(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202211269406.0 (22)申请日 2022.10.18 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 115346902 A (43)申请公布日 2022.11.15 (73)专利权人 江苏科沛达半导体科技有限公司 地址 221300 江苏省徐州市邳州经济开发 区环城北路北侧、 红旗路东侧 (72)发明人 李继忠　 (74)专利代理 机构 江苏长德知识产权代理有限 公司 32478 专利代理师 刘传玉 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B08B 3/08(2006.01)B08B 13/00(2006.01) G01K 5/62(2006.01) 审查员 贾少鹏 (54)发明名称 一种用于晶圆酸洗机恒温装置的温度测量 机构 (57)摘要 本发明涉及晶圆清洗设备相关技术领域， 更 具体地说， 本发 明提供了一种用于晶圆酸洗机恒 温装置的温度测量机构， 温度测量机构包括测量 组件和位置调节组件； 所述测量组件用于测量清 洗室内的温度， 测量组件包括第一测温器， 所述 第一测温器与水泵电性连接， 所述第一测温器在 清洗室内的位置通过位置调节组件调节； 所述位 置调节组件调节包括弹性液压杆、 第一安装板、 滑杆和弹簧， 所述第一安装板上安装有第一测温 器； 位置调节组件能够在打开盖板时， 将第一测 温器移动至清洗室外部， 从而为机械臂放置第一 测温器起到让位的作用， 在关上盖板时， 带动第 一测温器移动至清洗室的中部， 在提高测量清洗 室内部温度的准确度的同时， 还能够提高使用的 快捷性。 权利要求书2页 说明书5页 附图7页 CN 115346902 B 2022.12.20 CN 115346902 B 1.一种用于晶圆酸洗机恒温装置的温度测量机构， 恒温装置和温度测量机构均设置在 酸洗机箱 （1） 的清洗室 （101） 内， 所述恒温装置包括冷却管 （8） ， 所述冷却管 （8） 盘设在清洗 室 （101） 内， 且冷却管 （8） 的两端分别通过进水管 （9） 和出水管 （10） 与冷却水箱连接， 所述冷 却管 （8） 上安装有水泵， 所述酸洗机箱 （1） 的一端铰接有盖板 （6） ， 所述盖板 （6） 用于将清洗 室 （101） 封闭， 当所述盖板 （6） 将清洗室 （101） 封闭时， 所述酸洗机箱 （1） 上的锁定件对盖板 （6） 锁定， 所述清洗室 （101） 内设有用于支撑晶圆的晶圆放置板 （7） ， 其特征在于， 温度测量 机构包括测量组件和位置调节组件； 所述测量组件用于测量清洗室 （101） 内的温度， 测量组件包括第一测温器 （17） ， 所述第 一测温器 （17） 与水泵电性连接， 所述第一测温器 （17） 在清洗室 （101） 内的位置通过位置调 节组件调节； 所述位置调节组件调节包括弹性液压杆 （5） 、 第一安装板 （2） 、 （13） 、 滑杆 （12） 和弹簧 （14） ， 所述第一安装板 （2） 上安装有第一测温器 （17） ， 所述第一安装板 （2） 的两端分别通过 丝杆 （19） 与酸洗机箱 （1） 上开设的第一滑槽 （4） 滑动连接， 所述第一滑槽 （4） 位于清洗室 （101） 的侧边， 且第一滑槽 （4） 的一端位于酸洗机箱 （1） 远离盖板 （6） 的一端， 第一滑槽 （4） 的 另一端位于酸洗机箱 （1） 中部， 所述第一安装板 （2） 的端部还与弹性液压杆 （5） 一端铰接， 所 述弹性液压杆 （5） 的另一端与滑块 （13） 铰接， 所述滑块 （13） 套设在滑杆 （12） 外围并于滑块 （13） 滑动连接， 所述滑杆 （12） 位于盖板 （6） 壳壁开设的第二滑槽 （61） 中， 所述滑杆 （12） 的外 围还套设有弹簧 （14） ， 所述弹簧 （14） 的两端分别与滑块 （13） 和第二滑槽 （61） 端部连接； 当 所述盖板 （6） 盖在酸洗机箱 （1） 上并将清洗室 （101） 封闭时， 所述盖板 （6） 与第一滑槽 （4） 相 互平行设置， 所述第一安装板 （2） 位于清洗室 （101） 中部， 所述滑块 （13） 位于第二滑槽 （61） 远离盖板 （6） 与酸洗机箱 （1） 铰接的一端， 所述弹簧 （14） 位于 拉伸状态； 当所述盖板 （6） 打开 至最大程度时， 所述滑块 （13） 位于第二滑槽 （61） 靠近盖板 （6） 与酸洗机箱 （1） 连接的一端， 所述第一安装板 （2） 位于酸洗机箱 （1） 远离盖板 （6） 的一端且位于清洗室 （101） 外部， 所述弹 簧 （14） 位于初始状态。 