(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211076533.9 (22)申请日 2022.09.05 (71)申请人 宁波润华全芯微电子设备有限公司 地址 315400 浙江省宁波市余 姚市阳明街 道新桥村村委东首 (72)发明人 耿克涛　姜岩松　刘长伟　 (74)专利代理 机构 浙江中桓凯通专利代理有限 公司 33376 专利代理师 刘潇 (51)Int.Cl. B08B 9/093(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/027(2006.01) G03F 7/16(2006.01) (54)发明名称 一种旋涂废液收集杯清洗 盘及旋涂装置 (57)摘要 本发明公开了一种旋涂废液收集杯清洗盘 及旋涂装置， 旋涂废液收集杯内设有晶圆承 载座 以及设于晶圆承 载座周侧的清洗液喷座， 旋涂废 液收集杯在 清洗前， 旋涂废液收集杯清洗盘替换 晶圆并设于晶圆承载座； 旋涂废液收集杯清洗盘 包括： 清洗盘底座， 清洗盘底座设于晶圆承载座 并覆盖晶圆承载座的顶面； 挡液组件， 挡液组件 围绕清洗盘底座， 挡液组件上设置有缓冲槽， 缓 冲槽设置在靠近清洗液喷座的一侧， 且缓冲槽围 绕清洗盘底 座设置， 挡液组件开 设有连通缓冲槽 的出液口， 出液口朝向旋涂废液收集杯。 本发明 有效解决旋涂工艺中多余的光刻胶和显影液飞 溅至旋涂废液收集杯内， 不便 于清理的问题。 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 CN 115228864 A 2022.10.25 CN 115228864 A 1.一种旋涂废液收集杯清洗盘， 其特征在于， 所述旋涂废液收集杯内设有晶圆承载座 以及设于所述晶圆承载座周侧的清洗液喷座， 所述旋涂废液收集杯在清洗前， 所述旋涂废 液收集杯清洗盘替换晶圆并设于所述晶圆承载座； 所述旋涂废液收集杯清洗盘包括： 清洗盘底座， 所述清洗盘底座设于所述晶圆承载座并覆盖所述晶圆承载座的顶面； 挡液组件， 所述挡液组件围绕所述清洗盘底座， 所述挡液组件上设置有缓冲槽， 所述缓 冲槽设置在靠近所述清洗液喷座的一侧， 且所述缓冲槽 围绕所述清洗盘底座设置， 所述挡 液组件开设有连通所述缓冲槽的出 液口， 所述出 液口朝向所述旋 涂废液收集杯的内壁。 2.根据权利要求1所述的旋 涂废液收集杯清洗盘， 其特 征在于， 所述挡液组件 包括： 第一挡板； 连接板， 所述连接 板连接所述第一挡板和所述清洗盘底座； 第二挡板， 所述第二挡板设置 于所述第一挡板， 且位于远离所述连接 板的一侧； 其中， 所述第二挡板、 所述第一挡板和所述连接 板之间形成所述缓冲槽 。 3.根据权利要求2所述的旋 涂废液收集杯清洗盘， 其特 征在于， 所述挡液组件 还包括： 导向板， 所述 导向板设置 于所述第一挡板远离所述挡液槽的一侧； 其中， 所述导向板相对所述第一挡板倾斜， 所述出液口位于所述导向板和所述第一挡 板之间。 4.根据权利要求3所述的旋涂废液收集杯清洗盘， 其特征在于， 多个导向板周向分布于 所述第一挡板远离所述挡液槽的一侧， 形成多个所述出 液口。 5.根据权利要求2所述的旋涂废液收集杯清洗盘， 其特征在于， 所述第 二挡板相对所述 第一挡板倾 斜， 并且所述第二挡板远离所述第一挡板的一端靠 近所述清洗液喷座。 6.根据权利要求2所述的旋涂废液收集杯清洗盘， 其特征在于， 所述连接板与 所述第一 挡板连接的一端离所述旋涂废液收集杯清洗盘中心轴线的距离为L 1， 所述连接板与所述清 洗盘底座连接的一端离所述旋 涂废液收集杯清洗盘中心轴线的距离为 L2， 其中， L1＞L2。 7.一种旋涂装置， 其特征在于， 包括权利要求1 ‑6任一项所述的旋涂废液收集杯清洗 盘， 所述旋 涂装置还 包括： 旋涂废液收集杯， 所述旋 涂废液收集杯内具有匀胶腔体； 晶圆承载座， 所述晶圆承载座设于所述匀胶腔体， 用于承载所述旋涂废液收集杯清洗 盘； 清洗液喷座， 设于所述晶圆承载座周侧， 所述清洗液喷座朝向所述缓冲槽 。 8.根据权利要求7 所述的旋 涂装置， 其特 征在于， 所述旋 涂废液收集杯还 包括： 第一开口， 所述第一 开口能够容纳所述旋 涂废液收集杯清洗盘； 其中， 所述出 液口对应所述旋 涂废液收集杯内壁的位置， 低于所述第一 开口。 9.根据权利要求8所述的旋 涂装置， 其特 征在于， 所述旋 涂装置还 包括： 第二壳体， 所述第二壳体位于所述旋涂废液收集杯内， 所述第二壳体形成围绕所述晶 圆承载座的第二 开口； 其中， 所述旋 涂废液收集杯和所述第二壳体之间形成排液通道。 10.根据权利要求9所述的旋涂装置， 其特征在于， 所述旋涂废液收集杯清洗盘设于所 述第一开口和所述第二 开口之间；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115228864 A 2所述旋涂废液收集杯清洗盘的直径大于所述第二 开口的直径。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115228864 A 3