(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123376653.4 (22)申请日 2021.12.3 0 (73)专利权人 北京精恒工控科技有限公司 地址 101100 北京市通州区宋庄镇 草寺村 委会南300米 (72)发明人 廖占武　 (51)Int.Cl. H05K 7/20(2006.01) (54)实用新型名称 一种新型离 子枪水冷装置 (57)摘要 本实用新型属于离子枪技术领域， 具体公开 了一种新型离子枪水冷装置， 包括真空室、 冷却 水箱、 温度探头、 温控器、 循环水泵、 过滤器、 热交 换器和制冷机， 所述真空室内设置有离子枪冷却 座， 所述离子枪上设置有离子枪本体， 所述离子 枪冷却座的冷却水出口通过循环管连接有循过 滤器进水口， 所述过滤器出水口通过循环管连接 有循环水泵进水口， 所述循环水泵出水口通过循 环管连接有热交换器的进水口， 所述热交换器的 出水口通过循环管连接有离子枪冷却座形成一 个循环回路置， 本实用新型本实用新型实现双冷 却循环， 既保证离子枪工作时产生热量及时通过 冷却回路热交换器与设备外接低温冷却水进行 热量交换从而保证 离子枪连续工作。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 216626500 U 2022.05.27 CN 216626500 U 1.一种新型离子枪水冷装置， 其特征在于： 包括真空室 （1） 、 冷却水箱 （5） 、 温度探头 （6） 、 温控器 （7） 、 循环水泵 （9） 、 过滤器 （12） 、 热交换器 （10） 和制冷机 （11） ， 所述 真空室 （1） 内 设置有离子枪冷却座 （2） ， 所述离子枪冷却座 （2） 上设置有离子枪本体 （3） ， 所述离子枪冷却 座 （2） 的冷却水出口通过循环管连接有过滤器 （12） 进水口， 所述过滤器 （12） 出水口通过循 环管连接有循环水泵 （9） 进 水口， 所述循环水泵 （9） 出水口通过循环管连接有热 交换器 （10） 的进水口， 所述热交换器 （10） 的出水口通过循环管连接有离子枪冷却座 （2） 形成一个循环 回路。 2.根据权利要求1所述的一种新型离子枪水冷装置， 其特征在于： 靠近所述离子枪冷却 座 （2） 冷却水 出口设置的循环管 上设置有流 量传感器 （4） 。 3.根据权利要求1所述的一种新型离子枪水冷装置， 其特征在于： 所述离子枪冷却座 （2） 的冷却水 出口设置的循环管通过循环 支管连接有冷却水箱 （5） 。 4.根据权利要求1所述的一种新型离子枪水冷装置， 其特征在于： 所述热交换器 （10） 的 热气出口连接有制冷机 （11） 的热气进口， 所述制冷机 （11） 的冷气出口连接有热 交换器 （10） 的冷气进口。 5.根据权利要求1所述的一种新型离子枪水冷装置， 其特征在于： 所述冷却水箱 （5） 内 设置有温度探头 （6） ， 所述 温度探头 （6） 连接有温控器 （7） ， 所述 温度探头 （6） 与温控器 （7） 之 间采用电性连接， 所述 温控器 （7） 连接有电机调速模组 （8） ， 所述 温控器 （7） 与电机调速模组 （8） 之间采用电性连接， 所述电机调速模组 （8） 连接有循环水泵 （9） ， 所述电机调速模组 （8） 与循环水泵 （9） 之间采用控制连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216626500 U 2一种新型离 子枪水冷装置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及离子枪技术领域， 具体为 一种新型离 子枪水冷装置 。 背景技术 [0002]离子枪在工作过程中会产生大量的热， 同时离子枪工作时处于高真空下， 真空下 不容易散热， 如不能及时散热， 会因为过热产生不了高速离子流而导致设备停止工作， 温度 过高也会导 致融化掉离子枪绝缘机构， 真空室内负压会将油水等吸到真空室内。 [0003]现有离子枪工作时散热技术： 主要由其安装座上的半导体散热装置散热， 由于整 个机构处于真空室中， 热传导效率低， 离子枪长时间连续工作会由于散热慢导致离子枪温 度升高而停止 工作， 影响工作效率， 严重时造成设备运行故障。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种新型离子枪水冷装置以解决上述背景技术中所 提出的问题。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种新型离子枪水冷装置， 包括 真空室、 冷却水箱、 温度探头、 温控器、 循环水泵、 过滤器、 热交换器和制冷机， 所述真空室内 设置有离子枪冷却 座， 所述离子枪上设置有离子枪本体， 所述离子枪冷却 座的冷却水出 口 通过循环管连接有循过滤器进水口， 所述过滤器出水口通过循环管连接有循环水泵进水 口， 所述循环水泵出水 口通过循环管连接有热交换器的进水 口， 所述热交换器的出水 口通 过循环管 连接有离 子枪冷却座形成一个 循环回路。 [0006]优选的， 所述靠 近离子枪冷却座冷却水 出口设置的循环管 上设置有流 量传感器。 [0007]优选的， 所述离子枪冷却座的冷却水出口设置的循环管通过循环支管连接有冷却 水箱。 [0008]优选的， 所述热交换器的热气出口连接有制冷机 的热气进口， 所述制冷机 的冷气 出口连接有热交换器的冷气进口。 [0009]优选的， 所述冷却水箱内设置有温度探头， 所述温度探头连接有温控器， 所述温度 探头与温控器之间采用电性连接， 所述温控器连接有电机调速模组， 所述温控器与电机调 速模组之间采用电性连接， 所述电机调速模组连接有循环水泵， 所述电机调速模组与循环 水泵之间采用控制连接 。 [0010]与现有技术相比， 本实用新型的有益效果是： 离子枪冷却座内部设计有冷却液循 环管， 工作时回路中的冷却液从离子枪底座带走离子枪工作时产生的热量， 并使离子枪一 直处于最佳工作温度， 同时管路装有流量传感器， 实时对冷却液流量进 行检测， 如果 发生阻 塞及时报警， 本实用新型实现双冷却循环， 既保证离子枪工作时产生热量及时通过冷却回 路热交换器与设备外接低温冷却水进 行热量交换从而保证离子枪连续工作， 又保证真空腔 体不会因冷却液体泄漏污染内部 工作环境。说　明　书 1/3 页 3 CN 216626500 U 3