(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211161274.X (22)申请日 2022.09.23 (71)申请人 晟盈半导体设备 （江苏） 有限公司 地址 215000 江苏省苏州市相城经济技 术 开发区澄阳街道富元路富阳工业坊9 号厂房 (72)发明人 孙文杰　孙雪峰　肖凌峰　 (74)专利代理 机构 苏州创元专利商标事务所有 限公司 3210 3 专利代理师 方中 (51)Int.Cl. B08B 1/04(2006.01) B08B 5/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 适用于导电环的自动清洁设备及清洁方法 (57)摘要 本发明公开了适用于导电环的自动清洁设 备及清洁方法， 该自动清洁设备包括： 清洁槽， 其 形成有清洁腔， 其中清洁腔具有载架插装口和排 废口； 清洁件供应单元， 其包括与清洁腔相连通 的供应通道、 清洁件； 清洁单元， 其包括位于清洁 腔内并与供应通道相连通的衔接通道、 与排废口 相连通的排废通道、 具有取放端部且绕着水平方 向转动的清洁臂、 驱动件。 本发明通一方面实现 清洁件自动进料、 自动清洁导电环以及完成清洁 后自动排出， 自动化程度高； 另 一方面由清洁臂 带动清洁件完成对导电环的多道清洁， 操作简 单， 有效降低工人的劳动强度， 清洁效率高， 同时 能够保证导电环在清洁过程中受力稳定， 有效避 免导电环损坏， 延长零件使用寿命， 降低报废率 和生产成本 。 权利要求书2页 说明书7页 附图7页 CN 115228805 A 2022.10.25 CN 115228805 A 1.一种适用于导电环的自动清洁设备， 导电环为环形零件并固定在载架上， 其特征在 于， 所述自动清洁设备包括： 清洁槽， 其形成有与所述载架相匹配的清洁腔， 其中所述清洁腔具有载架插装口和排 废口； 清洁件供应单元， 其包括与所述清洁腔相连通的供应通道、 清洁件， 其中所述供应通道 能够逐个地将所述清洁件向所述清洁腔内送料； 清洁单元， 其包括位于所述清洁腔内并与所述供应通道相连通的衔接通道、 与所述排 废口相连通的排废通道、 具有 取放端部且绕着水平方向转动的清洁臂、 驱动件， 其中所述取 放端部至少有两个， 且每个所述取放端部均能够与所述衔接通道或所述排废通道配合以自 动取出或卸载所述清洁件， 清洁时， 所述导电环随所述载架插装至所述清洁腔， 所述清洁件 保持定位在所述取放端部， 所述清洁臂 转动以使得所述清洁件绕所述清洁臂的转动中心环 形运动， 且所述清洁件运动轨迹将所述导电环的环形端面清洁覆盖， 同步完成多道清洁的 所述清洁件由所述取放端部与所述 排废通道衔接配合， 并逐个的自所述 排废口卸出。 2.根据权利要求1所述的适用于导电环的自动清洁设备， 其特征在于： 所述清洁臂的转 动中心与所述清洁腔中所定位的所述 导电环的中心对齐设置 。 3.根据权利要求1所述的适用于导电环的自动清洁设备， 其特征在于： 所述清洁件包括 清洁座、 柔性清洁片， 其中所述清洁座与所述取放端部配合以固定或脱离所述取放端部， 且 所述柔性清洁片能够贴合所述 导电环的环形端面。 4.根据权利要求3所述的适用于导电环的自动清洁设备， 其特征在于： 所述清洁臂通过 枢轴转动设置在所述清洁槽的侧壁上， 且所述清洁臂能够沿着所述枢轴长度方向调节所述 柔性清洁片的形变， 以改变所述 柔性清洁片与所述 导电环的环形端面之间形成的摩擦力。 5.根据权利要求4所述的适用于导电环的自动清洁设备， 其特征在于： 所述的清洁槽包 括位于两侧的第一槽面板和第二槽面板、 位于底部的底模、 位于所述底模两端的端模， 其中 所述第一槽面板和 第二槽面板、 底模、 端模构成所述的清洁腔， 其中所述清洁臂 安装于所述 第一槽面板的内壁， 且所述第一槽面板相对所述第二槽面板相对靠拢或远离以调节所述柔 性清洁片的形变。 6.根据权利要求5所述的适用于导电环的自动清洁设备， 其特征在于： 所述清洁单元还 包括与所述清洁腔连通的除尘部件， 其中导电环 清洁时， 所述清洁腔呈负压状态。 