(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221199290.3 (22)申请日 2022.05.17 (73)专利权人 深圳中科飞测科技股份有限公司 地址 518000 广东省深圳市龙华区大浪街 道同胜社区上横朗第四工业区2号 101、 201、 3 01 (72)发明人 胡诗铭　张鹏斌　陈鲁　张嵩　 (74)专利代理 机构 深圳鼎合诚知识产权代理有 限公司 4 4281 专利代理师 冀孟恩　彭家恩 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/95(2006.01) (54)实用新型名称 一种光学检测系统 (57)摘要 本申请涉及一种光学检测系统， 主要包括检 测台、 照明组件、 物镜组件、 图像传感器和直线移 动组件， 其中的直线移动组件用于调节物镜组件 在预设直线方向上的移动位置， 该物镜组件的移 动位置用于改变检测光的偏移距离， 通过修正检 测光可使光学图像对准于预设的标准图像。 技术 方案利用直线移动组件对物镜组件的偏移距离 进行调节， 如此能够对光学图像进行位移补偿， 利于通过物理修正的手段解决光学图像相对位 移的问题。 技术方案由于从物理光学方面进行了 图像特征的位移补偿， 可实现同一图像特征的准 确对准， 从而消除检测台结构形变的影响， 利于 提高系统对 待测件表面异常区域检出的灵敏度。 权利要求书2页 说明书7页 附图2页 CN 217766036 U 2022.11.08 CN 217766036 U 1.一种光学检测系统， 其特 征在于， 包括： 检测台， 用于承载待测件； 照明组件， 用于向所述检测台上承载的待测件投射照明光， 所述照明光用于投射到所 述待测件的表面后产生第一反射 光； 物镜组件， 用于对所述第一反射 光进行光学放大倍 率的调整， 并出射第一检测光； 图像传感器， 用于沿预设的扫描方向探测第一检测光并产生对应的光学图像； 直线移动组件， 用于调节所述物镜组件在预设直线方向上的移动位置， 其中， 所述预设 直线方向与所述预设的扫描方向保持正交。 2.如权利要求1所述的光学检测系统， 其特 征在于， 所述 直线移动组件 包括直线滑轨； 所述物镜组件设于所述 直线滑轨上； 所述直线滑轨用于在预设直线方向上往 复滑动， 并在滑动过程中带动所述物镜组件产 生预设的偏移距离， 所述物镜组件产生的偏移距离与第一检测光的被改变的偏移距离有 关。 3.如权利要求2所述的光学检测系统， 其特征在于， 包括多个所述物镜组件， 且多个所 述物镜组件的光学放大倍 率各不相同； 多个所述物镜组件分别设于所述 直线滑轨上； 所述直线滑轨还用于通过自身的滑动将任一个所述物镜组件切换到第一反射光的传 输光路上。 4.如权利要求2或3所述的光学检测系统， 其特征在于， 所述直线移动组件还包括电机 和转轮； 所述转轮与所述直线滑轨转动配合， 所述电机用于驱动所述转轮正向转动或反向转 动， 并在所述 转轮的正向转动或反向转动过程中带动所述 直线滑轨进行往复滑动。 5.如权利要求3所述的光学检测系统， 其特征在于， 所述物镜组件的数量至少为三个， 相邻两个所述物镜组件在所述 直线滑轨上的间距保持一 致。 6.如权利要求3所述的光学检测系统， 其特 征在于， 还 包括分光镜； 所述分光镜倾 斜设于第一检测光的传输光路上， 且斜对于所述照明组件； 所述分光镜用于将所述照明组件产生的照明光分出一部分并反射入所述物镜组件， 反 射入所述物镜组件的照明光经 过所述物镜组件后投射到所述待测件的表面； 所述分光镜还用于将所述物镜组件出射的第一检测光分出一部分并透射至预设的探 测位； 所述图像传感器设于所述探测位， 且在所述探测位上沿预设的扫描方向探测第 一检测 光。 7.如权利要求6所述的光学检测系统， 其特 征在于， 还 包括第一管镜组件； 所述第一管镜组件设于所述第 一检测光的传输光路上， 用于对所述分光镜出射的第 一 检测光进行光学的成像调整， 并将光学调整后的第一检测光传输 至所述图像传感器。 8.如权利要求6所述的光学检测系统， 其特 征在于， 还 包括第二管镜组件； 所述第二管镜组件设于照明光的传输光路上， 用于对照明光进行光学的照明调整， 并 将调整后的照明光出射至所述分光镜 。 9.如权利要求1所述的光学检测系统， 其特 征在于， 还 包括动力组件；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217766036 U 2所述动力组件用于驱使所述检测台进行移动， 通过所述检测台的移动改变所述待测件 的表面在照明光下的被投射 位置。 10.如权利要求9所述的光学检测系统， 其特 征在于， 还 包括CHUCK组件； 所述CHUCK组件设于所述检测台上； 所述CHUCK组件用于稳固所述待测件， 使所述待测 件跟随所述检测台的移动过程中避免出现脱落或相对偏移的现象。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217766036 U 3