(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210658534.8 (22)申请日 2022.06.12 (71)申请人 上海轩田工业设备有限公司 地址 201109 上海市闵行区瓶 安路1259号 4 幢2层 (72)发明人 陈远明　李钰　皮言午　 (51)Int.Cl. G06Q 50/04(2012.01) G06F 16/22(2019.01) G06F 16/245(2019.01) G06F 16/28(2019.01) G06F 9/451(2018.01) (54)发明名称 工艺腔体Recipe管理系统及半导体设备控 制方法 (57)摘要 本申请公开了工艺腔体Recipe管理系统及 半导体设备控制方法， 半导体设备控制方法包 括： 将每个Recipe的Chamber信息保存在工艺腔 体Recipe管理系统 中； 用户在工艺腔体Recipe管 理系统中对设备模组、 设备类型、 机台Recipe以 及Chamber进行编辑； EAP获取MES中的Recipe并 与工艺腔体Recipe管理系统中编辑过的Recipe 取交集； EAP从机台中获取 Recipe列表， 并判断取 完交集后的Recipe是否存在于Recipe列表中， 若 存在， 允许机台生产， 否则机台停 止生产。 本申请 安全且方便地实现了对Recipe  Chamber的管控， 提升了产线的管理效率。 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 CN 115082253 A 2022.09.20 CN 115082253 A 1.工艺腔体Recipe 管理系统， 其特 征在于， 包括： 设备模组管理模块， 用于对Recipe所需的模组进行编辑， 包括新增模组、 修改模组和删 除模组； 设备类型管理模块， 用于自定义编辑机台的设备类型， 每个设备类型与其所属的模组 相关联； 设备信息管理模块， 用于自定义编辑机台信 息， 包括机台对应的设备类型， 机台所包括 的Chamber； 机台主界面信息管理模块， 用于针对于每一个机台的每一个Recip e进行Chamber编辑， 选择可用的Chamber。 2.根据权利 要求1所述的工艺腔体Recip e管理系统， 其特征在于， 所述工艺腔体Recip e 管理系统还 包括： 人员管理模块， 用于对用户进行新增或删除操作； 权限管理模块， 用于对用户的操作权限进行设置 。 3.根据权利 要求1所述的工艺腔体Recipe管理系统， 其特征在于， 所述机台主界面信息 管理模块还 包括： 启用编辑单 元， 被配置为勾选启用编辑控 件后， 响应用户的Recipe编辑操作； 删除单元， 被配置为响应用户将某个Recipe配置数据进行删除的操作； 导出单元， 被配置为响应用户将机台数据进行导出的操作； 导入单元， 被配置为响应用户将指定的机台数据导入数据库的操作； 查询单元， 被配置为响应用户对Recipe列表或设备组类型进行查询的操作； Chamber编辑单元， 被配置为响应用户将指定Recipe的可用Chamber进行选择并保存至 数据库的操作。 4.根据权利 要求1所述的工艺腔体Recip e管理系统， 其特征在于， 所述工艺腔体Recip e 管理系统采用传统C /S架构， 数据库采用SQ LServer数据库。 5.一种半导体设备控制方法， 其特 征在于， 包括： 在用户终端安装如权利要求1～4任一项所述的工艺腔体Recipe 管理系统； 结合设备类型及产品工艺， 将每个机台的每个Recipe的Chamber信息保存在所述工艺 腔体Recipe 管理系统中； 用户在工艺腔体Recipe管理系统中编辑设备模组信息、 设备类型信息、 机台Recipe以 及Chamber信息； EAP在进行Recipe校验时， 获取MES中的Recipe， 并与所述工艺腔体Recipe管理系统中 编辑过的Recipe 取交集； EAP从机台中获取Recipe列表， 并判断上述步骤取完交集后所得到的Recipe是否存在 于该Recipe列表中， 如果存在， 则允许机台按照取完交集后所得到的Recipe进行生产， 否 则， 机台停止生产。 6.一种半导体设备控制系统， 其特 征在于， 包括： 第一获取模块， 用于获取M ES中的Recipe， 记作第一Recipe； 第二获取模块， 用于获取如权利 要求1～4任一项所述的工艺腔体Recipe管理系统中被 编辑过的Recipe， 记作第二Recipe；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115082253 A 2计算模块， 用于将第一Recipe与第二Recipe 取交集， 得到第三Recipe； 第三获取模块， 用于获取机台的Recipe列表； 判断模块， 用于判断所述计算模块得到的第三Recipe是否存在于第三获取模块获取的 Recipe列表中， 得到判断结果； 控制模块， 用于根据判断模块获得的判断结果来控制机台的生产状态： 当第三Recipe 存在于所述Recipe列表， 则控制机台按照第三Recipe进行生产， 当第三Recipe不存在于所 述Recipe列表， 则控制机台停止生产。 7.一种计算机可读存储介质， 所述计算机可读存储介质中存储有计算机程序或代码 集， 其特征在于， 所述计算机程序或所述代码集被处理器执行时实现如权利要求5所述的半 导体设备控制方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115082253 A 3