(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211257433.6 (22)申请日 2022.10.14 (71)申请人 常州阿普智能科技有限公司 地址 213001 江苏省常州市新北区珠峰路 26号 (72)发明人 陆银川　穆亚琦　 (74)专利代理 机构 苏州曼博专利代理事务所 (普通合伙) 3243 6 专利代理师 宋俊华 (51)Int.Cl. H01L 31/18(2006.01) H01L 21/673(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种清洗光伏生产用石墨舟的反应离子刻 蚀工艺 (57)摘要 本发明公开了一种清洗光伏生产用石墨舟 的反应离子刻蚀工艺， 对内置有石墨舟的工艺腔 体输入工艺气体， 通过放电用射频电源使工艺腔 体内的工艺气体形成等离子体， 通过偏压电源驱 动等离子体轰击石墨舟， 实现清除石墨舟上沉积 的薄膜。 本发 明能解决传统太阳能电池制造工艺 中对石墨舟实施 湿法清洗工艺的弊端， 本发明采 用反应离子刻蚀工艺， 彻底取代传统的湿法清 洗， 带来了极大的便利， 成本大大降低， 效率加 快， 更加节能环保， 占地更小。 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 CN 115548163 A 2022.12.30 CN 115548163 A 1.一种清洗光伏生产用石墨舟的反应离子刻蚀工艺， 其特征在于， 对内置有石墨舟的 工艺腔体输入工艺气体， 通过放电用射频电源使工艺腔体内的工艺气体形成等离子体， 通 过偏压电源驱动等离 子体轰击石墨舟， 实现清除石墨舟 上沉积的薄膜。 2.根据权利要求1所述的清洗光伏生产用石墨舟的反应离子刻蚀工艺， 其特征在于， 所 述工艺腔体中设有： 用于放置石墨舟的绝 缘板， 以及位于绝 缘板正上 方的上电极板； 所述石墨舟放置在绝缘板上， 以使得石墨舟与工艺腔体保持绝缘； 且上电极板悬空于 石墨舟正上 方， 上电极板通过射频匹配 器与射频电源连接； 所述工艺气体经供气管路输入工艺腔体； 工艺腔体通过供气管路与供气系统连接， 工 艺气体由供气系统供应； 供气管路上还设有气体流 量控制器； 所述工艺腔体还配有真空抽 气系统、 氮气回填系统、 压力控制系统、 中央控制系统和尾 气处理系统。 3.根据权利要求2所述的清洗光伏生产用石墨舟的反应离子刻蚀工艺， 其特征在于， 所 述放电用射频电源为13.5 6MHZ的射频电源。 4.根据权利要求2所述的清洗光伏生产用石墨舟的反应离子刻蚀工艺， 其特征在于， 所 述上电极板还包括： 插入石墨舟 的石墨舟片间隙中的延伸部； 且石墨舟与上电极板及其延 伸部都保持绝 缘。 5.根据权利要求2所述的清洗光伏生产用石墨舟的反应离子刻蚀工艺， 其特征在于， 所 述偏压电源直接作用在石墨舟电极孔上。 6.根据权利要求5所述的清洗光伏生产用石墨舟的反应离子刻蚀工艺， 其特征在于， 所 述直接作用在石墨舟电极孔上的偏压电源， 为 直流偏压电源。 7.根据权利要求2所述的清洗光伏生产用石墨舟的反应离子刻蚀工艺， 其特征在于， 所 述工艺腔体中还设有： 位于上电极板正下 方的下电极板； 所述石墨舟位于下电极板正上方， 且石墨舟与下电极板保持绝缘； 下电极板与偏压电 源连接； 且与下电极板连接的偏压电源， 为偏压用射频电源。 8.根据权利要求7所述的清洗光伏生产用石墨舟的反应离子刻蚀工艺， 其特征在于， 所 述偏压用射频电源为13.5 6MHZ的射频电源。 9.根据权利要求2至8中任一项所述的清洗光伏生产用石墨舟的反应离子刻蚀工艺， 其 特征在于， 包括如下 具体步骤： 1)通过自动化设备将石墨舟送入工艺腔体内， 然后封闭工艺腔体， 此时工艺腔体内部 为常温常压； 2)然后通过真空抽气系统对工艺腔体抽真空， 直至真空压力到达预定压力， 并保持一 定时间； 若压力能保持住， 则判断工艺腔 体无漏点， 并进 行后续步骤； 若压力不能保持住， 则 判断工艺腔体需要检漏， 不进行后续 步骤； 3)然后启动供气系统向工艺腔体供应工艺气体， 并启动压力控制系统， 使工艺腔体内 压力保持在稳定的工艺压力， 且开启放电用射频电源和偏 压电源， 产生辉光， 根据石墨舟上 要刻蚀清除的薄膜厚度调整辉光时间， 直至石墨舟表面的薄膜被清除； 4)然后关闭放电用射频电源和偏压电源， 工艺腔体维持抽真空一定时间， 然后向工艺 腔体回填氮气， 直至工艺腔体恢复常压状态； 然后通过自动化设备将石墨舟从工艺腔体中 拖出； 且从工艺腔体中抽出的尾气送入尾气处 理系统进行处 理。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115548163 A 210.根据权利要求9所述的清洗光伏生产用石墨舟的反应离子刻蚀工艺， 其特征在于， 所述工艺气体采用含氟气体或含氟气体与氧气的混合气体； 所述含氟气体选自CF4、 CHF3、 SF6、 NF3、 C2F6中的一种或几种。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115548163 A 3