(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222485704.5 (22)申请日 2022.09.20 (73)专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司 地址 中国台湾新竹市 专利权人 台积电 （中国） 有限公司 (72)发明人 陈定操　裴达飞　蒋孝恩　王崇林　 (74)专利代理 机构 北京东方亿 思知识产权代理 有限责任公司 1 1258 专利代理师 吕倩茹 (51)Int.Cl. B65G 47/90(2006.01) (54)实用新型名称 夹持装置、 机 械手以及机 械装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种夹持装置、 机械手以及 机械装置， 用于夹持晶盒以及晶舟中的至少一 者， 夹持装置包括承载件和夹持组件， 承载件具 有预定的长度、 宽度以及厚度， 夹持组件设置于 承载件上， 夹持组件包括在承 载件的长度方向成 对设置并相对分布的夹持件， 每个夹持件与承 载 件相连接， 其中， 夹持件包括相交设置的第一夹 持部以及第二夹持部， 第一夹持部上设置有沿长 度方向凹陷设置的第一凹槽， 第二夹持部设置有 沿承载件的厚度方向凹陷设置的第二凹槽， 成对 设置的夹持件的第一凹槽相对分布并共同夹持 晶盒， 成对设置的夹持件的第二凹槽相对分布并 共同夹持晶舟。 本方案能够完成对晶盒或晶舟的 夹持， 提高了搬运效率。 权利要求书1页 说明书7页 附图2页 CN 218057425 U 2022.12.16 CN 218057425 U 1.一种夹持装置， 用于夹持晶盒以及晶舟中的至少一者， 其特征在于， 所述夹持装置包 括： 承载件， 所述承载件具有预定的长度、 宽度以及厚度； 夹持组件， 设置于所述承载件上， 所述夹持组件包括在所述承载件的长度方向成对设 置并相对分布的夹持件， 每 个所述夹持件与所述承载件相连接； 其中， 所述夹持件包括相交设置的第一夹持部以及第二夹持部， 所述第一夹持部上设 置有沿所述长度方向凹陷设置的第一凹槽， 所述第二夹持部设置有沿所述承载件的厚度方 向凹陷设置的第二凹槽， 成对设置的所述夹持件的所述第一凹槽相对分布并共同夹持所述 晶盒， 成对设置的所述夹持件的所述第二凹槽相对分布并共同夹持所述晶舟。 2.根据权利要求1所述的夹持装置， 其特征在于， 所述夹持组件设置于所述承载件在所 述长度方向上的两端， 所述第一夹持部与所述第二夹持部垂直连接 。 3.根据权利要求1所述的夹持装置， 其特征在于， 成对设置的所述夹持件的所述第 一凹 槽在所述长度方向上对称分布， 成对设置的所述夹持件的所述第二凹槽在所述长度方向上 对称分布。 4.根据权利要求1所述的夹持装置， 其特征在于， 所述第一夹持部包括第一基体， 所述 第二夹持部包括第二基体， 所述第一基体与所述第二基体连接， 所述第二基体远离所述第 一基体的一端至少部分凸出设置以形成连接部， 所述夹持装置通过所述连接部与待安装设 备连接。 5.根据权利要求4所述的夹持装置， 其特征在于， 所述第一夹持部包括第一固定件， 所 述第二夹持部包括第二固定件， 所述第二固定件设置于所述第二基体上且抵接于所述第一 基体， 所述第一固定件设置于所述第一基体上且与所述第二固定件间隔分布， 所述第一固 定件和所述第二固定件之间形成所述第一凹槽 。 6.根据权利要求5所述的夹持装置， 其特征在于， 所述第 二固定件远离所述第 一基体的 一端与所述第二基 体形成段差结构， 所述段差结构为所述第二凹槽 。 7.根据权利要求4所述的夹持装置， 其特征在于， 所述连接部包括第 一连接部和第 二连 接部， 所述第一连接 部和第二连接 部在所述承载件的宽度方向上间隔排布。 8.根据权利要求1所述的夹持装置， 其特征在于， 所述夹持装置还包括测量件， 所述测 量件设置于所述第一凹槽内并沿所述长度方向凸出于所述第一凹槽的底壁面设置， 所述测 量件能够在所述长度方向上伸缩， 所述测量件被配置为检测所述夹持组件作用于所述晶盒 的压力。 9.一种机 械手， 其特 征在于， 包括如权利要求1至8任一项所述的夹持装置 。 10.一种机 械装置， 其特 征在于， 包括如权利要求9所述的机 械手。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218057425 U 2夹持装置、 机械手以及机械装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及半导体制造技术领域， 特别是涉及一种夹持装置、 机械手以及机 械装置。 背景技术 [0002]在半导体产业的制造工厂中需要生产并处理大量的晶圆， 通常将大量的晶圆放置 于晶舟中排布， 再将其 放置于晶盒中， 因此需要对晶盒 或晶舟进行 搬运等操作。 [0003]在半导体制造工厂中， 通常是操作人员人工搬运， 在一些自动化水平较高的工厂 中， 可利用机械臂实现对晶盒或晶舟的自动化搬运， 从而节省了人工 劳动力， 提高了搬运效 率。 [0004]然而， 市面上的抓取装置对于 晶盒或晶舟的抓取只能兼容一种， 如果 同时抓取则 需要更换机构， 不仅提高了机构的选取成本， 而且 更加费时费力， 影响搬运效率， 因此， 亟需 一种新型的装置 。 实用新型内容 [0005]本实用新型实施例提供一种夹持装置、 机械手以及机械装置， 能够完成对晶盒或 晶舟的夹持， 提高了搬运效率。 [0006]一方面， 根据本实用新型实施例提出了一种夹持装置， 用于夹持晶盒以及晶舟中 的至少一者， 夹持装置包括承载件和夹持组件， 承载件具有预定的长度、 宽度以及厚度， 夹 持组件设置于承载件上， 夹持组件包括在承载件的长度方向成对设置并相对分布的夹持 件， 每个夹持件与承载件相连接， 其中， 夹持件包括相交设置的第一夹持部以及第二夹持 部， 第一夹持部上设置有沿长度方向凹陷设置的第一凹槽， 第二夹持部设置有沿承载件的 厚度方向凹陷设置的第二凹槽， 成对设置的夹持件的第一凹槽相对分布并共同夹持晶盒， 成对设置的夹持件的第二凹槽相对分布并共同夹持晶舟。 [0007]根据本实用新型实施例的一个方面， 夹持组件设置于承载件在长度方向上的两 端， 第一夹持部与第二夹持部垂直连接 。 [0008]根据本实用新型实施例的一个方面， 成对设置的夹持件的第一凹槽在长度方向上 对称分布， 成对设置的夹持件的第二凹槽在长度方向上对称分布。 [0009]根据本实用新型实施例的一个方面， 第一夹持部包括第一基体， 第二夹持部包括 第二基体， 第一基体与第二基体连接， 第二基体远离第一基体的一端至少 部分凸出设置以 形成连接 部， 夹持装置通过 连接部与待安装设备 连接。 [0010]根据本实用新型实施例的一个方面， 第一夹持部包括第一固定件， 第二夹持部包 括第二固定件， 第二固定件设置于第二基体上且抵接于第一基体， 第一固定件设置于第一 基体上且与第二固定件间隔分布， 第一固定件和第二固定件之间形成第一凹槽 。 [0011]根据本实用新型实施例的一个方面， 第二固定件远离第一基体的一端与第二基体 形成段差结构， 段差结构为第二凹槽 。说　明　书 1/7 页 3 CN 218057425 U 3