(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221245632.0 (22)申请日 2022.05.23 (73)专利权人 江苏新智达新能源设备有限公司 地址 214000 江苏省无锡市梁 溪区会北路 26-14 (72)发明人 向军　 (74)专利代理 机构 南京中高专利代理有限公司 32333 专利代理师 陈章 (51)Int.Cl. H01L 21/66(2006.01) G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种共晶焊取晶固晶用的检测机构 (57)摘要 本实用新型提供了一种共晶焊取晶固晶用 的检测机构， 包括机架、 焊接炉和吸嘴， 所述焊接 炉的盖板 上开设有长槽， 所述吸嘴可插入所述长 槽对所述焊接炉内的料片 进行固晶， 还包括支撑 板、 第一检测相机、 第二检测相机和横向驱动机 构， 所述支撑板固定在所述机架上， 所述第一检 测相机固定在所述支撑板的端部， 所述横向驱动 机构安装在所述支撑板上， 所述第二检测相机设 置在所述长槽的上方， 采用小型的第一检测相机 和第二检测相机缩小检测范围， 固晶时， 通过横 向驱动机构驱动第二检测相机沿长槽移动进行 检测， 相较于现有检测机构， 成本降低， 并且可以 对料片上的每个固晶位进行精 准检测， 提高了产 品质量。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217719501 U 2022.11.01 CN 217719501 U 1.一种共晶焊取晶固晶用的检测机构， 包括机架(1)、 焊接炉(2)和吸嘴， 所述焊接炉 (2)的盖板上开设有长槽(3)， 所述吸嘴可插入所述长槽(3)对 所述焊接炉(2)内的料片进行 固晶， 其特征在于， 还包括支撑板(4)、 第一检测相机(5)、 第二检测相机(6)和横向驱动机 构， 所述支撑板(4)固定在所述机架(1)上， 所述第一检测相机(5)固定在所述支撑板(4)的 端部， 用于检测吸嘴的取晶工作， 所述横向驱动机构安装在所述支撑板(4)上， 所述第二检 测相机(6)设置在所述长槽(3)的上方， 所述横向驱动机构可驱动所述第二检测相机(6)沿 长槽(3)横向移动， 用于检测吸 嘴的固晶工作。 2.如权利要求1所述的一种共晶焊取晶固晶用的检测机构， 其特征在于， 所述横向驱动 机构包括伺服电机(7)、 丝杆(8)、 滑 块(9)和滑轨(10)， 所述伺服电机(7)横向固定在所述支 撑板(4)上， 所述丝杆(8)横向转动设置在所述支撑板(4)上， 所述丝杆(8)上套设有螺母， 所 述螺母上固定连接有 连接板(11)， 所述第二检测相机(6)竖直固定在所述连接板(11)上， 所 述滑轨(10)横向固定在所述支撑板(4)上， 所述滑块(9)滑动设置在所述滑轨(10)上， 所述 滑块(9)与所述螺母固定连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217719501 U 2一种共晶焊取晶 固晶用的检测机构 技术领域 [0001]本实用新型涉及半导体封装检测领域， 尤其涉及 一种共晶焊取晶固晶用的检测机 构。 背景技术 [0002]半导体的封装设备中， 固晶和固晶时最重要程序之一， 为了保证精准的取晶和固 晶操作， 一般都设置检测机构， 用来检测吸嘴是否吸取晶圆， 吸取的晶圆是否正确放置在料 片上， 现有的取 晶和固晶的检测机构都是固定形式的， 采用大型检测相 机将料片全方位的 覆盖。 [0003]但是， 在半导体共晶焊方式中， 直接在 焊接炉的盖板上开设的长槽中进行固晶， 不 需要大范围的进行检测， 装配现有的大型检测相机成本较高， 造成浪费， 并且料片边缘光线 较差， 精准度较低。 实用新型内容 [0004]本实用新型要解决的技术问题是， 在半导体共晶焊方式中， 装配现有的大型检测 相机成本较高， 造成浪费， 并且料片边缘光线较差， 精准度较低的问题， 本实用新型提供了 一种共晶焊取晶固晶用的检测机构来 解决上述问题。 [0005]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是： 一种共晶焊取晶固晶用的检测 机构， 包括机架、 焊接炉和吸嘴， 所述焊接炉的盖板上开设有长槽， 所述吸嘴可插入所述长 槽对所述焊接炉内的料片进行固晶， 还包括支撑板、 第一检测相机、 第二检测相机和横向驱 动机构， 所述支撑板固定在所述机架上， 所述第一检测相机固定在所述支撑板的端部， 用于 检测吸嘴的取 晶工作， 所述横向驱动机构安装在所述支撑板上， 所述第二检测相 机设置在 所述长槽的上方， 所述横向驱动机构可驱动所述第二检测相 机沿长槽横向移动， 用于检测 吸嘴的固晶工作。 [0006]进一步地： 所述横向驱动机构包括伺服电机、 丝杆、 滑块和滑轨， 所述伺服电机横 向固定在所述支撑板上， 所述丝杆横向转动设置在所述支撑板上， 所述丝杆上套设有螺母， 所述螺母上固定连接有连接板， 所述第二检测相机竖直固定在所述连接板上， 所述滑轨横 向固定在所述支撑 板上， 所述滑块滑动设置在所述滑轨上， 所述滑块与所述螺母固定连接 。 [0007]本实用新型的有益效果是， 本实用新型一种共晶焊取晶固晶用的检测机构， 采用 小型的第一检测相机和第二检测相机缩小检测范围， 取晶时， 由于取晶的位置不变， 因此第 一检测相 机不需要移动， 固晶时， 通过横向驱动机构驱动第二检测相 机沿长槽移动进行检 测， 相较于现有检测机构， 成本降低， 并且可以对料片上 的每个固晶位进行精准检测， 提高 了产品质量。 附图说明 [0008]下面结合附图和实施例对本实用新型进一 步说明。说　明　书 1/3 页 3 CN 217719501 U 3