(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211076532.4 (22)申请日 2022.09.05 (71)申请人 宁波润华全芯微电子设备有限公司 地址 315400 浙江省宁波市余 姚市阳明街 道新桥村村委东首 (72)发明人 耿克涛　姜岩松　刘长伟　 (74)专利代理 机构 浙江中桓凯通专利代理有限 公司 33376 专利代理师 刘潇 (51)Int.Cl. B08B 9/093(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/027(2006.01) G03F 7/16(2006.01) (54)发明名称 一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具及旋涂 装置 (57)摘要 本发明公开了一种旋涂废液收集杯清洗辅 助工具及旋涂装置， 旋涂废液收集杯清洗辅助工 具设于晶圆承 载座； 旋涂废液收集杯内设置有清 洗液喷座， 清洗液喷座设置在旋涂废液收集杯清 洗辅助工 具下端； 旋涂废液收集杯清洗辅助工具 包括： 清洗底座， 设于晶圆承载座并覆盖晶圆承 载座的顶 面； 入液腔体， 围绕清洗底座设置， 设有 朝向清洗 液喷座的入液开口， 以及位于入液开口 远离清洗底 座一侧的集液槽， 清洗液从入液开口 进入由入液腔体的内壁阻挡后进入集液槽； 多个 出液口， 连通集液槽并朝向旋涂废液收集杯的内 壁， 至少包括两种 高度不同的出液口。 本发明有 效解决旋涂工艺中多余的光刻胶和显影液飞溅 至旋涂废液收集杯内， 旋涂废液收集杯清洗效率 低的问题。 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 CN 115228863 A 2022.10.25 CN 115228863 A 1.一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具， 其特征在于， 所述旋涂废液收集杯清洗辅助工 具设于晶圆承载座； 所述旋涂废液收集杯 内设置有清洗液喷座， 所述清洗液喷座环绕设置 在旋涂废液收集杯清洗 辅助工具 下端； 所述旋涂废液收集杯清洗 辅助工具包括： 清洗底座， 所述清洗底座设于所述晶圆承载座并覆盖所述晶圆承载座的顶面； 入液腔体， 所述入液腔体围绕所述清洗底座设置， 所述入液腔体设有朝向所述清洗液 喷座的入 液开口， 以及位于所述入液开口远离所述清洗底座一侧的集液槽， 其中， 清洗液从 所述入液开口进入， 由所述入液腔体的内壁阻挡后进入所述 集液槽； 多个出液口， 所述出液口连通所述集液槽， 并朝向所述旋涂废液收集杯的内壁， 其中， 多个所述出 液口中至少包括两种高度不同的所述出 液口。 2.根据权利要求1所述的旋涂废液收集杯清洗辅助工具， 其特征在于， 所述旋涂废液收 集杯清洗 辅助工具还 包括： 导流件， 所述导流件围绕所述清洗底座设置， 所述导流件和所述清洗底座之间形成所 述入液开口， 所述 集液槽设于所述 导流件远离所述清洗液喷座的一侧。 3.根据权利要求2所述的旋涂废液收集杯清洗辅助工具， 其特征在于， 所述导流件包括 集液板和连接件， 所述集液槽开设于所述集液板， 所述连接件设于所述集液板远离所述入 液开口的一侧； 其中， 所述出 液口开设于所述连接件。 4.根据权利要求3所述的旋涂废液收集杯清洗辅助工具， 其特征在于， 所述集液槽底面 为斜面， 所述集液槽底面靠近所述入液开口的一侧， 高于所述集液槽底面远离所述入液开 口的一侧。 5.根据权利要求3所述的旋涂废液收集杯清洗辅助工具， 其特征在于， 所述连接件周向 设置多个出液单元， 每个出液单元 由至少两种不同高度和/或不同倾斜程度的所述出液 口 组成。 6.根据权利要求2 ‑5任一项所述的旋涂废液收集杯清洗辅助工具， 其特征在于， 所述旋 涂废液收集杯清洗 辅助工具包括： 连接盘， 所述连接盘覆盖于所述导流件和所述清洗底座的顶部； 并且， 所述连接盘与所 述导流件可拆卸连接， 和/或， 所述连接盘与所述清洗底座可拆卸连接 。 7.一种旋涂装置， 其特征在于， 包括权利要求1 ‑6任一项所述的旋涂废液收集杯清洗辅 助工具， 所述旋 涂装置还 包括： 旋涂废液收集杯， 所述旋 涂废液收集杯内具有匀胶腔体； 晶圆承载座， 所述晶圆承载座设于所述匀胶腔体， 用于承载所述旋涂废液收集杯清洗 辅助工具； 清洗液喷座， 设于所述晶圆承载座周侧， 所述清洗液喷座朝向所述入液开口。 8.根据权利要求7 所述的旋 涂装置， 其特 征在于， 所述旋 涂废液收集杯还 包括： 第一开口， 所述第一 开口能够容纳所述旋 涂废液收集杯清洗 辅助工具； 第一挡液件， 所述第一挡液件周向设于所述第一开口， 并朝向所述旋涂废液收集杯清 洗辅助工具。 9.根据权利要求8所述的旋 涂装置， 其特 征在于， 所述旋 涂装置还 包括：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115228863 A 2第二壳体， 所述第二壳体位于所述旋涂废液收集杯内， 所述旋涂废液收集杯清洗辅助 工具设于所述旋涂废液收集杯和所述第二壳体之间， 所述第二壳体包括： 第二开口和围绕 所述第二 开口的第二挡液件， 所述第二挡液件朝向所述旋 涂废液收集杯清洗 辅助工具。 10.根据权利要求9所述的旋 涂装置， 其特 征在于， 所述旋 涂装置还 包括： 排液底座， 所述 排液底座连接所述旋 涂废液收集杯， 所述 排液底座包括： 排液槽； 其中， 所述旋涂废液收集杯和所述第二壳体之间形成排液通道， 所述排液通道连通所 述排液槽。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115228863 A 3