(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221313848.6 (22)申请日 2022.05.26 (73)专利权人 合肥图迅电子科技有限公司 地址 230031 安徽省合肥市高新区望江西 路800号动漫基地C4楼5 01室 (72)发明人 李盘宇　徐飞　郑飞　 (74)专利代理 机构 北京知联天下知识产权代理 事务所(普通 合伙) 11594 专利代理师 张迎新 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种GPP裸片表面 缺陷视觉检测装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种GPP裸片表 面缺陷视觉 检测装置， 所述检测装置包括安装架， 所述安装 架的下部设有环形框， 所述环形框内设有光源， 所述光源为环形光源， 安装架上设有相机， 所述 安装架侧壁 设有固定板， 所述固定板中部设有圆 形的开口， 所述固定板的下侧设有穹顶灯， 所述 环形光源与穹顶灯相互作用。 本实用新型利用穹 顶灯光的水平特性与环形光组合， 既能够检出待 测区域表 面颜色差异的缺陷， 又能够检测出平面 上出现高低差的缺陷(可明确分辨出氧化膜残 留、 玻璃残留、 凹坑)， 同时两个光源不存在阻挡 干扰， 并且在穹顶灯光下显空和玻璃断开缺陷特 征明显， 可以被准确识别， 进一步提高了检测的 精度， 减轻了 工作人员后期的工作量。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217931439 U 2022.11.29 CN 217931439 U 1.一种GP P裸片表面 缺陷视觉检测装置， 其特 征在于， 所述检测装置包括安装架(5)， 所述安装架(5)的下部设有环形框(1)， 所述环形框(1) 内设有光源， 所述光源为环形光源， 安装架(5)上设有相机(4)， 所述安装架(5)侧壁设有固 定板(6)， 所述固定板(6)中部设有圆形的开口， 所述固定板(6)的下侧设有穹顶灯(2)， 所述 环形光源与穹顶灯(2)相互作用， 环形光源用于检测GPP裸片表面的颜色异常缺陷， 在环形 光源照射到 GPP裸片的颜色异常缺陷部位时， 会 呈现黑色； 穹顶灯(2)用于根据GPP裸片上缺 陷的NG标准对缺陷进行细分。 2.根据权利要求1所述 一种GPP裸片表面 缺陷视觉检测装置， 其特 征在于， 所述安装架(5)侧壁设有辅助板(7)， 所述辅助板(7)侧壁设有固定块(8)， 所述固定块 (8)上侧壁与相机(4)固定连接， 所述固定块(8)下侧设有与相机(4)连接的远心镜 头(3)。 3.根据权利要求2所述 一种GPP裸片表面 缺陷视觉检测装置， 其特 征在于， 所述远心镜头(3)与穹顶灯(2)固定连接， 所述远心镜头(3)的下端穿过固定板(6)中部 的开口。 4.根据权利要求1所述 一种GPP裸片表面 缺陷视觉检测装置， 其特 征在于， 所述环形框(1)的 口径从上往下 逐渐减小。 5.根据权利要求2所述 一种GPP裸片表面 缺陷视觉检测装置， 其特 征在于， 所述安装架(5)上设有第一滑动组件， 相机(4)和辅助板(7)均 与第一滑动组件连接 。 6.根据权利要求5所述 一种GPP裸片表面 缺陷视觉检测装置， 其特 征在于， 所述第一滑动组件包括设置在安装架(5)上的电动滑轨(9)， 电动滑轨(9)内设有多个 电动滑块(10)， 相机(4)和辅助板(7)均 与对应的电动滑块(10)连接 。 7.根据权利要求3所述 一种GPP裸片表面 缺陷视觉检测装置， 其特 征在于， 所述穹顶灯(2)位于远心镜 头(3)正下 方并紧贴远心镜 头(3)。 8.根据权利要求7 所述一种GPP裸片表面 缺陷视觉检测装置， 其特 征在于， 所述穹顶灯(2)的灯光颜色为蓝色。 9.