(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210672269.9 (22)申请日 2022.06.14 (71)申请人 南方科技大 学 地址 518000 广东省深圳市南 山区桃源街 道学苑大道1088号 (72)发明人 程鑫　吴春卉　徐俊彦　陶超然　 黄凯程　朴英哲　陈日飞　刘羽　 (74)专利代理 机构 深圳市惠邦知识产权代理事 务所 44271 专利代理师 满群 (51)Int.Cl. C12M 1/42(2006.01) C12M 1/00(2006.01) B01L 3/00(2006.01) (54)发明名称 一种光镊测试介电泳力芯片及其制造方法、 以及测试方法 (57)摘要 本发明提供一种光镊测试介电泳力芯片及 其制造方法、 以及测试方法， 一种光镊测试介电 泳力芯片 包括底部基板、 位于所述底部基板上的 电极层、 位于电极层上的微孔阵列层和阵列设置 的测试定位层； 所述电极层包括相对设置的多对 第一叉指电极和第二叉指电极， 每对第一叉指电 极和第二叉指电极之间具有间隙； 所述微孔阵列 层包括阵列设置的多个微孔； 所述微孔位于所述 第一叉指电极和第二叉指电极之间， 每行第一叉 指电极和第二叉指电极之间具有多个微孔； 每行 的微孔位于该行两个测试定位层之间。 本发明光 镊辅助分析芯片内微粒/细胞DEP， 实现准确、 高 效、 全面的单个微粒/细胞或者同时多个微粒/细 胞的DEP行为的分析。 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 CN 114921341 A 2022.08.19 CN 114921341 A 1.一种光镊测试介电泳力芯片， 其特征在于， 其包括底部基板、 位于所述底部基板上的 电极层、 位于电极层上 的微孔阵列层和阵列设置的测试定位层； 所述电极层包括相对设置 的多对第一叉指电极和第二叉指电极， 每对第一叉指电极和第二叉指电极之间具有间隙； 所述微孔阵列层包括阵列设置的多个微孔； 所述微孔位于所述第一叉指电极和 第二叉指电 极之间， 每行第一叉指电极和第二叉指电极之间具有多个微孔； 每行 的多个微孔分别位于 该行相邻的两个测试定位层之间。 2.根据权利要求1所述的光镊测试介电泳力芯片， 其特征在于， 所述微孔的孔径为10 ‑ 20微米； 相邻两排的微孔的中心距离为50 ‑200um； 所述第一叉指电极的高度和第二叉指电 极的高度均为100 ‑300纳米， 每对第一叉指电极和第二叉指电极之间的间距为4 ‑8微米， 所 述第一叉指电极的宽度和第二叉指电极的宽度均为15 ‑25微米。 3.根据权利要求1所述的光镊测试介电泳力芯片， 其特征在于， 所述测试定位层的下表 面或上表面与对应行的微 孔的中心线在同一条直线上。 4.一种光镊测试介电泳力芯片的制造方法， 其特 征在于， 包括如下步骤： S1： 清洗底部基板； S2： 在底部基板形成电极保护层； S3： 形成电极层的第一叉指电极和第二叉指电极； S4： 形成位于第一叉指电极和第二叉指电极之间的微 孔阵列层； S5： 形成阵列设置的测试定位层， 且每行的微 孔位于该行两个测试定位层之间。 5.根据权利要求4所述的光镊测试介电泳力芯片的制造方法， 其特征在于， 步骤S4之后 需要对一对第一叉指电极和第二叉指电极的电阻进行测试。 6.一种采用权利要求1所述的光镊测试介电泳力芯片进行光镊测试介电泳力的测试方 法， 其特征在于， 所述的光镊测试介电泳力芯片固定 于一装置内， 包括如下步骤： S1： 具有微球的溶 液至于所述装置中； S2： 光镊捕获至少一微球使得该微球对应于一微孔外， 且使该微球的中心和所述微孔 对应的测试定位层的下表面或上表面在同一焦面； S3： 给光镊测试介电泳力芯片施加电信号并产生介电泳力， 所述微球受介电泳力的作 用在光镊产生的光阱中发生横向移动； S4： 观察介电泳力的方向， 并通过测试和计算横向光阱力， 得到介电泳力的大小。 7.根据权利要求6所述的光镊测试介电泳力的测试方法， 其特征在于， 对步骤S2， 在显 微镜下观察 微球的中心和所述 微孔对应的测试定位层的下表面或上表面是否在同一焦面。 8.根据权利要求7所述的光镊测试介电泳力的测试方法， 其特征在于， 步骤S2具体的方 法为： 将微球放入所述装置内后， 光镊捕获微球并将微球移动至所述微孔对应的测试定位 层的附近， 在显微镜下观察， 光镊 上下移动微球， 当微球的中心和所述测试定位层的下表 面 或上表面都聚焦时， 默认此时微球处在微 孔的正上 方附近。 9.根据权利要求6所述的光镊测试介电泳力的测试方法， 其特征在于， 步骤S2采用激光 捕获微球。 10.根据权利要求6所述的光镊测试介电泳力的测试方法， 其特征在于， 步骤S3的具体 方法为： 通过光镊测试介电泳力芯片的电极层加电信号时， 微球受到介电泳力作用运动， 通 过上下移动光镊或者移动承载测试介电泳力的装置的载物台， 观察微球的焦面不变时， 默权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114921341 A 2认微球更加接 近于微孔的正上 方， 此时产生 一维方向的介电泳力。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114921341 A 3