(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211128209.7 (22)申请日 2022.09.16 (71)申请人 上海申和投资有限公司 地址 201900 上海市宝山区宝山城市工业 园区山连路181号 (72)发明人 贺贤汉　陈有生　张城　赖章田　 (74)专利代理 机构 铜陵市天 成专利事务所(普 通合伙) 3410 5 专利代理师 李坤 (51)Int.Cl. B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种枚叶式晶圆清洗 机 (57)摘要 本发明涉及存储器技术领域， 具体是涉及一 种枚叶式晶圆清洗机包括两组竖直翻转臂， 每组 竖直翻转臂上均设有清洁组件， 每个清洁组件均 包括两个滚筒刷、 从动机构、 驱动机构和离合机 构， 从动机构包括水平转轴和两个一号伞齿， 驱 动机构包括往复丝杆管、 滑块、 花键轴和二号伞 齿， 离合机构 包括移动座、 拉簧和提拉绳， 在位于 内侧的两个滚筒刷旋转对晶圆的两侧进行清洁 时， 两个一号电机分别驱动两个竖直旋转臂进行 180°翻转， 使得位于外侧且自身洁净的两个滚筒 刷旋转至内侧继续对晶圆进行清洁工作， 两个附 着较多污垢的滚筒刷会被旋转至外侧， 此时再对 外侧的两个滚筒刷进行清洁， 以此循环往复， 即 可实现每次对晶圆进行清洁的滚筒刷都处于自 洁净的状态。 权利要求书2页 说明书7页 附图9页 CN 115463892 A 2022.12.13 CN 115463892 A 1.一种枚叶式晶圆清洗机， 其特征在于， 包括两组呈对称状态且转动设置的竖直翻转 臂， 每组竖直翻转臂上均设有清洁组件， 每 个清洁组件均包括： 两个呈对称状态的滚筒刷 （1） ， 每 个滚筒刷 （1） 均呈 竖直转动设置； 从动机构， 设于两个滚筒刷 （1） 的上方， 从动机构包括水平转轴 （2） 和两个分别设于水 平转轴 （2） 两端的一号伞齿 （3） ， 两个一号伞齿 （3） 分别用于驱动两个滚筒刷 （1） 同步反向旋 转， 水平转轴 （2） 的中心处设有传动伞齿 （4） ； 驱动机构， 设于从动 机构的上方， 驱动 机构包括往复丝杆管 （5） 、 滑块 （6） 、 花键轴 （7） 和 二号伞齿 （8） ， 往复丝杆管 （5） 呈竖直转动设置， 滑块 （6） 滑动设于往复丝杆管 （5） 上， 花键轴 （7） 呈竖直转动设于往复丝杆管 （5） 内， 并且花键轴 （7） 通过行星齿轮机构 （9） 与往复丝杆传 动相连， 二 号伞齿 （8） 设于花键轴 （7） 的下端， 且二 号伞齿 （8） 与传动伞齿 （4） 相啮合； 离合机构， 包括移动座、 拉簧 （10） 和提拉绳 （11） ， 移动座设于传动伞齿 （4） 的上方， 且移 动座能够 进行自由升降， 二号伞齿 （8） 与移动座相连， 提拉绳 （11） 将滑 块 （6） 和移动座相连， 用于滑块 （6） 上移时带动移动座上行， 使 得二号伞齿 （8） 与传动伞齿 （4） 分离， 拉簧 （10） 与 移 动座相连， 拉簧 （10） 用于滑 块 （6） 下移时， 拉扯移动座下移复位， 且使 得二号伞齿 （8） 与传动 伞齿 （4） 再次啮合； 其中， 两个花键轴 （7） 共用一个驱动源， 两个竖直翻转臂用于同步翻转， 使得两个清洁 组件中的其中一个滚筒刷 （1） 相向靠近且最终位于同一水平面上， 此时位于内侧的两个滚 筒之间形成用于插放晶圆的空隙。 2.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机， 其特征在于， 每个竖直翻转臂均包 括： 两个呈对称状态的水平转板 （12） ， 二者上下间隔分布， 两个水平转板 （12） 之间通过一 个立板 （13） 相连； 两个呈对称状态的竖直转轴 （14） ， 每个竖直转轴 （14） 均转动设于两个水平转板 （12） 之 间， 两个竖直转轴 （14） 沿其中一个水平 转板 （12） 的长度方向间隔分布， 每个滚筒刷 （1） 均固 定套设于对应的竖直 转轴 （14） 上； 容纳壳 （15） ， 与位于上方的水平转板 （12） 相固连， 从动机构和驱动机构设于容纳壳 （15） 内； 其中， 两个竖直翻转臂的上方和下方分别设有驱动仓 （16） 和水平支撑板 （17） ， 每个位 于下方的水平转板 （12） 均与水平支撑板 （17） 轴接， 每个容纳壳 （15） 均与驱动仓 （16） 轴 接， 水平支撑板 （17） 上固定设有两个呈对称状态且分别用于驱动两个位于下方的水平转板 （12） 同步旋转的一 号电机 （18） ， 驱动两个花键轴 （7） 同步旋转的驱动源与驱动仓 （16） 相连。 3.