑槽中， 壳体(109)上设置有平移驱动电机(404)， 平移驱 动电机(404)的驱动轴上设置有与所述的单齿条(402)啮合的平 移驱动齿轮(40 3)。 8.如权利要求1所述的一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法， 其特征在于， 所 述的平移驱动装置为双齿型平移驱动装置(5)， 其结构包括： 设置在所述样 品台(106)一侧权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115389487 A 2上的滑块(504)、 设置在所述的壳体(109)上的滑动座(505)、 以及设置在所述样品台(106) 另一侧上的双齿条(502)， 该双齿条(502)上开设有传动安置孔(5021)， 双齿条(502)在传动 安置孔(5021)相应的一对相对布置的槽壁上分别设置有传动齿(5022)； 所述的滑动座 (505)上开设有与滑块(504)相配合的滑槽， 滑块(504)滑动设置在所述滑动座(505)上的滑 槽中， 所述的壳体(109)上设置有平移驱动电机(506)， 平移驱动电机(506)的驱动轴上设置 有平移驱动转盘(503)， 平移驱动转盘(503)上沿周向局部设置有若干个与所述的传动齿 (5022)相配合的传动柱(5 031)。 9.如权利要求1至8中任一项所述的一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法， 其 特征在于， 所述的壳体(109)上设置有防护围挡， 该防护围挡将所述的旋转驱动装置(2)或 者平移驱动装置 围在其中、 或将所述的旋转驱动装置(2)或者平移驱动装置的相关部件围 在其中。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115389487 A 3