(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221260280.6 (22)申请日 2022.05.25 (73)专利权人 浙江季丰电子科技有限公司 地址 314100 浙江省嘉兴 市嘉善县惠民街 道鑫达路8号1号厂房201室 (72)发明人 韩耀梅　裘莺　高强　 (74)专利代理 机构 上海申新 律师事务所 31272 专利代理师 党蕾 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 23/2204(2018.01) G01N 23/2251(2018.01) (54)实用新型名称 一种样品固定装置 (57)摘要 本实用新型提供一种样品固定装置， 包括一 样品座和一取样夹具， 样品座包括： 一固定底座 以及位于固定底座两侧的第一侧臂和第二侧臂， 第一侧臂通过一松紧度调节机构与固定底座的 一侧相连接， 第二侧臂上设有一预置槽； 取样夹 具包括一取样部和一第一固定部， 取样部粘取一 样品， 并可将所述第一固定部旋转至任一角度并 置入预置槽中， 至样品与第一侧臂抵接时通过一 固定机构将取样夹具与样品座固定。 有益效果： 通过取样 夹具和样品座配合实现样品的固定， 并 可取下取样夹具， 旋转角度后再固定， 实现对样 品的360°全区域观测。 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 CN 216771485 U 2022.06.17 CN 216771485 U 1.一种样品固定装置， 其特征在于， 包括一样品座和一取样夹具， 所述样品座包括： 一 固定底座以及位于所述固定底座两侧的第一侧臂和 第二侧臂， 所述第一侧臂 通过一松紧度 调节机构与所述固定底座的一侧相连接， 所述第二侧臂上设有一预置槽； 所述取样夹具包 括一取样部和 一第一固定部， 所述取样部粘取一样品， 并可将所述第一固定部旋转至任一 角度并置入所述预置槽中， 至所述样品与所述第一侧臂抵接时通过一固定机构将所述取样 夹具与所述样品座固定 。 2.根据权利要求1所述的样品固定装置， 其特征在于， 所述第一侧臂包括： 一固定杆和 一横杆， 所述固定杆和所述横杆垂直设置， 所述固定杆通过所述松紧度调节机构与所述固 定底座连接， 所述横杆与所述样品抵 接， 以通过 所述横杆和所述取样夹具固定所述样品。 3.根据权利要求2所述的样品固定装置， 其特征在于， 所述横杆包括与 所述固定杆固定 连接的第二固定部， 以及与所述第二固定部连接的抵接部； 所述第二固定部呈圆柱状， 所述 抵接部呈锥形。 4.根据权利要求3所述的样品固定装置， 其特征在于， 圆柱状的所述第 二固定部的长度 为2cm， 直径为3m m； 锥形的所述抵 接部的顶部直径为10 0um。 5.根据权利要求1所述的样品固定装置， 其特 征在于， 所述取样部呈锥形。 6.根据权利要求5所述的样品固定装置， 其特征在于， 锥形的所述取样部的顶部直径为 50um。 7.根据权利要求1所述的样品固定装置， 其特征在于， 所述第一固定部呈圆柱状， 圆柱 状的所述第一固定 部的长度为2.8cm， 直径为3m m。 8.根据权利要求1所述的样品固定装置， 其特 征在于， 所述松紧度调节机构为螺 丝。 9.根据权利要求1所述的样品固定装置， 其特 征在于， 所述固定 机构为螺 丝。 10.根据权利要求1所述的样品固定装置， 其特征在于， 所述取样夹具和所述样品座分 别采用金属材质制成。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216771485 U 2一种样品固定装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体失效分析技 术领域， 尤其涉及一种样品固定装置 。 背景技术 [0002]显微镜是主要用于放大微小物体为人的肉眼所能看到的仪器。 显微镜分光学显微 镜 （Optical  Microscop e， OM） 和电子显微镜 （Scannin g E1ectron  Microscope， SEM） ， 常常 应用于材 料表面形貌观察成像。 [0003]随着分析样品集成度越高， 其尺寸越小， 在失效分析过程中如何在不破环观察区 域的前提下对样品的四边进行观察， 还未有合理有效的方法和技术能达到。 现有技术中被 观测的样品通常竖立粘在胶带上以观察侧 边， 这种观测方式存在以下几点不足： 样品中与 胶带接触的侧面容易被胶带沾污； 粘贴角度不正， 导致样品倾斜； 最多仅可观测样品的两个 侧边， 无法观测样品的全貌， 从而影响正常的量测及形貌观察、 分析。 实用新型内容 [0004]为了解决以上技 术问题， 本实用新型提供了一种样品固定装置 。 [0005]本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案实现： 一种样品固定装置， 包括一样品座和一取样夹具， 所述样品座包括： 一固定底座以及位于所述固定底座两侧的 第一侧臂和第二侧臂， 所述第一侧臂通过一松紧度调节机构与所述固定底座的一侧相连 接， 所述第二侧臂上设有一预置槽； 所述取样 夹具包括一取样部和一第一固定部， 所述取样 部粘取一样品， 并可将所述第一固定部旋转至任一角度并置入所述预置槽中， 至所述样品 与所述第一侧臂抵 接时通过一固定 机构将所述取样夹具与所述样品座固定 。 [0006]优选地， 所述第一侧臂包括： 一固定杆和一横杆， 所述固定杆和所述横杆垂直设 置， 所述固定杆通过所述松紧度调节机构与所述固定底座连接， 所述横杆与所述样品抵接， 以通过所述横杆和所述取样夹具固定所述样品。 [0007]优选地， 所述横杆包括与所述固定杆固定连接 的第二固定部， 以及与所述第二固 定部连接的抵 接部； 所述第二固定 部呈圆柱状， 所述抵 接部呈锥形。 [0008]优选地， 圆柱状的所述第二固定部的长度为2cm， 直径为3mm； 锥 形的所述抵接部的 顶部直径为10 0um。 [0009]优选地， 所述取样部呈锥形。 [0010]优选地， 锥形的所述取样部的顶部直径为5 0um。 [0011]优选地， 所述第一固定部呈圆柱状， 圆柱状的所述第一固定部的长度为2.8cm， 直 径为3mm。 [0012]优选地， 所述松紧度调节机构为螺 丝。 [0013]优选地， 所述固定 机构为螺 丝。 [0014]优选地， 所述取样夹具和所述样品座分别采用金属材质制成。 [0015]本实用新型技术方案的优点或有益效果在于： 本实用新型通过取样夹具和样品座说　明　书 1/4 页 3 CN 216771485 U 3