2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆酸洗机恒温装置的温度测量机构， 其特征在于， 所述测量组件还包括第二测温器 （16） ， 所述第二测温器 （16） 与水泵电性连接， 所述第二测 温器 （16） 和第一测温器 （17） 分别位于晶圆放置板 （7） 两侧， 所述位置调节组件还包括第二 安装板 （15） ， 所述第二测温器 （16） 安装在第二安装板 （15） 上， 所述第二安装板 （15） 的端部 与丝杆 （19） 远离第一安装板 （2） 的一端 连接， 所述第二安装板 （15） 还与清洗室 （101） 内壁的 第三滑槽 （28） 滑动连接， 所述第三滑槽 （28） 与第一滑槽 （4） 连通且第三滑槽 （28） 与第一滑 槽 （4） 相互平行设置 。 3.根据权利要求1或2所述的一种用于晶圆酸洗机恒温装置的温度测量机构， 其特征在 于， 所述测量组件还包括双金属片 （20） ， 所述双金属片 （20） 安装在安装箱 （18） 中， 且双金属 片 （20） 的两端插设在安装箱 （18） 的滑槽中并与滑槽滑动连接， 所述安装箱 （18） 上开设有供 双金属片 （20） 露出的通孔， 所述双金属片 （20） 通过反馈组件与安装在冷却管 （8） 上的水泵 电性连接， 所述反馈组件包括丝杆 （19） 、 弹片 （25） 、 支撑板 （26） 、 触碰按钮 （24） 和连接线 （29） ， 所述支撑板 （26） 与触碰按钮 （24） 沿水平方向间隔设置， 所述触碰按钮 （24） 与丝杆 （19） 沿垂直方向间隔设置， 所述触碰按钮 （24） 通过连接线 （29） 与水泵电性连接， 所述支撑 板 （26） 上安装有弹片 （25） ， 所述弹片 （25） 远离支撑板 （26） 的端部延伸至触碰按钮 （24） 顶权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115346902 B 2部， 所述弹片 （25） 远离触碰按钮 （24） 的一侧与丝杆 （19） 的端部接触， 所述丝杆 （19） 远离弹 片 （25） 的端部与双金属片 （20） 的凹部连接； 当所述双金属片 （20） 位于初始状态时， 所述弹 片 （25） 与触碰按钮 （24） 间隔设置， 当所述清洗室 （101） 内的温度达到双金属片 （20） 的形变 温度时， 所述双金属片 （20） 朝触碰按钮 （24） 的方向凹陷至反馈状态， 所述丝杆 （19） 朝触碰 按钮 （24） 直线运动至弹片 （25） 按压触碰按 钮 （24） 。 4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆酸洗机恒温装置的温度测量机构， 其特征在于， 所述双金属片 （20） 通过复位机构 复位至初始状态， 所述复位机构包括第一齿轮 （21） 、 第二 齿轮 （23） 、 转轴 （22） 、 发条安装套 （30） 和发条 （27） ， 所述第一齿轮 （21） 套设在丝杆 （19） 外围 并于丝杆 （19） 螺纹连接， 所述第一齿轮 （21） 还与安装箱 （18） 转动连接， 所述第一齿轮 （21） 的一侧与第二齿轮 （23） 啮合连接， 所述第二齿轮 （23） 套设在转轴 （22） 外围， 所述转轴 （22） 远离第二齿轮 （23） 的端部插设在发条安装套 （30） 内并与发条安装套 （30） 转动连接， 所述发 条安装套 （30） 安装在安装箱 （18） 内， 所述发条安装套 （30） 的内壁与转轴 （22） 的外壁之间设 有发条 （27） ， 所述发条 （27） 绕设在转轴 （22） 外围， 且转轴 （22） 的两端分别与发条安装套 （30） 内壁和转轴 （22） 外壁连接， 当所述双金属片 （20） 位于初始状态时， 所述发条 （27） 位于 松弛状态， 当所述双金属片 （20） 位于反馈状态时， 所述发条 （27） 位于收紧状态。 5.根据权利要求3所述的一种用于晶圆酸洗机恒温装置的温度测量机构， 其特征在于， 所述安装箱 （18） 安装在第一 安装板 （2） 上。 6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆酸洗机恒温装置的温度测量机构， 其特征在于， 所述酸洗机箱 （1） 上还安装有清洗 机构 （11） 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115346902 B 3