(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221269335.X (22)申请日 2022.05.25 (73)专利权人 河南丰博自动化有限公司 地址 450016 河南省郑州市经济技 术开发 区航海东路第五大街高科技工业园 129号03C-6号 (72)发明人 杨德柱　李艳军　王瞧　刘亚风　 (74)专利代理 机构 北京康信知识产权代理有限 责任公司 1 1240 专利代理师 刘铖　卢淑艳 (51)Int.Cl. G01N 21/71(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种无需可见指示光源的LIBS光路调整装 置 (57)摘要 一种无需可见指示光源的LIBS光路调整装 置， 包括脉冲激光器， 激光反射镜， 反射镜支架， 聚焦镜， 待测样品， 样品台， 平移台； 脉冲激光器 水平放置， 激光反射镜安装在反射镜支架上， 脉 冲激光器发射的脉冲激光经激光反射镜反射至 反射镜支架下方的聚焦镜， 聚焦镜的下方设置有 样品台， 待测样品固定在样品台上； 样品台设置 在平移台上， 并可沿平移台上下滑动； 脉冲激光 器发射的脉冲激光可直接在待测样品上烧蚀出 痕迹， 判断样品台在不同位置时， 脉冲激光在待 测样品上烧蚀出的痕迹是否重合， 来调整反射镜 支架的角度， 本方案直接用不可见的LIBS激光光 源调试光路， 避免可见光替代红外光时两者光路 不一致的问题， 可简化LIBS光路调整步骤， 并可 降低LIBS系统的成本 。 权利要求书2页 说明书6页 附图2页 CN 217586921 U 2022.10.14 CN 217586921 U 1.一种无需可见指示光源的LIBS光路调整装置， 其特征在于， 包括： 脉冲激光器(1)， 沿 所述脉冲激光器激光光路方向且以一定角度设置的反射镜支架(3)以及反射激光的激光反 射镜(2)， 在所述激光反射镜(2)的下方的聚焦镜(4)， 在所述聚焦镜下方用于放置待测样品 的样品台(6)， 承载所述样 品台(6)可移动的平移台(7)； 所述脉冲激光器(1)发射的激光水 平传输， 发射的激光经激光反射镜(2)反射， 向所述聚焦镜(4)穿透， 射向所述样 品台(6)上 的待测样品； 所述样品台(6)可沿所述平移台(7)上下滑动； 所述脉冲激光器(1)发射的激光 在待测样品(5)上烧蚀出痕迹， 当所述样品台(6)处在不同位置时， 根据确认脉冲激光器(1) 发射的激光在 待测样品(5)上烧蚀出的痕迹是否重合， 来作为调整反射镜支架(3)的角度的 依据。 2.根据权利要求1所述的一种无需可见指示光源的LIBS光路调整装置， 其特征在于， 所 述样品台(6)的表面呈 水平。 3.根据权利要求1所述的一种无需可见指示光源的LIBS光路调整装置， 其特征在于， 所 述平移台(7)带动所述样 品台(6)沿竖直方向作上下平移运动， 所述样 品台(6)运动方向和 激光光轴方向相同。 4.根据权利要求1所述的一种无需可见指示光源的LIBS光路调整装置， 其特征在于， 根 据规划好的光路放置脉冲激光器(1)并固定， 按一定角度在所示脉冲激光器(1)脉冲激光 发 射的前方摆放安装有激光反射镜(2)的反射镜支架(3)， 使激光传输方向改变90度后竖直向 下传输， 并将所述反射镜支 架(3)进行固定 。 5.根据权利要求4所述的一种无需可见指示光源的LIBS光路调整装置， 其特征在于， 将 所述样品台(6)放置在平移 台(7)上， 使激光呈圆点形射在放置在样 品台(6)上的待测样 品 (5)的表面， 且所述样品台(6)移动方向与激光 光轴方向相同。 6.根据权利要求5所述的一种无需可见指示光源的LIBS光路调整装置， 其特征在于， 所 述脉冲激光器(1)发射脉冲激光先在待测样品(5)上烧蚀出第一烧蚀痕迹(501)， 遮挡 光路 使激光无法照射在待测样 品(5)表面上， 通过平移台(7)带动所述样 品台(6)向上或向下移 动一段距离， 再重新使得激光照射在待测样 品(5)上烧蚀出第二烧蚀痕迹(502)， 确认第一 烧蚀痕迹(501)和第二烧蚀痕迹(502)是否重合， 如果重合， 证明所述平移台(7)带动样品台 (6)的运动方向与激光 光轴方向平行， 无需再进行调整。 7.根据权利要求6所述的一种无需可见指示光源的LIBS光路调整装置， 其特征在于， 若 第一烧蚀痕迹(501)和第二烧蚀痕迹(502)不重合， 则调节反射镜支架(3)上的角度调整旋 钮， 改变所述激光反射镜(2)的角度以调节反射后的激光传输方向， 直至激光在待测样品 (5)上前后烧蚀的两个烧蚀痕迹 重合为止， 并停止调节反射镜支 架(3)上的旋钮。 8.根据权利要求7所述的一种无需可见指示光源的LIBS光路调整装置， 其特征在于， 所 述脉冲激光器(1)发射激光在 待测样品(5)上烧蚀出第三烧蚀痕迹(503)， 保持待测样品(5) 在样品台(6)上不动， 将聚焦镜(4)放置在激光反射镜(2)和样品台(6)之间， 通过所述平移 台(7)带动样品台(6)移动使待测样品(5)上表 面停留在所述聚焦镜(4)的焦点位置， 调节所 述聚焦镜(4)的位置使聚焦后的聚焦点(504)处在烧蚀的第三烧蚀痕迹(503)的中心位置， 此时经聚焦镜(4)聚焦后的激光 光轴与样品台(6)运动方向平行。 9.根据权利要求1所述的一种无需可见指示光源的LIBS光路调整装置， 其特征在于， 所 述反射镜支 架(3)为三旋钮型反射镜支 架。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217586921 U 210.根据权利要求1所述的一种无需可见指示光源的LIBS光路调整装置， 其特征在于， 所述反射镜支 架(3)为二旋钮型反射镜支 架。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217586921 U 3