(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202211020301.1 (22)申请日 2022.08.24 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 115112681 A (43)申请公布日 2022.09.27 (73)专利权人 苏州弘皓光电科技有限公司 地址 215600 江苏省苏州市张家港市大新 镇新创路8号 (72)发明人 徐立君　王昊　董家昌　叶坚恒　 冯颖娜　张志新　郭艺姝　 (74)专利代理 机构 苏州市中南伟业知识产权代 理事务所(普通 合伙) 32257 专利代理师 殷海霞 (51)Int.Cl. G01N 21/956(2006.01)G01N 21/01(2006.01) (56)对比文件 CN 217276 049 U,202 2.08.23 CN 115026776 A,202 2.09.09 CN 213579171 U,2021.0 6.29 GB 9614073 D0,19 96.09.04 DE 1020131 13903 A1,2014.12.31 CN 114769779 A,202 2.07.22 CN 212364117 U,2021.01.15 CN 217007057 U,202 2.07.19 CN 112595498 A,2021.04.02 审查员 高世芝 (54)发明名称 一种应用 于芯片表面缺陷检测的自动扫描 检测装置 (57)摘要 本发明涉及检测设备的技术领域， 特别是涉 及一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检 测装置， 包括固定主轴， 所述固定主轴上转动安 装有转盘， 转盘圆周外壁上设置有多组翻转机 构， 并且多组翻转机构 的数量为奇数， 所述翻转 机构用于对芯片进行翻转， 所述固定主轴顶部安 装有顶板， 顶板上安装有激光检测仪； 通过使芯 片翻转并使设备能够连续对芯片进行检测处理， 可实现单一检测设备对芯片的双面检测工作， 有 效简化芯片检测方式， 节省人力和时间， 提高自 动化检测程度， 提高检测 效率， 实现芯片 的连续 检测方式， 同时避免人工翻转芯片时， 设备需频 繁开关机现象， 提高设备使用寿 命。 权利要求书2页 说明书7页 附图8页 CN 115112681 B 2022.11.18 CN 115112681 B 1.一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置， 其特征在于， 包括固定主轴 (1)， 所述固定主轴(1)上转动安装有转盘(2)， 转盘(2)圆周外壁上设置有多组翻转机构， 并 且多组翻转机构的数量为奇数， 所述翻转机构用于对芯片进 行翻转， 所述固定主轴(1)顶部 安装有顶板(3)， 顶板(3)上安装有激光检测仪(4)； 所述翻转机构包括安装在转盘(2)外壁上的弓形架(5)， 弓形架(5)内设置有支撑座 (6)， 支撑座(6)的前后外壁上均安装有支撑轴(7)， 支撑轴(7)的外端转动安装在弓形架(5) 内壁上， 支撑轴(7)中部设置有翻转轴(8)， 翻转轴(8)穿过支撑轴(7)并转动连接， 翻转轴 (8)的外端设置有夹持结构， 夹持结构用于对芯片进行夹持固定； 所述弓形架(5)内侧的翻转轴(8)外壁上转动安装有两个拨动轮(9)， 两个拨动轮(9)的 连线处于倾斜状态， 所述支撑座(6)外壁上安装有卡位结构， 卡位结构用于对翻转轴(8)进 行卡位处理； 还包括直角拨动杆(10)， 直角拨动杆(10)安装在固定主轴(1)的外壁上， 并且直角拨动 杆(10)远离 激光检测仪(4)。 2.根据权利要求1所述的一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置， 其特征 在于， 所述翻转轴(8)外壁上开设有环形槽， 环形槽的内壁由两个斜面(11)、 两个凹槽(12) 和两个弧面(13)组成， 并且弧面(13)的弧形半径逐渐减小； 所述卡位结构包括安装在支撑座(6)外壁上的支架(14)， 支架(14)外端安装有第一滑 套(15)， 第一滑套(15)内滑动套设有滑杆(16)， 第一滑套(15)外壁上安装有第一板簧(17)， 第一板簧(17)的外端与滑杆(16)的外壁连接， 滑杆(16)的底部滑动位于环形槽内。 3.