7.根据权利要求6所述的适用于导电环的自动清洁设备， 其特征在于： 所述的除尘部件 包括形成在所述底模上且与所述清洁腔连通的止逆腔、 与所述止逆腔相连通的负压管路、 风机。 8.根据权利要求5所述的适用于导电环的自动清洁设备， 其特征在于： 在所述端模的内 壁上安装有导轮组件， 其中所述载架自相对两侧贴合在所述导轮组件的轮面上并上下移动 地插装于所述清洁槽中。 9.根据权利要求1所述的适用于导电环的自动清洁设备， 其特征在于： 在所述衔接通道 的出口和所述排废通道的入口分别安装有接头部， 其中所述接头部与所述取放端部对位配 合， 所述清洁件固定在所述取放端部， 或者在自重下从所述 排废口卸出。 10.根据权利要求9所述的适用于导电环的自动清洁设备， 其特征在于： 所述取放端部 有两个， 且对应设置在所述清洁臂的两端， 其中两个取放端部至所述清洁臂转动中心的距权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115228805 A 2离相等。 11.根据权利要求1所述的适用于导电环的自动清洁设备， 其特征在于： 所述供应通道 自上而下呈蜿蜒状， 且在所述供应通道的出 口和所述衔接通道入口之间还设有阻隔部件， 所述清洁件堆设在所述供应通道内， 所述阻隔部件形成供料阀， 且在所述取放端部与所述 衔接通道的出 口对齐配合时， 所述阻隔部件逐个释放所述清洁件， 并在自重下移动至所述 取放端部 。 12.根据权利要求1所述的适用于导电环的自动清洁设备， 其特征在于： 所述的排废 口 自上而下倾斜设置， 所述衔接通道和所述排废口位于所述清洁槽同侧， 且延伸方向相交设 置。 13.根据权利要求6所述的适用于导电环的自动清洁设备， 其特征在于： 在所述排废 口 的底部还设有辅助通道， 其中所述辅助通道包括自所述排废口斜向下倾斜延伸的第一段、 自所述第一段下端部竖直向下延伸的第二段、 自所述第二段的下端部水平延伸的第三段， 其中所述第一段、 所述第二段、 所述第三段中每相邻两段之间的衔接处呈圆弧状。 14.根据权利要求1至13中任一项所述的适用于导电环的自动清洁设备， 其特征在于： 所述清洁件供应单元和所述清洁单元构成一清洁组， 所述自动清洁设备包括两个所述清洁 组， 且两个所述清洁组关于所述清洁腔对称设置 。 15.根据权利要求14所述的适用于导电环的自动清洁设备， 其特征在于： 所述载架的两 侧形成有对称设置的第一装载区和 第二装载区， 两个所述导电环分别安装于所述第一装载 区和第二装载区， 且两个所述 导电环分别由对应的所述清洁组对环形端面进行清洁。 16.根据权利要求15所述的适用于导电环的自动清洁设备， 其特征在于： 所述驱动件包 括与所述清洁臂同步连接的驱动轮、 动力轮、 同步带， 其中两个所述清洁组的所述动力轮在 所述清洁槽厚度方向上错 位分布。 17.一种适用于导电环的自动清洁方法， 其特征在于： 该清洁方法采用权利要求1至16 中任一项所述自动清洁设备， 且 包括如下步骤： S1、 将清洁件自供应通道传输至衔接通道， 同时位于供应通道中的清洁件自动向下补 位； S2、 将装载有导电环 的载架自载架插装口插入清洁腔， 且导电环 的中心与清洁臂的转 动中心对齐； S3、 驱动清洁臂绕转动中心转动， 以使得取放端部能够与衔接通道配合， 并取出清洁 件， 此时， 清洁件所形成的清洁面贴合在导电环的环形端面上， 并由清洁臂的转动， 所述清 洁件形成运动轨 迹为环形， 且将导电环的环形端面实施 覆盖地清洁； S4、 清洁完成后， 取放端部与排废通道配合， 并卸载清洁件， 此时， 清洁件在自重下， 依 次从排废通道和排废口卸出。 18.根据权利要求17所述的适用于导电环的自动清洁方法， 其特征在于： 在S3中， 所述 取放端部有多个， 其中每个所述取放端部至所述清洁臂的转动中心距离为转动半径， 且在 所述清洁臂的正向或/和反向转动下， 实施导电环的环形端面多道 清洁。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115228805 A 3