(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222200073.8 (22)申请日 2022.08.21 (73)专利权人 浙江奥首 材料科技有限公司 地址 324012 浙江省衢州市杜鹃路3 6号 (72)发明人 侯军　褚雨露　张楠　贺剑锋　 李传友　 (74)专利代理 机构 青岛众誉 专利代理事务所 (特殊普通 合伙) 3741 1 专利代理师 郎宁 (51)Int.Cl. B65G 47/248(2006.01) B65G 47/90(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于晶圆清洗的夹持翻转装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种用 于晶圆清洗的夹 持翻转装置， 属于半导体清洗辅助设备技术领 域， 包括转动安装于清洗箱 体上且由伺服电机驱 动的回转管， 所述回转管内沿轴向滑动安装有由 第一气缸驱动的滑座， 所述滑 座上安装有菱形的 四连杆机构， 所述四连杆机构 包括依次铰接的第 一连杆、 第二连杆、 第三连杆和第四连杆， 所述第 一连杆和第四连杆的铰接点铰接于所述滑座上， 所述滑座上安装有第二气缸， 所述第二连杆和第 三连杆的铰接点连接所述第二气缸的活塞杆， 所 述第二连杆和第三连杆均设有延伸出铰接点的 延伸部， 所述延伸部的端部设有钳夹部。 本实用 新型解决了清洗过程中晶圆翻转效率低的技术 问题， 广泛应用于晶圆保护涂层清洗中。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 218173750 U 2022.12.30 CN 218173750 U 1.一种用于晶圆清洗的夹持翻转装置， 其特征在于， 包括转动安装于清洗箱体上且由 伺服电机驱动的回转管， 所述回转管一端伸入所述清洗箱体， 所述回转管内沿轴向滑动安 装有由第一气缸驱动的滑座， 所述滑座上远离所述第一气缸的一侧安装有菱形的四连杆机 构， 所述四连杆机构包括依次铰接的第一连杆、 第二连杆、 第三连杆和第四连杆， 所述第一 连杆和第四连杆的铰接点铰接于所述滑座上， 所述滑座上安装有第二气缸， 所述第二连杆 和第三连杆的铰接点连接所述第二气缸的活塞杆， 所述第二连杆和第三连杆均设有延伸出 铰接点的延伸部， 所述延伸部的端部设有钳夹 部。 2.根据权利要求1所述的用于晶圆清洗的夹持翻转装置， 其特征在于， 所述 回转管上设 有限定所述第一气缸最大 行程的限位元件。 3.根据权利要求1或2所述的用于晶圆清洗的夹持翻转装置， 其特征在于， 所述四连杆 机构上设有沿所述回转管径向设置的压缩弹簧。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218173750 U 2一种用于晶圆清洗的夹持翻转装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于半导体清洗辅助设备技术领域， 尤其涉及一种用于晶圆清洗的夹 持翻转装置 。 背景技术 [0002]在半导体封装工艺流程中， 晶圆临时保护涂层的清洗是非常关键的步骤， 切割完 成后， 对晶圆临 时保护涂层的清洗效果， 直接影响后道工序的良率， 如出现晶圆的临 时保护 涂层清洗未能完全清洗 干净的情况， 会导 致后道工艺效率大 大降低。 [0003]在清洗工艺中， 晶圆通常通过吸盘固定在回转盘上， 回转盘由动力机构带动， 能够 升降且可以自转， 清洗时使用喷淋管对晶圆表面进 行喷淋， 喷淋完成后需要将晶圆翻转， 再 对另一个表面进行喷淋。 因为回转盘具有升降运动轨迹， 难以在清洗箱体内设置机械翻转 机构， 只能通过 人工完成晶圆翻转， 操作者劳动量大， 且效率低。 [0004]因此， 在半导体清洗设备技术领域中， 对于用于 晶圆清洗 的夹持翻转装置仍存在 研究和改进的需求， 这也是目前半导体清洗设备技术领域中的一个研究热点和重点， 更是 本实用新型 得以完成的出发点。 实用新型内容 [0005]为此， 本实用新型所要解决的技术问题是： 提供一种用于 晶圆清洗 的夹持翻转装 置， 以解决清洗过程中晶圆翻转效率低的技 术问题。 [0006]为解决上述技术问题， 本实用新型的技术方案是： 一种用于 晶圆清洗 的夹持翻转 装置， 包括转动安装于清洗箱体上且由伺服电机驱动的回转管， 所述回转管一端伸入所述 清洗箱体， 所述回转管内沿轴向滑动安装有由第一气缸驱动的滑座， 所述滑座上远离所述 第一气缸 的一侧安装有菱形 的四连杆机构， 所述四连杆机构包括依 次铰接的第一连杆、 第 二连杆、 第三连杆和 第四连杆， 所述第一连杆和 第四连杆的铰接点铰接于所述滑座上， 所述 滑座上安装有第二气缸， 所述第二连杆和第三连杆 的铰接点连接所述第二气缸 的活塞杆， 所述第二连 杆和第三连 杆均设有延伸出铰接点的延伸部， 所述延伸部的端部设有钳夹 部。 [0007]作为一种改进， 所述回转管 上设有限定所述第一气缸最大 行程的限位元件。 [0008]作为进一 步的改进， 所述四连 杆机构上设有沿所述回转管径向设置的压缩弹簧。 [0009]采用了上述 技术方案后， 本实用新型的有益效果是： [0010](1)本实用新型实施例清洗箱体上设置了回转管， 回转管内设有菱形的四连杆机 构， 且在四连杆机构上设有钳夹部， 不仅能够实现晶圆的自动夹持翻转， 而且在第一气缸的 作用下， 钳夹部还可以避 让开回转盘的升降轨迹， 避免了干涉回转盘升降， 取代了人工翻转 晶圆， 进一 步提高了晶圆的生产效率。 [0011](2)本实用新型实施例设置了限位元件， 限定了第一气缸活塞杆伸出的最大位置， 在该位置第二气缸推动四连杆机构时， 第二气缸 的作用力作用在限位元件上， 而不是作用 在第一气缸的活塞上， 因此保护了第一气缸的活塞， 延长 了第一气缸的使用寿命。说　明　书 1/3 页 3 CN 218173750 U 3