根据权利要求6所述 一种GPP裸片表面 缺陷视觉检测装置， 其特 征在于， 所述安装架(5)上设有第二滑动组件， 环形框(1)与第二滑动组件连接 。 10.根据权利要求9所述 一种GPP裸片表面 缺陷视觉检测装置， 其特 征在于， 所述第二滑动组件包括设置在安装架(5)两侧的侧滑轨(11)， 环形框(1)与侧滑轨(11) 连接。 11.根据权利要求10所述 一种GPP裸片表面 缺陷视觉检测装置， 其特 征在于， 所述环形框(1)的上表面设有两个弧形的连接耳， 连接耳位于环形框(1)的两端， 连接 耳延伸至对应的侧滑轨(1 1)内并与侧滑轨(1 1)滑动连接 。 12.根据权利要求3所述 一种GPP裸片表面 缺陷视觉检测装置， 其特 征在于， 所述固定 板(6)的截面呈L型 结构。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217931439 U 2一种GPP裸片表面缺陷视觉检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于晶片检测技术领域， 特别涉及一种GPP裸片表面缺陷视觉检测装 置。 背景技术 [0002]裸片是指在加工厂生产出来的芯片， 即是晶圆经过切割测试后没有经过封装的芯 片， 这种裸片上只有用于封装的压焊点， 是不能直接应用于实际电路当中的。 然而裸片极易 受外部环境的温度、 杂质和物理作用力的影响， 很容易遭到破坏， 所以必须封入一个密闭空 间内， 引出相应的引脚， 才能作为一个基本的元器件使用， 由于其容易受到外部因素而遭到 破坏， 所以， 需要对裸片进行表面 缺陷的检测。 [0003]对于GPP裸片而言， 传统的检测方式包括视觉AOI检测， 视觉AOI检测技术是模仿人 工通过显微镜目检的情景， 将相机与镜头组合好后， 选用一个高角度 环形光作为光源， 将光 源安装套在镜头中间， 拍摄出来的图像与显微镜近似， 但上述拍摄方法中， 由于光源单一， 沟底玻璃会对检测裸片进行干扰， 并且相 机拍摄时也会将检测台面上 的瑕疵， 例如氧化膜 残留、 玻璃点和凹坑拍摄进照 片里， 使得工作人员需要对照 片里的瑕疵进 行区分， 而 单个环 形光的拍摄方式， 使得玻璃上 的显空与玻璃断裂区分度低， 通过图像难以与复杂的沟槽玻 璃区分， 同时检测台面上的玻璃点、 氧化膜残留、 坑这三种缺陷也难以区分， 这些缺陷需要 人工在显微镜下将产品多次转换角度才能区分， 普通单个光源在2D图像上难以明确区分， 增大了工作人员后期的工作量， 并且检测精度不高。 实用新型内容 [0004]针对上述问题， 本实用新型提供一种GPP裸片表面缺陷视觉检测装置， 所述检测装 置包括安装架， 所述安装架的下部 设有环形框， 所述环形框内设有光源， 所述光源为环形光 源， 安装架上设有相 机， 所述安装架侧壁设有固定板， 所述固定板中部设有圆形的开口， 所 述固定板的下侧设有穹顶灯， 所述环形光源与穹顶灯相互作用， 环形光源用于检测GPP裸片 表面的颜色异常缺陷， 在环形光源照射到GPP裸片的颜色异常缺陷部位时， 会呈现黑色； 穹 顶灯用于根据GP P裸片上缺陷的NG标准对缺陷进行细分。 [0005]优选地， 所述安装架侧壁设有辅助板， 所述辅助板侧壁设有固定块， 所述固定块上 侧壁与相机固定连接， 所述固定块下侧设有与相机连接的远心镜 头。 [0006]优选地， 所述远心镜头与穹顶灯 固定连接， 所述远心镜头 的下端穿过固定板中部 的开口。 [0007]优选地， 所述环形框的 口径从上往下 逐渐减小。 [0008]优选地， 所述 安装架上设有第一滑动组件， 相机和辅助板均 与第一滑动组件连接 。 [0009]优选地， 所述第一滑动组件包括设置在安装架上的电动滑轨， 电动滑轨内设有多 个电动滑块， 相机和辅助板均 与对应的电动滑块连接 。 [0010]优选地， 所述穹顶灯位于远心镜 头正下方并紧贴远心镜 头。说　明　书 1/4 页 3 CN 217931439 U 3