(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211309133.8 (22)申请日 2022.10.25 (71)申请人 江苏容正医药科技有限公司 地址 210044 江苏省南京市江北新区智能 制造产业园(中山社区)科创大道9号 D8栋 (72)发明人 常华梅　时贞平　 (74)专利代理 机构 北京汇信合知识产权代理有 限公司 1 1335 专利代理师 邓秋连 (51)Int.Cl. B08B 7/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种等离子体超净处理方法、 系统、 装置和 介质 (57)摘要 本说明书实施例提供一种等离子体超净处 理方法、 系统、 装置和介质， 该装置包括处理仓、 抽气装置、 等离子发生器、 输送装置、 控制模块； 处理仓包括若干带有气阀的接口， 若干带有气阀 的接口分别与抽气装置和输送装置的一端连接； 输送装置的另一端和等离子发生器连接； 处理仓 内包括至少一个温度传感器； 抽气 装置用于抽出 处理仓内的气体； 输送装置用于输送 等离子发生 器生成的等离子体气体至处理仓内； 控制模块用 于控制抽气 装置执行抽气动作、 控制输送装置的 输送动作、 控制等离子发生器的启闭、 控制气阀 的启闭。 权利要求书2页 说明书12页 附图5页 CN 115382856 A 2022.11.25 CN 115382856 A 1.一种等离子体超净处理装置， 其特征在于， 包括处理仓、 抽 气装置、 等离子发生器、 输 送装置、 控制模块； 所述处理仓包括若干带有气阀的接口， 所述若干带有气阀的接口分别与所述抽 气装置 和所述输送装置的一端连接； 所述输送装置的另一端和所述等离子发生器连接； 所述处理 仓内包括至少一个温度传感器； 所述抽气装置用于抽出所述处理仓 内的气体； 所述输送装置用于输送所述等离子发生 器生成的等离 子体气体至所述处 理仓内； 所述控制模块用于控制所述抽气装置执行抽气动作、 控制所述输送装置的输送动作、 控制所述 等离子发生器的启闭、 控制所述气阀的启闭。 2.根据权利要求1所述的装置， 所述控制模块进一 步用于： 基于待处 理对象的结构信息， 确定所述抽气装置的运行功率。 3.根据权利要求2所述的装置， 所述基于待处理对象的结构信 息， 确定所述抽 气装置的 运行功率包括： 基于所述待处 理对象的所述结构信息， 确定结构向量； 基于所述结构向量在历史结构数据库中检索， 确定参考向量； 所述历史结构数据库中 存储有多个历史结构向量及其对应的抽气装置的历史运行功率； 基于所述 参考向量确定参 考运行功率； 基于所述 参考运行功率确定所述抽气装置的运行功率。 4.根据权利要求1所述的装置， 所述控制模块进一 步用于： 基于待处 理对象的结构信息， 确定所述 等离子体气体的发送时间。 5.一种等离子体超净处理方法， 基于权利要求1至4中任一所述等离子体超净处理装置 执行， 所述方法包括： 基于待处 理对象的结构信息， 确定抽气装置的运行功率； 基于所述 运行功率， 执 行抽气操作； 基于所述待处 理对象的结构信息， 确定等离 子体气体的发送时间； 基于所述发送时间， 执行所述等离子体气体的发送操作的启闭和所述抽气操作的启 闭。 6.根据权利要求5所述的方法， 所述基于待处理对象的结构信 息， 确定抽 气装置的运行 功率包括： 基于所述待处 理对象的所述结构信息， 确定结构向量； 基于所述结构向量在历史结构数据库中检索， 确定参考向量； 所述历史结构数据库中 存储有多个历史结构向量及其对应的抽气装置的历史运行功率； 基于所述 参考向量确定参 考运行功率； 基于所述 参考运行功率确定所述抽气装置的运行功率。 7.根据权利要求6所述的方法， 所述历史结构数据库中还包括历史结构向量对应的历 史温度阈值； 所述方法还 包括： 基于所述 参考向量确定参 考温度阈值； 基于所述 参考温度阈值确定所述待处 理对象对应的温度阈值。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115382856 A 28.根据权利要求5所述的方法， 所述基于所述待处理对象的结构信 息， 确定等离子体气 体的发送时间包括： 基于确定模型对所述待处理对象的结构信 息的处理， 确定所述等离子体气体的发送时 间。 9.一种等离子体超净处理系统， 其特征在于， 包括处理器， 所述处理器用于执行权利要 求5‑8中任一项所述的等离 子体超净处 理方法。 10.一种计算机可读存储介质， 其特征在于， 所述存储介质存储计算机指令， 当计算机 读取存储介质中的计算机指令后， 计算机执行如权利要求5 ‑8中任一项所述的等离子体超 净处理方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115382856 A 3