根据权利要求2所述的一种枚叶式晶圆清洗机， 其特征在于， 每个竖直转轴 （14） 的上 端均向上穿入对应的容纳壳 （15） 内， 每个容纳壳 （15） 内均固定 设有两个呈对称 状态的横向 支板 （19） ， 每个横向支板 （19） 均靠近对应的竖直转轴 （14） ， 每个水平 转轴 （2） 均设于对应的 两个横向支板 （19） 之间， 且每个水平 转轴 （2） 的两端均分别与两个横向支板 （19） 轴接， 每个 一号伞齿 （3） 均同轴 与对应的水平 转轴 （2） 的一端固连， 每个竖直转轴 （14） 的上端均同轴固 定设有与对应的一号伞齿 （3） 相啮合的三号伞齿 （20） ， 每个传动伞齿 （4） 均与对应的水平 转 轴 （2） 的中心处同轴固连。 4.根据权利要求2所述的一种枚叶式晶圆清洗机， 其特征在于， 每个驱动机构均还包括权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115463892 A 2四根呈矩阵固定设于对应的容纳壳 （15） 内的限位立柱 （21） ， 往复丝杆管 （5） 位于四个限位 立柱 （21） 的中心处， 每个限位立柱 （21） 均穿过滑块 （6） ， 滑块 （6） 的正下方设有与四个限位 立柱 （21） 固连的水平承托板 （22） ， 水平承托板 （22） 上固定设有呈水平的一号轴承 （23） ， 行 星齿轮机构 （9） 设于一号轴承 （23） 的上方， 且 行星齿轮机构 （9） 的内齿圈与一号轴承 （23） 的 外圈固连， 往复丝杆管 （5） 的下端与行星齿轮机构 （9） 的内齿圈固连， 行星齿轮机构 （9） 的中 心齿轮与一号轴承 （23） 的内圈固连， 花键轴 （7） 同轴竖直穿过行星齿轮机构 （9） 的中心齿 轮。 5.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗 机， 其特征在于， 每 个移动座均包括： 呈水平的连接 板 （24） ， 设于对应的传动伞齿 （4） 的上 方； 两个呈对称状态的竖直限位轴 （25） ， 二者分别固定设于连接板 （24） 的两端， 每个竖直 限位轴 （25） 均竖直朝下； 二号轴承 （26） ， 呈 水平固定嵌设于连接 板 （24） 的中心处； 其中， 每个容纳壳 （15） 内的底部均固定有两个呈对称状态的限位套 （27） ， 每个竖直限 位轴 （25） 的下端均向下插入对应的限位套 （27） 内， 每个移动座内的拉簧 （10） 的数量为两 个， 每个拉簧 （10） 均呈竖直设于对应的限位套 （27） 内， 每个拉簧 （10） 的下端均与对应的限 位套 （27） 内的底部固连， 每个拉簧 （10） 的上端均与对应的竖直限位轴 （25） 的底部固连， 每 个花键轴 （7） 的底端均同轴成型有一个向下插入对应的二号轴承 （26） 内且与二号轴承 （26） 的内圈相固连的旋转柱 （28） ， 每个二号伞齿 （8） 均与旋转柱 （28） 同轴固连， 每个移动座内的 提拉绳 （11） 数量为两个， 两个提拉绳 （11） 呈对称 状态分别设于滑 块 （6） 的两侧， 每个提拉绳 （11） 的两端均分别与滑块 （6） 的底部和连接 板 （24） 的顶部相固连。 6.根据权利要求2所述的一种枚叶式晶圆清洗机， 其特征在于， 驱动仓 （16） 为呈水平的 条形壳体， 驱动源为呈竖直设于驱动仓 （16） 顶部的二号电机 （29） ， 二号电机 （29） 的输出轴 竖直向下穿入驱动仓 （16） 内， 每个花键轴 （7） 的上端均向上穿入驱动仓 （16） 的一端内， 每个 花键轴 （7） 的上端均同轴套设有一个三号轴承 （30） ， 每个三号轴承 （30） 的外圈均与对应的 容纳壳 （15） 的顶部固连， 驱动仓 （16） 内设有两个一号同步轮 （31） 和两个二号同步轮 （32） ， 两个一号同步轮 （31） 呈对称 状态分别与二号电机 （29） 的输出轴和其中一个花键轴 （7） 的上 端同轴固连， 两个一号同步轮 （31） 之间通过一号同步带 （33） 传动相连， 两个二号同步轮 （32） 呈对称状态分别与二号电机 （29） 的输出轴和另外一个花键轴 （7） 的上端同轴固连， 两 个二号同步轮 （32） 之间通过二 号同步带 （34） 传动相连。 7.根据权利要求6所述的一种枚叶式晶圆清洗机， 其特征在于， 驱动仓 （16） 的顶部正对 两个花键轴 （7） 上端的位置分别开设有两个避让通 孔 （35） 。 8.根据权利要求2所述的一种枚叶式晶圆清洗机， 其特征在于， 每个容纳壳 （15） 内的顶 部均固定设有一个用于供对应的滑块 （6） 上移后碰触的接 近开关 （3 6） 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115463892 A 3