(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212327 7214.8 (22)申请日 2021.12.24 (73)专利权人 河南亚盛电气科技有限公司 地址 450000 河南省郑州市管城回族区港 湾路2号1号楼10层14 4号 (72)发明人 郭爱民　赵绍豫　方建义　陈清伦　 孙恒　 (74)专利代理 机构 河南豫龙律师事务所 41 177 专利代理师 刘广学 (51)Int.Cl. G01N 3/08(2006.01) G01N 3/26(2006.01) G01N 3/02(2006.01) (54)实用新型名称 半导体晶体生长用钨丝绳校验设备 (57)摘要 本实用新型属于半导体生产设备校验工具 设备领域， 尤其涉及一种模拟使用情况的半导体 晶体生长用 钨丝绳校验设备， 包括机架， 机架上 设置有旋转动力机构和回转轴， 回转轴 与机架之 间可转动的相连接， 回转轴的上部设置有旋转 板， 旋转动力机构带动回转轴转动， 旋转板上设 置有轴承， 轴承之间架设有回转花键轴， 回转花 键轴的一端设置有花键轴转动动力机构， 回转花 键轴上套装有花键套和绕线筒， 绕线筒与花键套 之间固定连接， 旋转板上还设置有直线运动机 构， 直线运动机构 的一端设置有推板， 推板能够 带动绕线筒沿着花键轴的轴线做 直线运动。 本装 置模拟了钨丝绳工作的情景， 使得钨丝绳的检 验、 验收过程更加可靠 。 权利要求书1页 说明书4页 附图6页 CN 217084464 U 2022.07.29 CN 217084464 U 1.一种半导体晶体生长用钨丝绳校验设备， 其特征在于： 包括机架， 所述机架上设置有 旋转动力机构和回转轴， 所述回转轴与机架之间可转动的相连接， 回转轴的上部设置有旋 转板， 旋转动力机构带动回转轴转动； 所述旋转板上设置有轴承， 轴承之间架设有回转花键轴， 所述回转花键轴的一端设置 有花键轴转动动力机构， 所述回转花键轴 上套装有花键套和绕线筒， 所述绕线筒与花键套 之间固定连接； 所述旋转板上还设置有直线运动机构， 所述直线运动机构的一端设置有推板， 所述推 板能够带动绕线 筒沿着花键轴的轴线做直线运动。 2.根据权利要求1所述的半导体晶体生长用钨丝绳校验设备， 其特征在于： 所述回转轴 的中心设置有轴向方向的通 孔。 3.根据权利要求2所述的半导体晶体生长用钨丝绳校验设备， 其特征在于： 所述通孔内 设置有中心套。 4.根据权利要求2所述的半导体晶体生长用钨丝绳校验设备， 其特征在于： 所述回转花 键轴上套设有轴承， 轴承的一侧与推板固定连接， 轴承的另一侧与花键套和/或 绕线筒相连 接。 5.根据权利要求2所述的半导体晶体生长用钨丝绳校验设备， 其特征在于： 所述推板的 头部为拨叉， 绕线筒的外圆上设置有 拨叉环槽， 所述拨叉设置在拨叉环槽内， 拨叉不与拨叉 环槽固定连接 。 6.根据权利 要求2、 3、 4或5中任意一项所述的半导体晶体生长用钨丝绳校验设备， 其 特征在于： 所述直线运动机构为滚珠丝杠， 滚珠丝杠通过轴承架设到旋转板的板面上， 滚珠 丝杠的一端通过传动机构与回转花键轴传动连接， 滚珠丝杠上设置有丝杠螺母， 所述丝杠 螺母与推板固定连接 。 7.根据权利 要求2、 3、 4或5中任意一项所述的半导体晶体生长用钨丝绳校验设备， 其 特征在于： 所述 直线运动机构为固定在旋转板的板面上的电动推杆或者 直线气缸。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217084464 U 2半导体晶体生长用钨丝绳校验设 备 技术领域 [0001]本实用新型属于半导体生产设备校验工具设备领域， 尤其涉及 一种模拟使用情况 的半导体晶体生长用钨丝绳校验设备。 背景技术 [0002]硅的单晶体， 又称单晶硅， 是一种良好的半导材料， 用于制造半导体器件、 太阳能 电池、 芯片等， 是现在社会重要的工业 生产原料。 [0003]单晶硅是用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成， 加工过程大致: [0004]1、 石头加工:把石头加热， 变成液态， 在加热变成气态， 把气体通过一个密封的大 箱了， 箱子里有N多的子晶加热， 两头用石墨夹住的， 气休通过这个箱子， 子晶会把气 体中的 一种吸符到 子晶上， 子晶慢 慢就变粗了， 最后箱子里有就很多长 长的原生多品硅 。 [0005]2、 酸洗:原生多晶有了， 开始酸洗， 用酸将原生多晶外面的东西洗干净了， 然后烘 房烘干， 得到多晶硅 。 [0006]3、 拉晶： 拉晶就是用拉晶炉把多晶硅加热融化， 在用子晶向上拉引， 工人先把多晶 硅放进石英锅里， 关上炉子加热， 石英锅的融点1700度， 硅的融点才1410度左右， 融化了硅 以后石英锅慢慢转起来， 子晶从上面下降， 点到锅的中心液面点， 也慢慢反方向转， 锅下面 同时在电加热， 液面上加冷， 子晶点到液面上就会出现一个光点， 慢慢旋转， 向上拉引， 放 肩， 转肩， 正常拉棒， 收尾， 一天半左右， 一个单晶棒 就出来了 。 [0007]4、 切方： 单晶棒有了就切方， 单晶棒一般是做6英寸的， P型， 电阻率0.5 ‑6欧姆， 切 掉棒子四边， 做成有倒角的正方 形。 [0008]在上述拉晶的生产过程中， “在用子晶向上拉引 ”这个过程中， 就需要用钨丝绳在 高温下牵引子晶， 钨丝绳在牵引时， 在竖直方向上做提升运动， 同时绕着其自身轴线做旋转 运动， 因此钨丝绳是生产过程一个必不可少的物资。 现在， 生产厂家对钨丝绳的质量检验主 要是模拟拉伸的单一动作， 并没有将旋转这一动作考虑 进去， 因此， 就需要一种设备能够模 拟钨丝绳工作时的完整动作来检验钨丝绳。 发明内容 [0009]本实用新型的目的在于克服现有技术的不足而发明的一种模拟使用情况的半导 体晶体生长用钨丝绳校验设备。 [0010]本实用新型是这样实现的： 一种半导体晶体生长用钨丝绳 校验设备， 其特征在于： 包括机架， 所述机架上设置有旋转动力机构和回转轴， 所述回转轴与机架之间可转动的相 连接， 回转轴的上部设置有旋转板， 旋转动力机构带动回转轴转动。 [0011]所述旋转板上设置有轴承， 轴承之间架设有回转花键轴， 所述回转花键轴的一端 设置有花键轴转动动力机构， 所述回转花键轴 上套装有花键套和绕线筒， 所述绕线筒与花 键套之间固定连接 。 [0012]所述旋转板上还设置有直线运动机构， 所述直线运动机构的一端设置有推板， 所说　明　书 1/4 页 3 CN 217084464 U 3