(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222474406.6 (22)申请日 2022.09.19 (73)专利权人 上海集成电路装备 材料产业创新 中心有限公司 地址 201800 上海市嘉定区叶城路128 8号6 幢JT2216室 专利权人 上海集成电路研发中心有限公司 (72)发明人 段宇辉　孟杰　洪冲　 (74)专利代理 机构 上海恒锐佳知识产权代理事 务所(普通 合伙) 31286 专利代理师 吴浩 (51)Int.Cl. B65G 47/90(2006.01) B65G 43/00(2006.01) H01L 21/677(2006.01)H01L 21/67(2006.01) H01L 21/687(2006.01) (54)实用新型名称 机械手调试模组和负载端口调试 单元 (57)摘要 本实用新型提供了一种机械手调试模组和 负载端口调试单元。 该机械手调试模组包括： 基 板和至少一个运动组件； 所述运动组件包括移动 标尺和传动部件； 所述传动部件的至少一部分与 所述移动标尺连接， 所述传动部件用于牵引所述 移动标尺运动； 所述基板设有导轨部； 所述导轨 部与所述移动标尺一一对应设置； 所述移动标尺 垂直设置于所述导轨部， 且与所述导轨部滑动连 接； 所述基板设有水平刻度线， 所述水平刻度线 位于所述导轨部的边缘； 当所述移动标尺与待测 量的机械手贴合时， 所述移动标尺用于配合所述 水平刻度线测量所述机械手相对于所述基板的 位置。 该模组用于测量半导体设备的机械手位 置。 权利要求书2页 说明书7页 附图9页 CN 218114235 U 2022.12.23 CN 218114235 U 1.一种机 械手调试模组， 其特 征在于， 包括： 基板和至少一个运动组件； 所述基板设有导轨 部； 所述运动组件包括移动标尺和传动部件， 所述移动标尺与所述导轨部一一对应设置且 与对应的所述 导轨部滑动连接； 所述传动部件的至少一部分与所述移动标尺连接， 所述传动部件用于牵引所述移动标 尺沿所述 导轨部运动； 所述基板设有水平刻度线， 所述水平刻度线位于所述导轨部的边缘沿所述导轨部的延 伸方向设置； 当所述移动标尺沿所述导轨部运动至与待测量的机械手贴合 时， 所述移动标尺用于配 合所述水平刻度线测量所述机 械手相对于所述基板的位置 。 2.根据权利要求1所述的模组， 其特征在于， 所述传动部件包括齿轮和齿条； 所述齿条 与所述移动标尺固定连接； 所述齿轮与所述基板转动连接； 所述齿轮与所述齿 条相啮合； 当 所述齿轮转动时， 所述齿条与所述移动标尺水平运动。 3.根据权利要求1所述的模组， 其特 征在于， 所述 运动组件 还包括弹性部件； 所述弹性部件连接所述移动标尺或所述传动部件， 当所述弹性部件作用于所述移动标 尺或所述传动部件， 用于使所述移动标尺复位移动至所述基板的边 缘处。 4.根据权利要求1所述的模组， 其特 征在于， 所述 导轨部和所述 运动组件的数量均为3； 所述导轨部呈槽状设置； 1个所述导轨部的延伸方向与另外2个所述 导轨部的延伸方向互相垂直。 5.根据权利要求1所述的模组， 其特 征在于， 所述移动标尺的一侧设有竖直刻度线； 所述竖直刻度线用于指示所述机 械手在相对于所述基板的竖直方向的位置 。 6.根据权利要求1所述的模组， 其特征在于， 所述传动部件连接有转柄； 所述转柄远离 所述传动部件的一侧凸出于所述基板的外端面。 7.根据权利要求6所述的模组， 其特征在于， 所述基板的边缘设有 防护壳； 防护壳由透 明板制成； 所述防护壳开设有窗口， 所述窗口连通所述 转柄的转动空间。 8.一种负载端口调试单元， 包括负载端口和所述权利要求1至6中任一项所述的机械手 调试模组， 其特征在于， 所述负载端口设于所述基板的底侧； 所述机械手调试模组的基板与 所述负载端口之间通过定位组件配合连接； 所述基板与所述负载端口之间还设有传感模块； 所述传感模块用于检测所述定位组件是否满足互锁状态； 当所述定位组件 满足互锁状态时， 所述传感模块用于许 可执行测量步骤。 9.根据权利要求8所述的单元， 其特征在于， 所述定位组件包括3个定位块和3个定位 柱； 所述定位 块设于所述基板的底侧； 所述定位柱设于所述负载端口 的顶侧。 10.根据权利要求9所述的单元， 其特征在于， 所述3个定位柱中包括1个主轴定位柱和 2 个边缘定位柱； 所述3个定位 块中的1块 开设有定位 孔， 所述定位 孔用于与所述主轴定位柱配合； 当所述定位孔与所述主轴定位柱配合 时， 所述基板在受力时只沿所述主轴定位柱的轴 向移动以及径向旋转；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 218114235 U 2当所述边缘定位柱与 未开设定位孔的所述定位块一一对应卡合 时， 所述基板在受力时 只沿所述主轴定位柱的轴向移动。 11.根据权利要求10所述的单元， 其特征在于， 所述传感模块与 所述定位柱一一对应设 置； 所述传感模块设于所述负载端口 的顶侧； 当所述边缘定位柱与 未开设定位孔的所述定位块一一对应卡合 时， 所述基板连接的所 有定位块均作用于其对应的传感模块。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 218114235 U 3