根据权利要求2所述的一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置， 其特征 在于， 所述翻转轴(8)的前后两侧均设置有扣槽板(18)， 扣槽板(18)位于弓形架(5)的外侧， 扣槽板(18)的上下两侧均设置有导向板(19)， 导向板(19)朝向扣槽板(18)的表面开设有两 个滑槽(20)， 两个滑槽(20)之间距离保持一致， 滑槽(20)上远离翻转轴(8)的部 分设置为弧 形， 滑槽(20)上靠 近翻转轴(8)的部分 设置为直线型； 滑槽(20)内滑动设置有导向滑柱(21)， 导向滑柱(21)的外端安装在扣槽板(18)上， 导 向板(19)上安装有固定 板(22)， 固定板(22)固定在翻转轴(8)上； 所述支撑轴(7)上安装有气缸(23)， 气缸(23)的活动端安装有推板(24)， 翻转轴(8)的 外侧套设有推动环(25)， 推板(24)的外端安装在推动环(25)上， 推动环(25)上转动安装有 转动环(26)， 转动环(26)的外侧壁上转动安装有两个第一推拉臂(27)， 第一推拉臂(27)的 外端倾斜转动安装有第二推拉臂(28)， 第二推拉臂(28)的外端固定在扣槽板(18)的外壁 上。 4.根据权利要求3所述的一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置， 其特征 在于， 所述翻转轴(8)的外侧壁上安装有多个第二滑套(29)， 第二滑套(29)内滑动设置有弧 形滑板(30)， 弧形滑板(30)的一端位于扣槽板(18)的外侧， 弧形滑板(30)的另一端滑动插 入扣槽板(18)内， 扣槽 板(18)内的弧形滑板(3 0)端部设置为锥形； 弧形滑板(30)上安装有第二板簧(31)和限位板(32)， 第二板簧(31)的外端固定在第二 滑套(29)上， 限位板(32)与第二滑套(2 9)的侧壁接触。 5.根据权利要求4所述的一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置， 其特征 在于， 所述转盘(2)底部转动设置有固定盘， 固定盘安装在固定主轴(1)上， 固定盘底部开设权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115112681 B 2有环形导向槽(33)， 环形导向槽(33)的后侧设置为外凸状态， 环形导 向槽(33)内滑动设置 有多个推柱(34)， 推柱(34)的外端安装有移动座(35)， 移动座(35)上转动安装有两个第三 推拉臂(36)， 第三推拉臂(36)倾斜， 第三推拉臂(36)的外端倾斜转动安装有第四推拉臂 (37)， 弓形架(5)内侧壁上安装有 弧形滑轨(38)， 弧形滑轨(38)上滑动设置有滑块(39)， 第 四推拉臂(37)的外端转动安装在滑块(39)的侧壁上， 滑块(39)上安装有连接板(40)， 连接 板(40)的外端安装在翻转轴(8)的端部； 所述弓形架(5)底部倾斜转动安装有转动板(41)， 转动板(41)底部转动安装有两个第 三滑套(42)， 第三滑套(42)滑动套装在第三推拉臂(36)上， 第三滑套(42)底部安装有第三 板簧(43)， 第三板簧(43)的外端安装在第三推拉臂(3 6)外壁上。 6.根据权利要求5所述的一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置， 其特征 在于， 所述顶板(3)上滑动设置有推块(44)， 推块(44)上转动设置有两个斜板(45)， 两个斜 板(45)平行， 顶板(3)上设置有两个调节板(46)， 两个调节板(46)穿过顶板(3)并滑动连接， 两个调节板(46)底部与激光检测仪(4)顶部连接， 斜板(45)的外端转动安装在两个调节板 (46)之间侧壁上； 所述顶板(3)上安装有第一电机(47)， 第一电机(47)的输出端设置有螺纹杆(48)， 螺纹 杆(48)穿过推块(4 4)并螺装连接 。 7.根据权利要求6所述的一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置， 其特征 在于， 固定主轴(1)外壁上安装有第二电机(49)， 第二电机(49)的输出端设置有齿轮(50)， 转盘(2)顶部安装有 齿环(51)， 齿轮(5 0)与齿环(51)啮合连接 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115112681 B 3